一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置及其成像方法与流程

本发明涉及一种成像装置及其成像方法，具体涉一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置及其成像方法，属于光学紧密测量技术领域。

背景技术：

光学显微术是一种历史悠久且十分重要的无破坏性技术，被广泛应用于生物和材料科学等领域。结构光照明技术(StructuredIlluminationMicroscopy,SIM)由美国科学家Gustafsson于2000年提出，其原理类似于莫尔条纹原理，通过调制宽场显微镜的照明函数，使得整个光学系统的光强传递函数(OTF)得到平移与叠加，从而使得系统频域带宽增加，截止频率提高。通常采用一个正弦光栅改变宽场显微镜的照明强度分布，照明光场在光栅方向上被调制，经过旋转光栅实现整个横向的调制。相比于光瞳滤波技术，结构光技术注重考虑光学系统频域的变化与影响，只要满足光栅周期等于宽场显微镜空间截止频率，结构光照明技术即可使系统OTF带宽变为原来的2倍，即分辨率提高为原来的2倍。

但是，通常宽场结构光照明显微镜只能测量比较薄的生物样品，当测量较厚的样品时，随入射距离的增加，平行光入射的衍射光受散射效应影响明显。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品，当测量较厚的样品时，随入射距离的增加，平行光入射的衍射光受散射效应影响明显，测量效率低的问题。

本发明的技术方案是：一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置，包括LED光源1，沿LED光源1光线传播方向依次放置准直扩束器2、扫描系统3、微透镜阵列4、准直透镜5、分光棱镜7、1/4波片9、照明物镜10、样品11、收集透镜6、CCD探测器8；通过微透镜阵列在物面产生的照明光斑中，相邻照明光斑中心距离为照明光场空间周期的整数倍。

由于扫描系统中采用CCD探测，成像效率大大降低。为此，在扫描系统中加入微透镜阵列，对样品进行多路照明，可以使成像速度随微透镜数量成倍提高。

所述的LED光源为非相干光源，对样品的照明为非相干照明，整个成像过程均为非相干成像。

所述扫描系统包括扫描振镜，扫描振镜改变光束偏转角。

基于所述一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置的成像方法，包括以下步骤：

步骤一、对样品表面不同位置进行照明时采集到的光斑，乘以预期在物面形成的结构照明光场归一化强度在该位置的光强系数，在物面得到等效的正弦分布的照明光场；

步骤二、对照明光透过样品并经过物镜再次成像得到探测面上的光强分布，对所述探测面上的光强分布在扫描时间上进行积分，得到样品表面照明光的强度分布；

步骤三、对样品表面照明光光强分布进行超分辨图像重构处理，得到清晰图像。

所述步骤一具体包括：

通过对探测面灵敏度系数进行调试，得到照明光场的不同扫描位置的光强最大值，进而得到扫描后的照明光场光强分布；

对扫描后的照明光场光强分布进行时间积分得到等效照明光场。

所述步骤二包括：

得到照明光透过样品后光强分布，进而得到经过物镜再次成像到探测面上的光强分布；

对探测面上的光强分布在扫描时间上进行积分，得到积分图像的光强分布；

对积分图像的光强分布进行傅里叶变换得到积分图像的图像频谱。

步骤三所述超分辨图像重构处理包括对样品表面照明光的光强分布引入不同的调制相位并进行解调。

所述对样品表面照明光的光强分布引入不同的调制相位并进行解调的过程包括：

根据引入不同的调制相位得到照明光场的不同扫描位置的光强最大值，进而得到引入相位后的积分图像的光强分布；

对引入相位后的积分图像的光强分布进行傅里变换，得到带有相位的积分图像频谱；

通过构造相位矩阵、像频谱矩阵和物频谱矩阵，得到物频谱的三部分的频率信息。

通过微透镜阵列5在物面产生的照明光斑中，相邻照明光斑中心距离为照明光场空间周期的整数倍。

本发明与现有技术相比具有以下效果：本发明的装置在基本扫描显微系统的基础上，在探测端改变CCD探测灵敏度系数，通过时域累计得到光强按正弦分布的等效照明光场。在光路中加入微透镜阵列，使得相邻照明光斑中心在样品表面的距离为正弦照明光场空间周期的整数倍，即可实现多路同时探测，成像速度可以随微透镜阵列中微透镜数量成倍提高。照明光场对样品物函数进行调制，使其高频信息移向低频段，进而能被探测光路探测并参与成像。改变照明光场方向可以对物函数进行不同方向的调制。每个照明方向通过改变照明光场相位，对探测频谱中的高低频成分加以区分，最后进行图像重构得到超分辨图像。该装置与方法可以提高扫描显微系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，并且具有高测量效率，可适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。

