电磁场近场扫描装置与扫描方法
【专利摘要】本发明提供一种电磁场近场扫描装置与扫描方法，扫描装置结构简单，通过探头实现对待测物品的电磁场近场数据的准确采集，通过空间移动平台和计算机协调工作实现对探头位置的精准控制，通过显微摄像装置精准监测探头与待测物品之间的距离，从而能够精准获得待测物品的电磁场近场扫描结果，另外，探头在扫描待测物品电磁场近场时，采用逐点扫描，实时采集传输，即每一次探头移动，均采集一次数据并及时将采集到的数据发送至信号分析装置，避免扫描过程中，扫描装置自身对待测物品电磁场近场的影响，以及数据采集延时对信号准确度的影响，从而更进一步提高了扫描的精度和扫描结果的准确度。
【专利说明】电磁场近场扫描装置与扫描方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电磁场检测【技术领域】，特别是涉及电磁场近场扫描装置与扫描方法。【背景技术】
[0002]随着集成技术的日益先进，电子产品逐渐出现了精小简约的趋势，越来越多的产品采用多个电路芯片安放在一个小电路板上，甚至是多个芯片安放在同一个集成的模块中。鉴于这种集成趋势以及电子产品EMI控制要求的逐渐提高，元件级以及小范围的PCB的电磁兼容问题成为人们关注的热点之一，如一个手机板的EMC设计，一个混合集成电路的EMC设计等等。为了支撑这种小尺寸高集成的电子产品的EMC设计，需要对各种重要元件(如集成电路、芯片)以及PCB的局部区域进行电磁场近场扫描，以便获得局域的电磁场分布情况，为下一步的电磁兼容设计提供验证和测试。
[0003]目前，电磁场近场扫描的技术主要针对大尺寸的检测对象，如无线局域网、蜂窝通讯等等空间通讯信号。总的来说，主要技术大致可以分为两种，一种采用尺寸较大的天线，另一种采用天线阵列。上述两种技术针对的检测对象尺寸在几十厘米，甚至更大的尺寸。这两种技术都意味着其空间分辨率将受到限制，同时其位移的精度和步长也必然较为粗糙，若需实现小尺寸检测对象内部较高精度的空间定位，则其空间位置控制平台必须要求很闻，其实现复杂，且实现成本闻昂。
【发明内容】
[0004]基于此，有必要针对现有电磁场近场扫描装置实现小型电磁场近场扫描结构复杂、成本高昂的问题，提供一种结构简单、扫描精度高且成本低廉的电磁场近场扫描装置与扫描方法。
[0005]一种电磁场近场扫描装置，包括探头、空间移动平台、显微摄像装置、信号分析装置和计算机；
[0006]所述探头和所述计算机分别与所述信号分析装置连接，所述空间移动平台和所述显微摄像装置分别与所述计算机连接，所述探头固定于所述空间移动平台；
[0007]所述计算机发送指令，控制所述空间移动平台空间移动，固定于所述空间移动平台的探头移动，逐点扫描待测物品的电磁场近场，实时采集待测物品电磁场近场的电信号数据，并将采集到的电信号数据发送至所述信号分析装置，所述信号分析装置分析所述电信号数据，获取信号测量数据，并将所述信号测量数据发送至所述计算机，所述显微摄像装置监测所述探头与所述待测物品之间的距离，并将监测获得的距离数据发送至所述计算机，所述计算机根据所述信号测量数据和所述距离数据，处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。
[0008]一种如权利要求上述的电磁场近场扫描装置的扫描方法，包括步骤:
[0009]接收计算机位移控制指令，并根据所述位移控制指令控制空间移动平台移动；
[0010]逐点扫描待测物品的电磁场近场，并实时采集待测物品电磁场近场的电信号数据；
[0011 ] 将所述待测物品电磁场近场的电信号数据发送至所述信号分析装置，获得获取信号测量数据；
[0012]监测所述探头与所述待测物品之间的距离，获得距离数据；
[0013]将所述信号测量数据和所述距离数据实时发送至所述计算机，处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。
