一种高速平面度检测仪的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种高速平面度检测仪，所述底座1上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述Y向工作台安装在底座上，它由两侧立柱，中间横梁组成，通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述Z向工作台主板上装有CCD激光位移传感器固定块，上面固定有CCD激光位移传感器；所述底座工作台上设有定位板。本实用新型结构稳定，自动化程度高，操作简单，功能强大，精度高，性价比优，适用范围广泛。
【专利说明】一种高速平面度检测仪
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种全自动，高精度测量工件平面度，粗糙度及平行度的设备，具体地说是一种高速平面度检测仪。
【背景技术】
[0002]随着科学技术的不断进步，人们对检测自动化的程度不断提高。一种高效，全自动检测玻璃工件平面度的设备是通过CCD激光位移传感器采集放置于工作台上的工件的高度数据，通过计算机运算处理，配合科学的软件算法得到工件的平面度，平行度数据。它由大理石底座，Y向工作台，X向工作台以及Z向工作台组成，机台采用龙门结构，右端单边驱动横梁移动。Z向工作台上装有CCD激光位移传感器和光学影像集成装置，可以通过视觉系统快速观察被测目标并精确定位。工作时Z轴固定不动，Y，Z向工作台把测量点移到工件的不同点，CCD激光位移传感器测量工件表面高度数据，可得到工件的平面度，粗糙度等数据。同时旁边的光学影像集成装置可以同时进行产品的几何尺寸测量，两种测量模式可以同时进行，节约时间，提高工作效率，还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。但是现有的检测仪结构不够稳定，自动化程度不高，功能很少，精度不高，性价比低，适用范围不狭窄。为了解决现有技术的不足，本实用新型提出一种高速平面度检测仪。
实用新型内容
[0003]针对上述问题，本实用新型旨在提供一种高速平面度检测仪。
[0004]为实现该技术目的，本实用新型的方案是:一种高度平面度检测仪，包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位置传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、定位板；所述底座I上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述底座采用优质天然大理石制作，它具有高精度，高稳定性；所述Y向工作台安装在底座上，它由两侧立柱，中间横梁组成，通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上，左侧两滑轨滑块组保证工作台的运动精度，右滑轨滑块组起辅助作用，主要支撑中间横梁，保证横梁与底座平面的平行度，通过安装在底座上的第一轴马达，第一轴高精密丝杆驱动，安装在左立柱侧的光栅尺准确测量数据，安装在左立柱两端的位置传感器可防止工作台超出工作范围，两侧立柱及中间横梁采用优质天然大理石和优质航空硬铝合金制作，材料特性稳定质量轻，使设备具有高精度，高稳定性和很低的运动惯性；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作，通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向，保证与Y工作台运动方向的垂直度及与底座平面的平行度，通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动；所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上，通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接，保证运动方向与Y、X工作台运动方向及底座平面垂直，通过梯形螺杆螺母调节高度；所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块，上面固定有CCD激光位移传感器，通过更换固定块可对不同的产品进行检测；所述主板上还装有光学影像集成装置，以同时进行产品的几何尺寸测量，两种测量模式可以同时进行，节约时间，提高工作效率，还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。所述底座工作台上设有定位板可使更换工件时快速定位夹具。
[0005]作为优选，所述Y向运动工作台采用龙门结构。
[0006]作为优选，所述安装在Z向上的CXD位移传感器偏移20。测量。
[0007]本实用新型可准确读出Y向位置并向电脑传递数据，滑块两端装有位置传感器以防工作台超出测量范围，底座工作台上装有测量定位板，以便更换工件时可以快速定位，不需要调整产品，且结构稳定，自动化程度高，操作简单，功能强大，精度高，性价比优，适用范围广泛。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型中高速平面度测量仪的立体示意图；
[0009]图2为本实用新型中CXD激光位移传感器工作的示意图；
[0010]图中:底座1、第一轴马达2、第一轴高精密丝杆3、滑块组4、立柱5、光栅尺6、位置传感器7、中间横梁8、第二轴马达9、第二轴高精密丝杆10、高精密滑轨滑块11、工作台板12、梯形螺杆螺母13、滚珠导轨14、主板15、固定块16、光学影像集成装置17、CCD激光位移传感器18、视觉照明装置19、定夹具20。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。
[0012]如图1?2所示，本实用新型实施例的一种高速平面度检测仪，包括底座1、第一轴马达2、第一轴高精密丝杆3、滑块组4、立柱5、光栅尺6、位置传感器7、中间横梁8、第二轴马达9、第二轴高精密丝杆10、高精密滑轨滑块11、工作台板12、梯形螺杆螺母13、滚珠导轨14、主板15、CXD激光位移传感器固定块16、光学影像集成装置17、CXD激光位移传感器18、视觉照明装置19、定夹具20 ;所述底座I上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述底座I采用优质天然大理石制作，它具有高精度，高稳定性；所述Y向工作台安装在底座I上，它由两侧立柱5，中间横梁8组成，通过3组高精密滑轨滑块组4安装在底座I上，左侧两滑轨滑块组保证工作台的运动精度，右滑轨滑块组起辅助作用，主要支撑中间横梁，保证横梁与底座平面的平行度，通过安装在底座I上的第一轴马达2，第一轴高精密丝杆3驱动，安装在左立柱侧的光栅尺6准确测量数据，安装在左立柱两端的位置传感器7可防止工作台超出工作范围，两侧立柱及中间横梁采用优质天然大理石和优质航空硬铝合金制作，材料特性稳定质量轻，使设备具有高精度，高稳定性和很低的运动惯性；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述工作台板12采用优质航空硬铝合金制作，通过两组高精密滑轨滑块11与横梁连接导向，保证与Y工作台运动方向的垂直度及与底座平面的平行度，通过安装在横梁上的第二轴马达9和第二轴高精密丝杆10驱动；所述Z向工作台主板15安装在X向工作台板上，通过高精密交叉滚子导轨14与X向工作台板连接，保证运动方向与Y，X工作台运动方向及底座平面垂直，通过梯形螺杆螺母13调节高度；所述主板15上装有CCD激光位移传感器固定块16，上面固定有CCD激光位移传感器18，可对不同的产品进行检测；所述主板15上还装有上光学影像集成装置17和下光学影像集成装置19，可测量工件的几何形状和尺寸并对被测目标进行准确定位；所述底座I工作台上设有定夹具20可使更换工件时快速定位。
[0013]作为优选，所述Y向运动工作台采用龙门结构。
[0014]作为优选，所述安装在Z向上的CXD位移传感器18偏移20e测量。
[0015]以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本实用新型技术方案的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种高速平面度检测仪，包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位移传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、下光学影像集成装置、定位板；其特征在于:所述底座(I)上安装有Y向工作台，Y向工作台上安装有X向工作台，X向工作台上安装有Z向工作台；所述底座采用优质天然大理石制作；所述Y向工作台安装在底座上，它由两侧立柱，中间横梁组成，通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上；所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上；所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作，通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向，通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动；所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块，上面固定有CCD激光位移传感器；所述底座工作台上设有定位板。
2.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪，其特征在于:所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上，通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接。
3.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪，其特征在于:所述Y向运动工作台采用龙门结构。
【文档编号】G01B11/30GK203785643SQ201320876074
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2013年12月26日 优先权日:2013年12月26日
【发明者】黄宏臻 申请人:东莞市兆丰精密仪器有限公司