所述探测面灵敏度系数与样品被扫描点位置成正弦关系的设计，等效于在样品表面进行光强按正弦分布的结构照明，可以把样品结构中的高频分量向低频方向平移并且与低频成分叠加，系统探测到普通显微成像系统中无法探测到的高频信息，从而显著改善系统横向分辨力。并且在光路中加入微透镜阵列，多路同时照明与探测，使得测量效率随微透镜数量成倍提高。

本发明创造性的将结构光照明原理被引入到扫描显微镜中，增加了光学成像的穿透深度，由于扫描显微镜采用聚焦照明，能量集中，受厚样品散射影响小，因此扫构光照明技术不仅可改善扫描显微镜的横向分辨率，而且满足测量厚的生物样品的要求。

附图说明

图1是本发明超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置结构示意图；

图2是NA＝0.1，λ＝660nm时普通扫描显微成像系统的OTF归一化仿真图；

图3是NA＝0.1，λ＝660nm时阵列虚拟结构光照明显微成像系统的OTF归一化仿真图；

图4是x方向上间隔为3.3um的条纹样品仿真图；

图5是样品的频谱分布仿真图；

图6是条纹样品在NA＝0.1，λ＝660nm的普通扫描显微系统中所探测到的频谱仿真图；

图7是条纹样品在NA＝0.1，λ＝660nm的普通扫描显微系统中所成像光强归一化仿真图；

图8是条纹样品在NA＝0.1，λ＝660nm，照明光场光强分布为的阵列虚拟结构光照明系统中所探测到的频谱仿真图；

图9是图7中数据经过图像重构后的到的超分辨图像的频谱；

图10是条纹样品NA＝0.1，λ＝660nm，照明光场光强分布为的阵列虚拟结构光照明系统中经过图像重构后所得超分辨图像的光强归一化仿真图；

图11是条纹样品与其在普通扫描显微系统和阵列虚拟结构光照明系统中所成像在x方向光强归一化仿真图。

图1中：1、LED光源，2、准直扩束器，3、扫描系统，4、微透镜阵列，5、准直透镜，6、收集透镜，7、分光棱镜，8CCD探测器，9、1/4波片，10、照明物镜，11、样品。

具体实施方式

结合附图说明本发明的具体实施方式，本发明的一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置包括LED光源1，沿LED光源1光线传播方向依次放置准直扩束器2、扫描系统3、微透镜阵列4、准直透镜5、分光棱镜7、1/4波片9、照明物镜10、样品11、收集透镜6和CCD探测器8，且相邻照明光斑中心距离为照明光场空间周期的整数倍。

所述的LED光源为非相干光源，对样品的照明为非相干照明，整个成像过程均为非相干成像。

所述扫描系统3包括扫描振镜，扫描振镜改变光束偏转角。

本实施例的超分辨虚拟结构光照明成像方法，通过探测面探测灵敏度系数进行调制，得到等效扫描点瞬时光强信号I(xs,ys；t)，最后对时间积分，得到在样品表面照明光场的强度分布I(xs,ys)。

基于所述一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置的成像方法，具体包括以下步骤：

步骤一、非相干照明扫描显微系统中，省略放大倍数以及常数系数，照明光强点扩展函数hil(r)与探测光强点扩展函数hde(r)相同，表示如式(1)：

h i l ( r ) = h d e ( r ) = ( J 1 ( 2 π N A r / λ ) 2 π N A r / λ ) 2 - - - ( 1 ) ; ]]>

式中，J1(x)表示第一类一阶贝塞尔函数；NA为数值孔径；r为径向坐标；λ为光源波长。

假设t既表示扫描时间又表示扫描位置,那么在普通扫描显微系统中照明光场的不同扫描位置的光强最大值，如式(2)所示：

I i l max ( t ) = 1 - - - ( 2 ) ; ]]>

进而得到扫描后的照明光场光强分布，如式(3)所示：

I i l ( r , t ) = Σ w , t δ ( w , t ) ⊗ 2 [ I i l max ( t ) h i l ( r - t ) ] - - - ( 3 ) ; ]]>

对扫描后的照明光场光强分布进行时间积分得到等效的正弦分布的照明光场，如式(4)：

I e f f ( r ) = ∫ I i l max ( t ) h i l ( r - t ) d t = I i l max ( r ) ⊗ h i l ( r ) - - - ( 4 ) . ]]>