[0014]本发明电磁场近场扫描装置包括探头、空间移动平台、显微摄像装置、信号分析装置和计算机，探头固定于空间移动平台，空间移动平台根据计算机的指令移动，以使探头移动，探头逐点扫描待测物品的电磁场近场，获得电信号数据(例如电压数据、电流数据等)，信号分析装置分析电信号数据获得测量数据，同时显微摄像装置精准监测探头在移动过程中与待测物品之间的距离，获得距离数据，计算机根据测量数据和距离数据处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。另外本发明还提供上述电磁场近场扫描装置的扫描方法。本发明电磁场近场扫描装置结构简单，通过探头实现对待测物品的电磁场近场数据的准确采集，通过空间移动平台和计算机协调工作实现对探头位置的精准控制，通过显微摄像装置精准监测探头与待测物品之间的距离，从而能够精准获得待测物品的电磁场近场扫描结果，另外，探头在扫描待测物品电磁场近场时，采用逐点扫描，实时采集传输，即每一次探头移动，均采集一次数据并及时将采集到的数据发送至信号分析装置，避免扫描过程中，扫描装置自身对待测物品电磁场近场的影响，以及数据采集延时对信号准确度的影响，从而更进一步提高了扫描的精度和扫描结果的准确度。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本发明电磁场近场扫描装置第一个实施例的结构示意图；
[0016]图2为本发明电磁场近场扫描装置第二个实施例的结构示意图；
[0017]图3为本发明电磁场近场扫描装置的扫描方法第一个实施例的流程示意图；
[0018]图4为本发明电磁场近场扫描装置的扫描方法第二个实施例的流程示意图。
【具体实施方式】
[0019]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下根据附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施仅仅用以解释本发明，并不限定本发明。
[0020]如图1所示，一种电磁场近场扫描装置，包括探头100、空间移动平台200、显微摄像装置300、信号分析装置400和计算机500 ；
[0021]所述探头100和所述计算机500分别与所述信号分析装置400连接，所述空间移动平台200和所述显微摄像装置300分别与所述计算机500连接，所述探头100固定于所述空间移动平台200 ；
[0022]所述计算机500发送指令，控制所述空间移动平台200空间移动，固定于所述空间移动平台200的探头100移动，逐点扫描待测物品的电磁场近场，实时采集待测物品电磁场近场的电信号数据，并将采集到的电信号数据发送至所述信号分析装置400，所述信号分析装置400分析所述电信号数据，获取信号测量数据，并将所述信号测量数据发送至所述计算机500，所述显微摄像装置300监测所述探头100与所述待测物品之间的距离，并将监测获得的距离数据发送至所述计算机500，所述计算机500根据所述信号测量数据和所述距离数据，处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。
[0023]本发明电磁场近场扫描装置包括探头、空间移动平台、显微摄像装置、信号分析装置和计算机，探头固定于空间移动平台，空间移动平台根据计算机的指令移动，以使探头移动，探头逐点扫描待测物品的电磁场近场，获得电信号数据(例如电压数据、电流数据等)，信号分析装置分析电信号数据获得测量数据，同时显微摄像装置精准监测探头在移动过程中与待测物品之间的距离，获得距离数据，计算机根据测量数据和距离数据处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。本发明电磁场近场扫描装置结构简单，通过探头实现对待测物品的电磁场近场数据的准确采集，通过空间移动平台和计算机协调工作实现对探头位置的精准控制，通过显微摄像装置精准监测探头与待测物品之间的距离，从而能够精准获得待测物品的电磁场近场扫描结果，另外，探头在扫描待测物品电磁场近场时，采用逐点扫描，实时采集传输，即每一次探头移动，均采集一次数据并及时将采集到的数据发送至信号分析装置，避免扫描过程中，扫描装置自身对待测物品电磁场近场的影响，以及数据采集延时对信号准确度的影响，从而更进一步提高了扫描的精度和扫描结果的准确度。
