一种二次元量测设备系统误差补偿装置制造方法
【专利摘要】一种二次元量测设备系统误差补偿装置，是由主线轨、辅线轨、工作平台、光栅尺、上横梁、中横梁、下横梁、中竖梁、右竖梁、左竖梁和主梁组成，其特征在于：所述的主梁为工作平台上；所述的主线轨和辅线轨位于主梁的两端；所述的光栅尺位于主梁的中间。该装置解决了传统系统误差补偿装置对大行程龙门式二次元量测设备补偿装置效果较差的问题。
【专利说明】一种二次元量测设备系统误差补偿装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及测量设备，尤其涉及一种二次元量测设备系统误差补偿装置。
【背景技术】
[0002]目前，市面上龙门式二次元量测设备，特别是大行程龙门式二次元量测设备，由于设备结构和机械安装等方面的原因，在运行测量过程中随着测量距离的增长，会产生较大的阿贝误差和机械误差，其中比较有代表性的现象是沿主线轨方向工作平台两侧的线性测量精度差别很明显。现有的系统误差补偿装置主要有面补正、快速面补正和光学尺线性补正。这三种补偿装置对中小行程的龙门式一种二次元量测设备系统误差补偿装置效果比较好，对大行程龙门式二次元量测设备系统误差补正，面补正限于工艺等因素实现难度较大、成本较高，快速面补正和光学尺线性补正因其补偿装置原理上的原因，补偿装置效果较差。因此，设计一种新型的龙门式一种二次元量测设备系统误差补偿装置成为本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
[0003]本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种二次元量测设备系统误差补偿装置。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采取技术方案是:一种二次元量测设备系统误差补偿装置，是由主线轨、辅线轨、工作平台、光栅尺、上横梁、中横梁、下横梁、中竖梁、右竖梁、左竖梁和主梁组成。
[0005]所述的主梁为工作平台上。
[0006]所述的主线轨和辅线轨位于主梁的两端。
[0007]所述的光栅尺位于主梁的中间。
[0008]所述的上横梁、中横梁和下横梁与主梁平行从上倒下依次排列。
[0009]所述的中竖梁、右竖梁和左竖梁与光栅尺平行从左到右依次排列。
[0010]该装置采用快速面补正或光学尺线性补正生成的补偿装置档，设计一种新的比例补偿装置方式，根据二次元量测设备行程的大小在其单轴方向(主梁方向和主线轨方向)横向位置选取2、3个点，根据补偿装置后该点在对应轴向方向的线性测量精度，对其进行线性比例补偿装置，根据这些点的坐标和线性比例补偿装置系数，通过算法实现对整个工作平台各个位置的比例补偿装置，实现对系统误差的的二次补偿装置。
[0011]本实用新型有益效果是:本实用新型在采用现有技术生成的补偿装置档的基础上，使用比较简单的方式采集现有补偿装置原理上不能同时兼顾位置的线性测量信息，实现对系统误差的二次补偿装置，解决了传统系统误差补偿装置对大行程龙门式二次元量测设备补偿装置效果较差的问题。
【专利附图】
【附图说明】[0012]图1是本实用新型进行信息采集的位置选取示意图。
[0013]其中，I一主线轨；2—辅线轨；3—工作平台；4一光栅尺；5—上横梁、6—中横梁、7—下横梁；8—中竖梁、9一右竖梁、10—左竖梁、11一主梁。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本实用新型进一步详述:
[0015]如图1所示，一种二次元量测设备系统误差补偿装置，
[0016]一种二次元量测设备系统误差补偿装置，是由主线轨1、辅线轨2、工作平台3、光栅尺4、上横梁5、中横梁6、下横梁7、中竖梁8、右竖梁9、左竖梁10和主梁11组成。
[0017]所述的主梁11为工作平台3上。
[0018]所述的主线轨I和辅线轨2位于主梁11的两端。
[0019]所述的光栅尺4位于主梁11的中间。
[0020]所述的上横梁5、中横梁6和下横梁7与主梁11平行从上倒下依次排列。
[0021]所述的中竖梁8、右竖梁9和左竖梁10与光栅尺4平行从左到右依次排列。
[0022]在采用现有技术生成的补偿装置档的基础上，采集上横梁5、中横梁6、下横梁7位置的I轴坐标和中竖梁8、右竖梁9、左竖梁10位置的X轴坐标及各位置的线性比例补偿装置系数，通过算法实现对系统误差的二次补偿装置。
[0023]如图1所示，本实用新型的工作原理为:启用通过快速面补正或光学尺线性补正生成的补偿装置档，采集所用补偿装置方式不能同时兼顾位置的相关信息，包括X轴方向上中下位置的y轴方向坐标和各位置单独进行线性比例补偿装置的补偿装置系数以及y轴方向左中右位置的X轴方向坐标和各位置单独进行线性比例补偿装置的补偿装置系数，将所采集信息输入通过算法生成的对系统误差进行二次补偿装置的程式中，运行即可实现对系统误差的二次补偿装置。
[0024]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的【技术领域】，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种二次元量测设备系统误差补偿装置，是由主线轨、辅线轨、工作平台、光栅尺、上横梁、中横梁、下横梁、中竖梁、右竖梁、左竖梁和主梁组成，其特征在于:所述的主梁为工作平台上；所述的主线轨和辅线轨位于主梁的两端；所述的光栅尺位于主梁的中间。
2.根据权利要求1所述的一种二次元量测设备系统误差补偿装置，其特征在于:所述的上横梁、中横梁和下横梁与主梁平行从上倒下依次排列。
3.根据权利要求1所述的一种二次元量测设备系统误差补偿装置，其特征在于:所述的中竖梁、右竖梁和左竖梁与光栅尺平行从左到右依次排列。
【文档编号】G01B11/00GK203772218SQ201420101054
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2014年3月7日
【发明者】郑杰仁 申请人:昆山万像光电有限公司