一种分光干涉膜厚测量仪的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种分光干涉膜厚测量仪，包括样品台、连接臂、电动机、移动座、镜头、光源、分光模块和计算机，所述连接臂的一端安装于所述样品台的一侧，所述连接臂的另一端与所述电动机连接，所述电动机的转轴与所述移动座的一侧连接，所述镜头安装于所述移动座上，所述光源的信号输出端和所述分光模块的信号输出端均与所述镜头连接，所述计算机的信号输出端与所述分光模块的信号输入端连接。本实用新型设计一种结构较为简单的分光干涉膜厚测量仪，能够精确的测量出分光噶社的膜厚，其性能较为稳定。
【专利说明】一种分光干涉膜厚测量仪
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种测量仪，尤其涉及一种分光干涉膜厚测量仪。
【背景技术】
[0002]光波的干涉现象早在十九世纪初就被托马斯?杨发现了。后来，麦克尔逊利用光干涉的原理成功地进行了光速的测定和长度的测量，并广泛地发展了干涉仪的应用。在1920年，麦克尔逊又试图利用光波干涉原理来进行天体测量，以测出亮度很高的星球的直径。而目前所采用的分光干涉膜厚测量仪，其结构较为复杂，操作极为不方便，致使在人员使用时必须经过系统的培训才能够使用，这给人们带来了极为的不便。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种分光干涉膜厚测量仪。
[0004]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
[0005]本实用新型包括样品台、连接臂、电动机、移动座、镜头、光源、分光模块和计算机，所述连接臂的一端安装于所述样品台的一侧，所述连接臂的另一端与所述电动机连接，所述电动机的转轴与所述移动座的一侧连接，所述镜头安装于所述移动座上，所述光源的信号输出端和所述分光模块的信号输出端均与所述镜头连接，所述计算机的信号输出端与所述分光模块的信号输入端连接。
[0006]进一步，所述样品台上放置样品。
[0007]本实用新型的有益效果在于:
[0008]本实用新型设计一种结构较为简单的分光干涉膜厚测量仪，能够精确的测量出分光噶社的膜厚，其性能较为稳定。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型所述一种分光干涉膜厚测量仪的结构示意图。
[0010]图中:1_样品台、2_连接臂、3_电动机、4_移动座、5_镜头、6_样品。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0012]如图1所不:本实用新型包括样品台1、连接臂2、电动机3、移动座4、镜头5、光源、分光模块和计算机，连接臂2的一端安装于样品台I的一侧，连接臂2的另一端与电动机3连接，电动机3的转轴与移动座4的一侧连接，镜头5安装于移动座4上，光源的信号输出端和分光模块的信号输出端均与镜头5连接，计算机的信号输出端与分光模块的信号输入端连接，样品台I上放置样品6。
[0013]本领域技术人员不脱离本实用新型的实质和精神，可以有多种变形方案实现本实用新型，以上所述仅为本实用新型较佳可行的实施例而已，并非因此局限本实用新型的权利范围，凡运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变化，均包含于本实用新型的权利范围之内。
【权利要求】
1.一种分光干涉膜厚测量仪，其特征在于：包括样品台、连接臂、电动机、移动座、镜头、光源、分光模块和计算机，所述连接臂的一端安装于所述样品台的一侧，所述连接臂的另一端与所述电动机连接，所述电动机的转轴与所述移动座的一侧连接，所述镜头安装于所述移动座上，所述光源的信号输出端和所述分光模块的信号输出端均与所述镜头连接，所述计算机的信号输出端与所述分光模块的信号输入端连接。
2.根据权利要求I所述的一种分光干涉膜厚测量仪，其特征在于：所述样品台上放置样品。
【文档编号】G01B11/06GK204043622SQ201420114500
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年3月14日 优先权日:2014年3月14日
【发明者】雷枫, 李少博, 问孝明 申请人:北京普瑞微纳科技有限公司