[0024]如图2所示，在其中一个实施例中，所述空间移动平台200包括控制器210、多个空间轴线步进电机220和固定平台230，所述控制器310分别与所述计算机500、以及所述多个空间轴线步进电机220连接，所述多个空间轴线步进电机220分别固定于所述固定平台230 ；
[0025]所述控制器210用于接收所述计算机500的控制指令，并根据所述计算机500的控制指令控制所述多个步进电机220转动，以使所述固定平台230移动，所述固定平台230用于固定所述探头100。
[0026]在本实施例中，空间移动平台包括有控制器、多个空间轴线步进电机和固定平台，控制器接收计算机的控制指令，控制多个空间轴线步进电机转动，以控制整个固定平台移动，而固定平台上固定有探头，从而实现探头移动的控制。另外多个空间轴线步进电机来控制整个移动，能够全方位，多角度的位移控制，确保位移的精准。具体来说，多个空间轴线步进电机包括X轴线步进电机、Y轴线步进电机和Z轴线步进电机以及倾斜角度R步进电机，实现探头在三维甚至四维空间的精准位移。
[0027]如图2所不,在其中一个实施例中，所述电磁场近场扫描装置还包括固定底座600，所述空间移动平台200固定于所述固定底座600。
[0028]在本实施例中，本发明电磁场近场扫描装置增设有固定底座，空间移动平台固定于固定底座上，固定底座是用于支撑固定整个空间移动平台的，便于空间移动平台平稳放置，避免在扫描过程空间移动平台自身的移动带来扫描误差，确保扫描结果的精准。
[0029]如图2所示，在其中一个实施例中，电磁场近场扫描装置还包括样品台700，所述样品台700固定于所述固定底座600，且所述样品台700与所述探头100相对间隔设置，所述样品台700用于承载所述待测物品。
[0030]在本实施例中，本发明电磁场近场扫描装置增设有样品台，样品台用于承载所述待测物品，避免在扫描过程，意外导致待测物品的移动导致扫描误差，确保扫描结果的精准。[0031 ] 如图2所示，在其中一个实施例中，还包括显微摄像装置固定架800，所述显微摄像装置固定架800固定于所述固定底座600,所述显微摄像装置固定架800用于固定所述显微摄像装置300。
[0032]正如之前所述，显微摄像装置是用于监测探头与待测物品之间的距离，并将监测获得的距离数据发送至计算机。为了确保监测结果的准确，在本实施例中，本发明电磁场近场扫描装置增设显微摄像装置固定架，用于固定所述显微摄像装置。另外，可以理解，可以根据实际应用的需要，将显微摄像装置在显微摄像装置固定架移动到所需要的位置后再将其固定。
[0033]在其中一个实施例中，所述信号分析装置为频谱分析仪、网络分析仪或示波器。
[0034]在其中一个实施例中，所述显微摄像装置为CXD显微摄像头。
[0035]在其中一个实施例中，所述多个空间轴线步进电机包括X轴线步进电机、Y轴线步进电机和Z轴线步进电机，其中，X轴线、Y轴线和Z轴线分别为三维空间坐标轴的三个基准方向轴线。
[0036]为了准确定位三维空间中某点的位置，通常会使用三维空间坐标轴，例如某点的位置为(X，Y，Z)利用三个坐标值来实现精准定位。在三维空间坐标轴中，X轴线、Y轴线和Z轴线分别为三个基准方向的轴线。
[0037]为了详细解释本发明电磁场近场扫描装置中各个组成部分的功能，下面将分别引入具体实施例详细介绍各个组成部分的在实际应用中的优选实施例以及其效果。
[0038]探头
[0039]探头用于探测待测样品上方或者空间某一位置的电磁场强度，可以是电场或者磁场某一个分量。探头的设计可以多样化，比如，单方向的探测探头，双方向的探测探头。可以是一个基于容性耦合原理的电场探头，电场的方向可以是Ex，Ey, Εζ，探头获取的是电压信号；也可以是一个基于感性耦合原理的磁场探头，比如Hx，Hy, Hz等，探头获取的是电流信号；原则上可以安装各种不同类型的探头，以实现不同的探测，如霍尔元件或者超导元件等等。探头的设计与探头的性能与功能有关，对后续的数据处理也有一定的影响。采用磁性材料感应电磁场的时候需要特别注意磁滞效应。探头与频谱仪进行连接，因此在接口方面必须进行一定的设计，比如，探头的接口采用SMA(Sub-Miniature-A,无线天线接口)头。
