一种基于飞秒激光直写的光纤法布里‑珀罗传感器的快速制备方法与流程

文档序号:11944587阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法,其特征在于,其步骤为:在具有光滑端面的光纤末端,利用飞秒激光沿垂直光纤轴线的方向快速扫描,加工出深度到达光纤纤芯位置的狭槽,由狭槽端面和光纤末端的光滑端面构成法布里-珀罗传感器结构;其中快速扫描是指对于1kHz的飞秒激光脉冲,其扫描速度在50μm/s以上。

2.根据权利要求1所述的基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法,其特征在于,其具体步骤为:

1)利用切割刀在光纤末端垂直于光纤轴切割出光滑端面;

2)将光纤末端固定,在空气氛围中利用飞秒激光沿垂直于光纤轴的方向横向快速扫描,切割出狭槽,狭槽的深度到达光纤纤芯位置;其中快速扫描是指对于1kHz的飞秒激光脉冲,其扫描速度在50μm/s以上;

3)将扫描后的光纤清洗干净,由狭槽端面和光纤末端的光滑端面构成法布里-珀罗传感器结构。

3.根据权利要求1或2所述的基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法,其特征在于:所述的狭槽的长度为光纤纤芯直径的2~9倍,狭槽在纤芯处的宽度小于5μm。

4.根据权利要求1或2所述的基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法,其特征在于:所述的飞秒激光的扫描次数为单次或者两次。

5.根据权利要求2所述的基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法,其特征在于:所述步骤3)中依次用酒精、丙酮、去离子水清洗光纤。

6.根据权利要求2所述的基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法,其特征在于:所述步骤3)中在清洗完光纤后,在光纤末端的光滑端面上镀一层高反射膜提高反射率。

7.根据权利要求6所述的基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法,其特征在于:所述的高反射膜包括铝膜和银膜,采用蒸镀或者溅射方法进行镀膜。

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