轮廓检测测头、检测仪及检测方法与流程

文档序号:13758417阅读:来源:国知局
轮廓检测测头、检测仪及检测方法与流程

技术特征:

1.一种轮廓检测测头,其特征在于,包括:

连接杆(1),其顶端用于固定至检测仪机体上;

探头位(2),其顶部设置在所述连接杆(1)的底端,其底部用于提供探头安装位;

第一探头(3),设置在所述探头位(2)底部的第一探头安装位,用于以第一模式进行轮廓检测;

第二探头(4),设置在所述探头位(2)底部的第二探头安装位,用于以第二模式进行轮廓检测。

2.如权利要求1所述的轮廓检测测头,其特征在于,所述第一探头(3)为激光式测头,所述第二探头(4)位接触式测头。

3.如权利要求2所述的轮廓检测测头,其特征在于,在轮廓检测时,所述第一探头(3)的检测轨迹位于所述第二探头(4)的检测轨迹前方。

4.如权利要求1-3任意一项所述的轮廓检测测头,其特征在于,还包括:

旋转台(5),设置在所述连接杆(1)的顶端,用于可拆卸将所述连接杆(1)固定至检测仪机体上。

5.如权利要求4所述的轮廓检测测头,其特征在于,所述旋转台(5)还用于驱动所述连接杆(1)运动。

6.一种轮廓检测仪,其特征在于,包括:

如权利要求1-5任意一项所述的轮廓检测测头(10);

立柱(20),用于置放所述轮廓检测测头(10),还用于驱动所述轮廓检测测头(10)延Z轴方向移动;

平面轨道(30),用于向所述立柱(20)提供X轴和/或Y轴平动的轨道;

检测位,设置在所述平面轨道(30)下方,用于向待测轮廓提供放置位。

7.如权利要求6所述的轮廓检测仪,其特征在于,所述轮廓检测仪位三坐标测量机。

8.一种轮廓检测方法,其特征在于,包括:

第一探头自预设探测路径的起始点依次探测待测轮廓得到待测轮廓的初测曲线;

第二探头根据从所述初测曲线提取出的曲率信息调整测量频率以完成沿所述预设探测路径的第二探头的探测。

9.如权利要求8所述的轮廓检测方法,其特征在于,还包括:

在所述第一探头探测至所述预设探测路径的终止点后,旋转台驱动探头位移动至下一预设探测路径,并驱动所述探头位调整姿态,以使在进行下一预设探测路径探测时,所述第一探头位于所述第二探头的前方。

10.如权利要求8或9所述的轮廓检测方法,其特征在于,所述第二探头的测量频率与所述提取出的曲率信息的弯曲度成正比。

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