[0040]空间移动平台
[0041]空间移动平台用于控制探头在空间的三维位置甚至角度，按照目前通用型的精小空间移动平台规格，三个维度的控制可以达到至少10微米的控制精度，而角度的控制可以达到0.1度，空间移动平台以及角度控制平台事实上包括移动架、步进电机、控制器等部分。空间移动平台的控制主要通过控制器以及步进电机实现。控制器与计算机连接，步进电机安装在移动平台上，通过丝杆控制台子的移动。移动平台的设计方案需要考虑到样品台的放置，以及与探头的连接。移动平台以及样品台需要固定在一个较为稳定的平台上，移动平台与探头的连接需要用螺丝或者其他方式来固定。
[0042]显微摄装置
[0043]显微摄装置优选的为CXD显微摄像头，CXD显微摄像头的设计主要是为了监控样品与探头的距离，因此，为了精确获得所监控的距离，需要一个带刻度或者十字线标示的CCD显微摄像头，摄像头在使用过程中位置固定。为了实现系统级的控制，CCD显微摄像头与计算机通过USB 口连接，实时获得监控图像，以便观察探头与样品之间的距离。
[0044]信号分析装置
[0045]信号分析装置可以为括频谱分析仪、网络分析仪或示波器。频谱分析仪可以用来直接获取频域信号，网络分析仪可以用来获取相位信号，而示波器可以用来获取时域信号，不同的配置可以实现不同的探测量。为了实现更高精度的测试，可以在信号分析装置前面加装前置放大器。为了实现低噪的信号测试，需要对信号分析装置的带宽等进行设置。为了实现数据的自动化采集，需要通过USB、Lan或者GPIB接口将信号分析装置与计算机进行连接。
[0046]计算机
[0047]计算机用于对整个系统的控制以及数据的后处理。系统的控制包括对探头位置的控制，以及从信号分析装置(频谱分析仪、网络分析仪、示波器等)获取测量数据。计算机系统对探头位置的控制通过数据线向控制器发送指令，控制器根据指令向步进电机发送脉冲，步进电机再根据脉冲进行转动。计算机系统与控制器的通讯通过一定的协议完成，比GPIB，LAN等等均可以实现。同理，计算机与信号分析装置(频谱分析仪、网络分析仪、示波器等)的连接可以通过GPIB、LAN、或者USB 口来实现。与此同时，为了实现系统级的控制，CXD显微摄像头与计算机通过USB 口连接，实时获得监控图像，以便观察探头与样品之间的距离。同时，在计算机终端可以通过软件对整个系统实现控制，包括移动平台的移动模式、与信号分析装置的连接、数据采集，以及监控探头与样品之间的距离，甚至包括数据后处理
坐坐寸寸ο
[0048]如图3所示，一种如上述的电磁场近场扫描装置的扫描方法，包括步骤:
[0049]SlOO:接收计算机位移控制指令，并根据所述位移控制指令控制空间移动平台移动；
[0050]S200:逐点扫描待测物品的电磁场近场，并实时采集待测物品电磁场近场的电信号数据；
[0051]S300:将所述待测物品电磁场近场的电信号数据发送至所述信号分析装置，获得获取信号测量数据；
[0052]S400:监测所述探头与所述待测物品之间的距离，获得距离数据；
[0053]S500:将所述信号测量数据和所述距离数据实时发送至所述计算机，处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。
[0054]本发明电磁场近场扫描装置的扫描方法，首先接收计算机位移控制指令，并根据所述位移控制指令控制空间移动平台移动，之后逐点扫描待测物品的电磁场近场，并实时采集待测物品电磁场近场的电信号数据，将所述待测物品电磁场近场的电信号数据发送至所述信号分析装置，获得获取信号测量数据，监测所述探头与所述待测物品之间的距离，获得距离数据，将所述信号测量数据和所述距离数据实时发送至所述计算机，处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。利用计算机实现对空间移动平台移动的精准控制、显微摄像装置的精确监测以及采用逐点扫描，实时采集传输，即每一次探头移动，均采集一次数据并及时将采集到的数据发送至信号分析装置，避免扫描过程中，扫描装置自身对待测物品电磁场近场的影响和数据采集延时对信号准确度的影响，能够实现高精度电磁场近场扫描。
