1.一种用于准直照明的照明系统，其包括：
可配置区域光源，其布置于照明光束路径的照明光轴中，其中所述可配置区域光源经配置使得可设定不同光束直径；
成像光束路径的成像光轴；及
至少一个照明透镜，其定位于所述照明光束路径中以将准直光束引导到对象的表面上的视野上，其中所述照明光束路径的所述照明光轴的入射角的值等于所述成像光束路径的所述成像光轴的反射角的值。
2.根据权利要求1所述的照明系统，其中所述照明透镜是菲涅耳透镜。
3.根据权利要求1所述的照明系统，其中光束分离器于所述照明光束路径中定位于所述至少一个照明透镜之后，其中所述光束分离器沿所述照明光束路径的经重新定向的照明光轴将来自所述可配置区域光源的准直照明光引导到所述对象的所述表面上，且其中所述成像光束路径的所述成像光轴与所述照明光束路径的所述经重新定向的照明光轴同轴。
4.根据权利要求1所述的照明系统，其中所述可设定不同光束直径实现准直光束张角的变动。
5.根据权利要求1所述的照明系统，其中所述可配置区域光源是多个发光元件的二维布置。
6.根据权利要求5所述的照明系统，其中所述发光元件是发光二极管。
7.根据权利要求6所述的照明系统，其中所述多个发光元件的所述二维布置是矩阵布置。
8.根据权利要求1所述的照明系统，其中所述可配置区域光源包括：单一发光元件，其提供均匀区域照明；以及LCD屏幕，其定位在所述单一发光元件前面。
9.根据权利要求8所述的照明系统，其中所述LCD屏幕包括呈二维布置的多个个别像素，且所述个别像素可寻址以改变所述照明光的透射率值。
10.根据权利要求1所述的照明系统，其中控制及驱动装置指派给所述可配置区域光源，使得产生照明的多个同心几何形状以获得不同光束直径。
11.根据权利要求10所述的照明系统，其中所述同心几何形状是多个同心圆。
12.根据权利要求10所述的照明系统，其中所述同心几何形状是多个同心矩形。
13.根据权利要求10所述的照明系统，其中所述同心几何形状是多个同心六边形。
14.根据权利要求6所述的照明系统，其中所述多个发光元件的所述二维布置是由呈同心几何形状的所述发光元件的布置界定。
15.根据权利要求14所述的照明系统，其中控制及驱动装置指派给所述发光元件的所述同心几何形状布置，以驱动所述个别同心几何形状的所述发光元件，以获得不同光束直径。
16.根据权利要求15所述的照明系统，其中所述同心几何形状是多个同心圆。
17.根据权利要求15所述的照明系统，其中所述同心几何形状是多个同心矩形。
18.根据权利要求15所述的照明系统，其中所述同心几何形状是多个同心六边形。
19.一种检验工具，其包括：
相机，其布置于成像光束路径的照明光轴中；
成像透镜，其定位于所述成像光束路径中以将对象的表面的至少一部分成像到所述相机的图像平面中；
照明系统，其具有可配置区域光源，其中所述可配置区域光源布置于照明光束路径的照明光轴中，且所述可配置区域光源经配置使得可设定不同光束直径；及
至少一个照明透镜，其定位于所述照明光束路径中以将准直光束引导到所述对象的所述表面上的视野上，其中所述照明光束路径的所述照明光轴的入射角的值等于所述成像光束路径的成像光轴的反射角的值。
20.根据权利要求19所述的检验工具，其中光束分离器于所述照明光束路径中定位于所述至少一个照明透镜之后，其中所述光束分离器沿所述照明光束路径的经重新定向的光轴将来自所述可配置区域光源的准直照明光引导到所述对象的所述表面上，且其中所述成像光束路径的所述成像光轴与所述照明光束路径的所述经重新定向的光轴同轴。
21.根据权利要求20所述的检验工具，其中所述光束分离器安装于固持器中，且由样本载体固持的所述对象的所述表面面向所述固持器的第一侧面，且镜安装到所述固持器的第二侧面使得将来自所述可配置区域光源的光引导到所述光束分离器上。
