1.一种经配置以确定于样品上检测到的缺陷的一或多个特性的系统，其包括：
存储媒体，其经配置以存储由检验系统产生的样品的图像，其中所述检验系统经配置以用能量扫描遍及所述样品的物理版本同时检测来自所述样品的能量，由此产生所述样品的所述图像且基于所述图像检测所述样品上的缺陷，其中所述检验系统进一步经配置以用多种模式执行所述扫描及所述检测，且其中由所述存储媒体存储的所述图像包括由所述检验系统针对在其处检测到及未检测到所述缺陷的所述样品上的位置产生的所述图像；及
一或多个计算机子系统，其经配置以：
识别用所述多种模式中的第一者检测到但用所述多种模式中的一或多种其它模式未检测到的所述缺陷中的第一者；
从所述存储媒体获取在对应于所述缺陷中的所述第一者的所述样品上的位置处用所述多种模式中的所述一或多种其它模式产生的所述图像中的一或多者；
确定所述经获取一或多个图像的一或多个特性；及
基于所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性来确定所述缺陷中的所述第一者的一或多个特性。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述存储媒体及所述一或多个计算机子系统并非所述检验系统的部分，且不具有处置所述样品的所述物理版本的任何能力。
3.根据权利要求1所述的系统，其中所述存储媒体及所述一或多个计算机子系统进一步配置为虚拟检验系统。
4.根据权利要求1所述的系统，其中扫描遍及所述样品的所述能量包括光，其中从所述样品检测的所述能量包括光，且其中所述多种模式中的至少一者使用扫描遍及所述样品的所述光的至少一个波长，其不同于扫描遍及所述样品的用于所述多种模式中的至少一个其它模式的所述光的至少一个波长。
5.根据权利要求1所述的系统，其中所述多种模式中的至少一者使用所述检验系统的照明通道，其不同于用于所述多种模式中的至少一个其它模式的所述检验系统的照明通道。
6.根据权利要求1所述的系统，其中所述多种模式中的至少一者使用所述检验系统的光圈的配置，其不同于用于所述多种模式中的至少一个其它模式的所述检验系统的光圈的配置。
7.根据权利要求1所述的系统，其中所述多种模式中的至少一者使用所述检验系统的检测通道，其不同于用于所述多种模式中的至少一个其它模式的所述检验系统的检测通道。
8.根据权利要求1所述的系统，其中由所述检验系统针对在其处检测到及未检测到所述缺陷的所述样品上的所述位置产生且由所述存储媒体存储的所述图像是由所述检验系统在由所述检验系统对所述样品执行的相同检验中产生。
9.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验系统进一步经配置以在所述样品的单个检验过程期间执行的所述样品的不同扫描中用所述多种模式连续地执行所述扫描及所述检测。
10.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验系统进一步经配置以在所述样品的单个检验过程期间执行的所述样品的单个扫描中用所述多种模式中的至少两者同时执行所述扫描及所述检测。
11.根据权利要求1所述的系统，其中由所述存储媒体存储的所述图像进一步包括在所述扫描及检测期间由所述检验系统针对所述样品产生的全部所述图像。
12.根据权利要求1所述的系统，其中所述经获取一或多个图像中的至少一者包括测试图像，且其中确定所述经获取一或多个图像中的所述至少一者的所述一或多个特性包括：通过从所述测试图像减去所述经获取一或多个图像中的所述至少一者的参考图像而产生差异图像，及确定所述差异图像的一或多个特性。
13.根据权利要求1所述的系统，其中在针对对应于所述缺陷中的所述第一者的所述样品上的所述位置产生的两个不同差异图像中检测到所述缺陷中的所述第一者。
14.根据权利要求1所述的系统，其中在针对对应于所述缺陷中的所述第一者的所述样品上的所述位置产生的多个差异图像中的仅一者中检测到所述缺陷中的所述第一者。
15.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以从所述存储媒体获取在所述样品上的额外位置处用所述多种模式中的两者或更多者产生的两个或更多个图像，且基于所述经获取两个或更多个图像来确定所述额外位置处是否存在缺陷。
16.根据权利要求15所述的系统，其中确定是否存在所述缺陷包括：分别确定所述经获取两个或更多个图像的两个或更多个差异图像；分别确定所述两个或更多个差异图像的两个或更多个差异图像属性；及基于所述两个或更多个差异图像属性的组合来确定是否存在缺陷。
17.根据权利要求15所述的系统，其中确定是否存在所述缺陷包括：分别确定所述经获取经获取两个或更多个图像的两个或更多个图像属性；及基于所述两个或更多个图像属性的组合来确定是否存在缺陷。
18.根据权利要求15所述的系统，其中确定是否存在所述缺陷包括：分别确定所述经获取两个或更多个图像的两个或更多个图像属性，及将多维阈值应用于所述两个或更多个图像属性的组合。
19.根据权利要求15所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于对应于所述额外位置的所述样品的设计的部分来确定用于确定是否存在所述缺陷的一或多个参数。
20.根据权利要求15所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于所述额外位置定位于其中的所述经获取两个或更多个图像的片段来确定用于确定是否存在所述缺陷的一或多个参数。
21.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于所述缺陷中的所述第一者的所述一或多个经确定特性来对所述缺陷中的所述第一者进行分级。