[0055]如图4所示，在其中一个实施例中，步骤S500之后还有步骤:[0056]S600:将所述信号测量数据、所述距离数据以及所述待测物品的电磁场近场扫描结果存储于所述计算机。
[0057]将所述信号测量数据、所述距离数据以及所述待测物品的电磁场近场扫描结果存储于所述计算机，便于在后续操作中对历史数据的读取，利用和抽检，避免由于意外导致数据的丢失,确保数据的安全。
[0058]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种电磁场近场扫描装置，其特征在于，包括探头、空间移动平台、显微摄像装置、信号分析装置和计算机； 所述探头和所述计算机分别与所述信号分析装置连接，所述空间移动平台和所述显微摄像装置分别与所述计算机连接，所述探头固定于所述空间移动平台； 所述计算机发送指令，控制所述空间移动平台空间移动，固定于所述空间移动平台的探头移动，逐点扫描待测物品的电磁场近场，实时采集待测物品电磁场近场的电信号数据，并将采集到的电信号数据发送至所述信号分析装置，所述信号分析装置分析所述电信号数据，获取信号测量数据，并将所述信号测量数据发送至所述计算机，所述显微摄像装置监测所述探头与所述待测物品之间的距离，并将监测获得的距离数据发送至所述计算机，所述计算机根据所述信号测量数据和所述距离数据，处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果O
2.根据权利要求1所述的电磁场近场扫描装置，其特征在于，所述空间移动平台包括控制器、多个空间轴线步进电机和固定平台，所述控制器分别与所述计算机、以及所述多个空间轴线步进电机连接，所述多个空间轴线步进电机分别固定于所述固定平台； 所述控制器用于接收所述计算机的控制指令，并根据所述计算机的控制指令控制所述多个步进电机转动，以使所述固定平台移动，所述固定平台用于固定所述探头。
3.根据权利I或2所述的电磁场近场扫描装置，其特征在于，还包括固定底座，所述空间移动平台固定于所述固定底座。
4.根据权利3所述的电磁场近场扫描装置，其特征在于，还包括样品台，所述样品台固定于所述固定底座，且所述样品台与所述探头相对间隔设置，所述样品台用于承载所述待测物品。
5.根据权利3所述的电磁场近场扫描装置，其特征在于，还包括显微摄像装置固定架，所述显微摄像装置固定架固定于所述固定底座，所述显微摄像装置固定架用于固定所述显微摄像装置。
6.根据权利I或2所述的电磁场近场扫描装置，其特征在于，所述信号分析装置为频谱分析仪、网络分析仪或示波器。
7.根据权利I或2所述的电磁场近场扫描装置，其特征在于，所述显微摄像装置为CCD显微摄像头。
8.根据权利要求2所述的电磁场近场扫描装置，其特征在于，所述多个空间轴线步进电机包括X轴线步进电机、Y轴线步进电机和Z轴线步进电机，其中，X轴线、Y轴线和Z轴线分别为三维空间坐标轴的三个基准方向轴线。
9.一种如权利要求1-8所述的电磁场近场扫描装置的扫描方法，其特征在于，包括步骤: 接收计算机位移控制指令，并根据所述位移控制指令控制空间移动平台移动； 逐点扫描待测物品的电磁场近场，并实时采集待测物品电磁场近场的电信号数据； 将所述待测物 品电磁场近场的电信号数据发送至所述信号分析装置，获得获取信号测量数据； 监测所述探头与所述待测物品之间的距离，获得距离数据； 将所述信号测量数据和所述距离数据实时发送至所述计算机，处理获得待测物品的电磁场近场扫描结果。
10.根据权利要求9所述的电磁场近场扫描装置的扫描方法，其特征在于，所述将所述信号测量 数据和所述距离数据发送至所述计算机，处理获得所述待测物品的电磁场近场扫描结果之后还有步骤: 将所述信号测量数据、所述距离数据以及所述待测物品的电磁场近场扫描结果存储于所述计算机。
【文档编号】G01R29/08GK103941106SQ201410178227
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年4月29日 优先权日:2014年4月29日
【发明者】方文啸, 陈立辉, 恩云飞, 肖庆中, 刘远, 史春蕾 申请人:工业和信息化部电子第五研究所