气体流量控制的制作方法

技术总结
本发明涉及一种用于将气体提供到分析设备中的进气系统，所述系统包括：布置在进气管线上的至少第一和第二流量限制件；连接到所述进气管线的气体流量控制管线；在所述气体控制管线上的气体流量控制器；以及用于控制所述进气管线和所述气体控制管线中的气体流量的阀门。还提供一种控制至分析设备中的气体流量的方法。

技术研发人员：H-J·施卢特
受保护的技术使用者：塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
文档号码：201610545338
技术研发日：2016.07.12
技术公布日：2017.01.25