22.根据权利要求20所述的检验工具，其中所述光束分离器安装于固持器中，且由样本载体固持的所述对象的所述表面面向所述固持器的第一侧面，且所述固持器的第二侧面承载所述区域光源使得来自所述可配置区域光源的光照射于所述光束分离器上。
23.根据权利要求19所述的检验工具，其中所述可设定不同光束直径实现准直光束张角的变动。
24.根据权利要求19所述的检验工具，其中多个发光元件以二维布置定位于载体上且由此界定所述可配置区域光源，其中所述多个发光元件指派给控制及驱动装置，使得所述发光元件可个别地寻址且通过所述可配置区域光源可实现任何图案，且根据所述图案产生的所述光束具有光束张角。
25.根据权利要求25所述的检验工具，其中所述多个发光元件的所述二维布置是矩阵布置。
26.根据权利要求19所述的检验工具，其中所述可配置区域光源包括：单一发光元件，其提供均匀区域发光；及LCD屏幕，其定位在所述单一发光元件前面。
27.根据权利要求26所述的检验工具，其中所述LCD屏幕包括呈二维布置的多个个别像素，且所述个别像素可由控制及驱动装置寻址以改变所述个别像素的透射率值。
28.根据权利要求19所述的检验工具，其中控制及驱动装置指派给所述可配置区域光源，使得产生照明的多个同心几何形状以获得不同光束直径。
29.根据权利要求19所述的检验工具，其中至少一次折叠所述成像光束路径以将来自所述对象的所述表面上的所述视野的光引导到所述相机的所述图像平面上。
30.根据权利要求19所述的检验工具，其中至少一次折叠所述照明光束路径以将来自所述可配置区域光源的光引导到所述对象的所述表面上。
31.一种用于检验对象的方法，其包括：
a.经由照明透镜沿照明光束路径将来自可配置区域光源的界定光束张角的照明光引导到对象的表面上；
b.沿成像光束路径引导来自所述对象的所述表面的反射光；
c.用成像透镜将来自所述对象的所述表面的所述反射光成像到相机的图像平面上；
d.改变所述照明光的直径且由此改变所述光束的所述张角；及
e.重复所述步骤a到步骤d以分别用不同光束张角及准直角度实时产生所述对象的所述表面上的视野的图像。
32.根据权利要求31所述的方法，其中通过不同光直径或形状设定所述光束的所述不同张角，所述不同光直径或形状是通过控制且驱动所述可配置区域光源使得实现经界定光直径或形状而产生。
33.根据权利要求31所述的方法，其中所述可配置区域光源是所述多个发光元件的矩阵布置。
34.根据权利要求31所述的方法，其中所述可配置区域光源包括：单一发光元件，其提供均匀区域发光；及LCD屏幕，其定位在所述单一发光元件前面。
35.根据权利要求31所述的方法，其中控制及驱动装置指派给所述可配置区域光源，使得产生多个同心且可寻址几何形状以获得不同光束直径。
36.根据权利要求33所述的方法，其中所述多个发光元件布置成同心几何形状，且所述控制及驱动装置寻址所述几何形状以获得不同光束直径。
37.一种用于准直照明的照明系统，其包括：
可配置区域光源，其布置于照明光束路径的照明光轴中，其中所述可配置区域光源经配置使得可设定不同光束直径；
光束分离器，其于所述照明光束路径中定位于至少一个照明透镜之后，其中所述光束分离器沿所述照明光束路径的经重新定向的照明光轴将来自所述可配置区域光源的准直照明光引导到对象的表面上，且成像光束路径的成像光轴与所述照明光束路径的所述经重新定向的光轴同轴，及
至少一个照明透镜，其定位于所述照明光束路径中以将准直光束引导到所述对象的所述表面上的视野上，其中所述照明光束路径的所述光轴的入射角的值等于所述成像光束路径的所述光轴的反射角的值。
38.根据权利要求37所述的照明系统，其中控制及驱动装置指派给所述可配置区域光源，使得通过所述可配置区域光源产生多个同心几何形状，以获得不同光束直径。