悬臂式高频探针卡的制作方法

文档序号:12591823阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种悬臂式高频探针卡,其特征在于,用以设置于一待测电子对象上方,且包含有:

一载板;

一针座,设于该载板上,且以绝缘材料制成;

二探针,以导电材料制成;各该探针具有相连接的一悬臂段与一针尖段,该悬臂段与该针座连接,而该针尖段则用以点触该待测电子对象的待测部位;以及

一电容性元件,具有两端分别电性连接该二探针,该电容性元件位于该针座外部且邻近该针座;

借此,当该待测电子对象产生高频的检测信号而传导至其中一该探针时,高频的检测信号经过该电容性元件而传导至另一该探针,进而回流至该待测电子对象。

2.根据权利要求1所述悬臂式高频探针卡,其特征在于,还包含有二电感性元件,该二电感性元件位于该针座外部且邻近该电容性元件,且该些电感性元件一端分别电性连接该些探针的悬臂段,而另一端则电性连接至一检测机;当该检测机产生低频或直流的检测信号时,通过其中一该电感性元件而传导至其中一该探针,而输出至该待测电子对象,而后,由另一该探针接收并传导至另外一该电感性元件,进而回流至该检测机。

3.根据权利要求1所述悬臂式高频探针卡,其中该针座具有相背对的一第一面与一第二面,以及一第三面位于该第一面与该第二面之间且朝向该待测电子对象;该第一面朝向该针尖段,该电容性元件设置于该第一面、该第二面或该第三面上。

4.根据权利要求3所述悬臂式高频探针卡,其特征在于,包含有一印刷电路板,结合于该针座的该第一面、该第二面或该第三面,该电容性元件通过该印刷电路板设置于该针座。

5.根据权利要求3所述悬臂式高频探针卡,其特征在于,包含有二电感性元件,设置于该第一面、第二面或该第三面上;该二电感性元件一端分别电性连接该些探针的悬臂段,而另一端则电性连接至一检测机;当该检测机产生低频或直流的检测信号时,通过其中一该电感性元件而传导至其中一该探针,而输出至该待测电子对象,而后,由另一该探针接收并传导至另外一该电感性元件,进而回流至该检测机。

6.根据权利要求5所述悬臂式高频探针卡,其特征在于,包含有一印刷电路板,结合于该针座的该第一面、该第二面或该第三面,该电容该些电感性元件通过该印刷电路板设置于该针座。

7.根据权利要求1所述的悬臂式高频探针卡,其特征在于,还包含有一电传输件,该电传输件具有多个信号传输线路电性连接各该探针,该电容性元件设置于该电传输件上,且该电容性元件两端分别通过该些信号传输线路电性连接该二探针。

8.根据权利要求7所述的悬臂式高频探针卡,其中,该电传输件为软性电路板(Flexible Printed Circuit board,FPC),且该软性电路板上布设有该些信号传输线路。

9.根据权利要求7所述悬臂式高频探针卡,其特征在于,还包含有二电感性元件,该二电感性元件设置于该电传输件上;各该电感性元件具有两端,各该电感性元件的其中一端通过一部分的信号传输线路电性连接一该探针;该二电感性元件的另一端则电性连接至一检测机;借此,当该检测机产生低频或直流的检测信号时,通过其中一该电感性元件而传导至其中一该探针,而输出至该待测电子对象,而后,由另一该探针接收并传导至另外一该电感性元件,进而回流至该检测机。

10.根据权利要求9所述悬臂式高频探针卡,其中该电传输件为软性电路板(Flexible Printed Circuit board,FPC),且该软性电路板上布设有该些信号传输线路。

11.根据权利要求1所述的悬臂式高频探针卡,其中各该探针的悬臂段包括一第一段与一第二段,该第一段与该针尖段相连,该电容性元件的两端分别设置于该二探针的第二段且分别电性连接该二探针。

12.根据权利要求11所述的悬臂式高频探针卡,其特征在于,还包含有二电感性元件,该些电感性元件一端分别设置于该些探针的第二段且电性连接该些探针,而另一端则电性连接至一检测机;当该检测机产生低频或直流的检测信号时,通过其中一该电感性元件而传导至其中一该探针,而输出至该待测电子对象,而后,由另一该探针接收并传导至另外一该电感性元件,进而回流至该检测机。

13.一种悬臂式高频探针卡,其特征在于,用以设置于一待测电子对象上方,且包含有:

一载板;

一针座,设于该载板上,且以绝缘材料制成;

二探针,以导电材料制成;各该探针具有相连接的一悬臂段与一针尖段,该悬臂段与该针座连接,而该针尖段则用以点触该待测电子对象的待测部位;

一电路板,设置有二第一导线,该二第一导线彼此靠近但不接触,该二第一导线分别电性连接该二探针;

借此,当该待测电子对象产生高频的检测信号而传导至其中一该探针时,高频的检测信号通过该二导线而传导至另一该探针,进而回流至该待测电子对象。

14.根据权利要求13所述悬臂式高频探针卡,其中该电路板上设置有二第二导线,各该第二导线具有两端及位于该两端之间的一蜿蜒的线段;该二第二导线的一端分别电性连接该二第一导线,该二第二导线的另一端则电性连接至一检测机;借此,当该检测机产生低频或直流的检测信号时,通过其中一该第二导线传导至其中一该探针,而输出至该待测电子对象,而后,由另一该探针接收并传导至另一该第二导线,进而回流至该检测机。

15.根据权利要求14所述悬臂式高频探针卡,其中各该第二导线的该线段以蛇形线的方式布设于该电路板。

16.根据权利要求14所述悬臂式高频探针卡,其中该电路板结合于该针座上。

17.根据权利要求13所述悬臂式高频探针卡,其特征在于,还包含有二电感性元件,该二电感性元件设置于该电路板上;各该电感性元件具有两端,各该电感性元件的其中一端电性连接各该第一导线;该二电感性元件的另一端则电性连接至一检测机;借此,当该检测机产生低频或直流的检测信号时,通过其中一该电感性元件而传导至其中一该探针,而输出至该待测电子对象,而后,由另一该探针接收并传导至另一该电感性元件,进而回流至该检测机。

18.根据权利要求17所述悬臂式高频探针卡,其中该电路板结合于该针座上,且该电感性元件位于该针座外部。

19.根据权利要求13所述悬臂式高频探针卡,其中该电路板结合于该针座上。

20.根据权利要求19所述悬臂式高频探针卡,其中该针座具有相背对的一第一面与一第二面,以及一第三面位于该第一面与该第二面之间且朝向该待测电子对象;该第一面朝向该针尖段;该电路板结合于该针座的该第一面、该第二面或该第三面。

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