技术特征：
技术总结
一种电子显微镜，包含：带电粒子束产生器、检测器、薄膜以及承载单元。带电粒子束产生器是用以产生第一带电粒子束以轰击待测物。检测器是用以检测来自待测物的第二带电粒子以形成影像。薄膜是设置于带电粒子束产生器的下游侧，且具有第一表面以及第二表面，其中带电粒子束产生器及薄膜的第一表面之间为真空环境。承载单元是设置于薄膜的第二表面侧，且具有承载表面以及背面，其中待测物设置于承载单元的承载表面，使待测物的待测表面与薄膜的距离小于预定间距，且待测表面与薄膜之间具有液体空间，以充填液体。
技术研发人员：陈福荣;黄祖纬;刘铈谊;陈宜君;陈志玮;曾英硕;黄钰珊;林信余;方建闵;徐金良;杨丽巧
受保护的技术使用者：台湾电镜仪器股份有限公司
技术研发日：2016.06.03
技术公布日：2017.09.22