一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种在扫描电镜上用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台。该样品台包括水平样品台面、倾斜样品台面、可调节式夹具和底部螺丝；所述的倾斜样品台面与水平样品台面夹角为52°，倾斜样品台面上端设有凹槽，下端有一凸起处；可调节式夹具第一夹片大小与倾斜样品台面上端的凹槽匹配，开有螺纹通孔，第二夹片与调节固定螺丝相连接；底部螺丝与扫描电镜样品室台面螺孔相匹配，夹具可根据试样厚度大小进行前后调节。本实用新型设计合理，使用安全，装卸方便，且样品放置稳定性好，易于操作使用，适用于常规样品和不规则样品，应用范围广泛。
【专利说明】—种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及材料研究领域进行聚焦离子束实验所用的装置，具体是一种在扫描电镜上用于进行聚焦离子束(简称FIB)制样的多功能预倾样品台。
【背景技术】
[0002]目前，在对钢铁材料的微结构表征过程中，越来越多地运用到FIB制样技术。根据离子束电子束双束系统的原理，在扫描电镜中进行FIB操作时，样品法向须与入射电子束成52°的角度，因此就要求扫描电镜样品台进行大角度倾斜，而且要保证样品在实验过程中不能产生滑移。目前，FIB制样使用的样品台多为普通的扫描电镜样品台，通常有空心圆柱体形和平面形两种，空心圆柱体形样品台采用螺丝对向固定方式，平面型样品台采用导电胶带粘黏固定方式。这两类样品台在FIB制样操作时都需要样品测试面由0°倾斜至52°，倾转过程增加了样品与电镜极靴碰撞的危险性。同时，样品的固定也会给实验的前期准备带来极大不便，如采用导电胶带粘黏的固定方式，可能会造成实验时样品的滑移，从而影响制样操作的精确性。此外，常规的扫描电镜样品台对底部不规则的样品适用性差，无法进行FIB制样操作。
实用新型内容
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种结构简单、使用方便、操作精度较高的用于FIB制样的多功能预倾样品台。
[0004]本实用新型的目的由以下技术方案来实现:
[0005]一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于:该样品台包括水平样品台面(I)、倾斜样品台面(3)、可调节式夹具(5)和底部螺丝(6)，所述的水平样品台面(I)上设有小孔(2)，所述的倾斜样品台面(3)与水平样品台面(I)的夹角为52°，倾斜样品台面(3)上端设有凹槽(4)，下端有一凸起处，可调节式夹具(5)设置在倾斜样品台面(3)上，可调节式夹具(5)的第一夹片(5-1)与倾斜样品台面(3)上的凹槽相匹配，底部螺丝(6)与扫描电镜样品室台面螺孔相匹配。
[0006]本实用新型进一步限定的技术方案是:
[0007]水平样品台面(I)上的小孔(2)与扫描电镜的标准钉型样品台相匹配。
[0008]所述的可调节式夹具(5)主要由第一夹片(5-1)，第二夹片(5-2)，带圆形凹槽的调节固定螺丝(5-3),圆形凹槽匹配的卡扣(5-4)组成。
[0009]所述的第一夹片(5-1)上设有螺纹通孔，所述的第二夹片(5-2)上设有凹槽通孔，第一夹片(5-1)与第二夹片(5-2)使用调节固定螺丝(5-3)连接。
[0010]所述的带圆形凹槽的调节固定螺丝(5-3) —端设有内六角槽。
[0011]同现有技术相比，本实用新型的有益效果至少在于:
[0012](I)本实用新型的结构简单，使用方便，操作安全；
[0013](2)样品固定的稳定性高，不易滑移，有效克服粘黏固定方式的缺点，能确保制样操作的精确性；
[0014](3)样品夹持距离可调节，满足不同厚度需求，对常规样品和底部不规则样品均具有适用性。
【专利附图】
【附图说明】:
[0015]图1是本实用新型的结构示意图；
[0016]图2是本实用新型中可调节式夹具5的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的阐述，但该实施例不应理解为对本实用新型的限制。
[0018]参阅图1，该样品台包括水平样品台面1、倾斜样品台面3、可调节式夹具5和底部螺丝6。水平样品台面I设有小孔2，适合放置扫描电镜的标准钉型样品台，目的在于完成FIB制样后样品的转移放置。倾斜样品台面3与水平样品台面I所成的夹角为52°，其上端凹槽4用于固定可调节式夹具5，下端有一凸起处，用于阻挡样品。样品放置于倾斜台面3上，旋动可调节式夹具5中螺丝改变距离，以利于夹紧样品。底部螺丝6与扫描电镜样品室台面以螺丝方式固定。
[0019]参阅图2，可调节式夹具5中第一夹片5-1大小与倾斜样品台面凹槽4匹配，以便固定于倾斜台面3，第一夹片5-1上螺纹通孔用于与第二夹片5-2连接；调节固定螺丝5-3插入第二夹片5-2螺孔中，用卡扣5-4予以固定，且螺丝5-3底部留有内六角槽，目的为:旋动内六角部位时，第二夹片5-2随螺丝沿倾斜台面3移动而夹片自身不转动，以至夹紧样
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[0020]本实用新型还可以有其他多种实施方式，但在不脱离本实用新型精神及其实质之情况下，本领域技术人员当可根据本实用新型做出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
[0021]本说明书中若有未作详细描述的内容，应为本领域的专业技术人员公知或应知的技术，此处不再赘述。
【权利要求】
1.一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于:该样品台包括水平样品台面(I)、倾斜样品台面(3)、可调节式夹具(5)和底部螺丝(6)，所述的水平样品台面上设有小孔(2)，所述的倾斜样品台面(3)与水平样品台面(I)的夹角为52°，倾斜样品台面(3)上端设有凹槽(4)，下端有一凸起处，可调节式夹具(5)设置在倾斜样品台面(3)上，可调节式夹具(5)的第一夹片(5-1)与倾斜样品台面(3)上的凹槽相匹配，底部螺丝(6)与扫描电镜样品室台面螺孔相匹配。
2.如权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于:水平样品台面(I)上的小孔(2)与扫描电镜的标准钉型样品台相匹配。
3.如权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于:所述的可调节式夹具(5)主要由第一夹片(5-1)，第二夹片(5-2)，带圆形凹槽的调节固定螺丝(5-3)，圆形凹槽匹配的卡扣(5-4)组成。
4.如权利要求3所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于:所述的第一夹片(5-1)上设有螺纹通孔，所述的第二夹片(5-2)上设有凹槽通孔，第一夹片(5-1)与第二夹片(5-2)使用调节固定螺丝(5-3)连接。
5.如权利要求3所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于:所述的带圆形凹槽的调节固定螺丝(5-3)—端设有内六角槽。
【文档编号】G01N1/44GK203414328SQ201320422246
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2013年7月15日 优先权日:2013年7月15日
【发明者】张珂, 金传伟, 洪慧敏, 牛亚慧 申请人:江苏省沙钢钢铁研究院有限公司