22.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于所述缺陷中的所述第一者的所述一或多个经确定特性来对所述缺陷中的所述第一者进行分类。
23.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于所述缺陷中的所述第一者的所述一或多个经确定特性来取样所述缺陷中的所述第一者。
24.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以组合所述缺陷中的所述第一者的所述一或多个特性与由所述检验系统针对所述样品产生的检验结果，由此产生经修改检验结果，且将所述经修改检验结果发送到经配置以对所述样品的所述物理版本执行处理的另一系统。
25.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品包括晶片。
26.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品包括光罩。
27.根据权利要求1所述的系统，其中扫描遍及所述样品的所述能量包括光，且其中从所述样品检测的所述能量包括光。
28.根据权利要求1所述的系统，其中扫描遍及所述样品的所述能量包括电子，其中从所述样品检测的所述能量包括电子。
29.一种非暂时性计算机可读媒体，其存储可在计算机系统上执行以执行用于确定于样品上检测到的缺陷的一或多个特性的计算机实施方法的程序指令，其中所述计算机实施方法包括：
存储由检验系统产生的样品的图像，其中所述检验系统经配置以用能量扫描遍及所述样品的物理版本同时检测来自所述样品的能量，由此产生所述样品的所述图像且基于所述图像检测所述样品上的缺陷，其中所述检验系统进一步经配置以用多种模式执行所述扫描及所述检测，且其中所述经存储图像包括由所述检验系统针对在其处检测到及未检测到所述缺陷的所述样品上的位置产生的所述图像；
识别用所述多种模式中的第一者检测到但用所述多种模式中的一或多种其它模式未检测到的所述缺陷中的第一者；
从所述经存储图像获取在对应于所述缺陷中的所述第一者的所述样品上的位置处用所述多种模式中的所述一或多种其它模式产生的所述图像中的一或多者；
确定所述经获取一或多个图像的一或多个特性；及
基于所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性来确定所述缺陷中的所述第一者的一或多个特性。
30.一种用于确定于样品上检测到的缺陷的一或多个特性的方法，其包括：
存储由检验系统产生的样品的图像，其中所述检验系统经配置以用能量扫描遍及所述样品的物理版本同时检测来自所述样品的能量，由此产生所述样品的所述图像且基于所述图像检测所述样品上的缺陷，其中所述检验系统进一步经配置以用多种模式执行所述扫描及所述检测，且其中所述经存储图像包括由所述检验系统针对在其处检测到及未检测到所述缺陷的所述样品上的位置产生的所述图像；
识别用所述多种模式中的第一者检测到但用所述多种模式中的一或多种其它模式未检测到的所述缺陷中的第一者；
从所述经存储图像获取在对应于所述缺陷中的所述第一者的所述样品上的位置处用所述多种模式中的所述一或多种其它模式产生的所述图像中的一或多者；
确定所述经获取一或多个图像的一或多个特性；及
基于所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性来确定所述缺陷中的所述第一者的一或多个特性，其中所述存储、所述识别、所述获取、所述确定所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性以及所述确定所述缺陷中的所述第一者的所述一或多个特性是由一或多个计算机子系统执行。
31.一种经配置以检测样品上的缺陷的系统，其包括：
存储媒体，其经配置以存储由检验系统产生的样品的图像，其中所述检验系统经配置以用能量扫描遍及所述样品的物理版本同时检测来自所述样品的能量，由此产生所述样品的所述图像，且其中所述检验系统进一步经配置以用多种模式执行所述扫描及所述检测；及
一或多个计算机子系统，其经配置以：
从所述存储媒体获取在所述样品上的位置处用所述多种模式中的两者或更多者产生的两个或更多个图像；及
基于所述经获取两个或更多个图像来确定所述位置处是否存在缺陷。
32.根据权利要求31所述的系统，其中确定是否存在所述缺陷包括：分别确定所述经获取两个或更多个图像的两个或更多个差异图像；分别确定所述两个或更多个差异图像的两个或更多个差异图像属性；及基于所述两个或更多个差异图像属性的组合来确定是否存在缺陷。
33.根据权利要求31所述的系统，其中确定是否存在所述缺陷包括：分别确定所述经获取两个或更多个图像的两个或更多个图像属性；及基于所述两个或更多个图像属性的组合来确定是否存在缺陷。
34.根据权利要求31所述的系统，其中确定是否存在所述缺陷包括：分别确定所述经获取两个或更多个图像的两个或更多个图像属性；及将多维阈值应用于所述两个或更多个图像属性的组合。
35.根据权利要求31所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于对应于额外位置的所述样品的设计的部分来确定用于确定是否存在所述缺陷的一或多个参数。
36.根据权利要求31所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于所述额外位置定位于其中的所述经获取两个或更多个图像的片段来确定用于确定是否存在所述缺陷的一或多个参数。
37.根据权利要求31所述的系统，其中所述样品上未由所述检验系统检测到缺陷。