步骤二、计算照明光透过样品后光强分布，如式(5)：

I i l - o ( r , t ) = I i l max ( t ) h i l ( r - t ) o ( r ) - - - ( 5 ) ; ]]>

进而得到经过物镜再次成像到探测面上的光强分布，如式(6)：

I ( x , t ) = ∫ I i l max ( t ) h i l ( r - t ) o ( r ) h d e ( x - r ) d r - - - ( 6 ) ; ]]>

对探测面上的光强分布在扫描时间上进行积分，得到积分图像的光强分布，如式(7)；

p ( x ) = { [ I i l max ( x ) ⊗ h i l ( x ) ] o ( x ) } ⊗ h d e ( x ) - - - ( 7 ) ; ]]>

对积分图像的光强分布进行傅里叶变换得到积分图像的图像频谱，如式(8)：

p ~ ( k ) = π h ~ i l ( 0 ) o ~ ( k ) h ~ d e ( k ) - - - ( 8 ) ; ]]>

图2是在物镜数值孔径NA＝0.1照明光波长λ＝660nm时扫描显微系统OTF即的归一化仿真图。

图4和图5分别是x方向上间隔为3.3um的被测样品及其频谱分布仿真图。

图6是在普通扫描显微系统中，系统探测到样品的频谱信息对应所成像p(x)如图7所示。

步骤三、对样品表面照明光光强分布进行超分辨图像重构处理，得到清晰图像。

在本实施例中，改变探测面灵敏度系数，等效于改变照明光场的不同扫描位置的光强最大值，如式(9)：

I i l max ( t ) = 1 2 ( 1 + c o s ( ω t t ) ) - - - ( 9 ) ; ]]>

经过扫描后的照明光场光强分布是一个由艾里斑形成的阵列，可表示为如式(10)：

I i l ( r , t ) = Σ w , t δ ( w , t ) ⊗ 2 [ I i l max ( t ) h i l ( r - t ) ] - - - ( 10 ) ; ]]>

最终得到积分图像，其光强分布如式(11)：

p ( x ) = { [ I i l max ( x ) ⊗ h i l ( x ) ] o ( x ) } ⊗ h d e ( x ) - - - ( 11 ) ; ]]>

对其进行傅里叶变换，得到积分图像频谱，如式(12)：

p ~ ( k ) = { π [ h ~ i l ( 0 ) o ~ ( k ) + 1 2 h ~ i l ( ω t ) o ~ ( k - ω t ) + 1 2 h ~ i l ( - ω t ) o ~ ( k + ω t ) ] } h ~ d e ( k ) - - - ( 12 ) ; ]]>

可以看出，虚拟结构光照明超分辨方法成功地把样品在普通显微系统中无法探测到的高频信息移到了显微系统的OTF通带内，使其能被探测。

由于结构照明方法所得的探测结果均含有基频与高频信息的相位混叠，本实施例中通过引入不同的调制相位进行解调，即超分辨图像重构。

在照明光强调制函数中引入相位，照明光场的不同扫描位置的光强最大值变如式(13)：

那么，积分图像光强分布变如式(14)：

对其进行傅里叶变换，得到带有相位的积分图像频谱如式(15)：

构造一个相位矩阵Ψ，像频谱矩阵P，假设物频谱矩阵为O；

令

那么可以得到

由此可以得到物频谱的三部分频率信息。

图3是在物镜数值孔径NA＝0.1照明光波长λ＝660nm时虚拟结构光照明显微系统等效OTF即的归一化仿真图。

对比图2和图3可以看出，虚拟结构光照明显微成像系统的OTF空间频域带宽明显大于普通扫描显微系统OTF。

图8是虚拟结构光照明系统探测结果的频谱信息，图9是解调后积分图像的频谱信息，图10是经过图像恢复后的积分图像。

图11是样品以及其在普通扫描显微系统中所成像和虚拟结构光照明系统中经过图像重构得到的积分图像，在x方向光强分布的归一化仿真图。

通过对比图6和图9可看出本实施例能探测到的最高样品频率明显高于普通扫描显微系统。

通过对比图7和图10，并结合图11，可看出虚拟结构光照明超分辨方法得到的积分图像分辨力明显高于普通扫描显微系统，本实施例实现了扫描显微系统的二维超分辨，扫描显微系统的等效OTF带宽得到拓展。