热释电探测器的制作方法

文档序号:11985892阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种热释电探测器,其特征在于:包括底座、敏感单元、固定于底座和敏感单元之间的多个支撑件,所述支撑件包括支撑台和支撑柱,所述支撑柱与所述敏感单元相接处,多个支撑柱与敏感单元之间的接触面积不同一。

2.根据权利要求1所述的热释电探测器,其特征在于:所述多个支撑柱中的任意一个与所述敏感单元的接触面积小于0.04mm2

3.根据权利要求2所述的热释电探测器,其特征在于:所述支撑柱与敏感单元之间靠近底座中心位置的接触面积大于远离底座中心位置的接触面积。

4.根据权利要求1所述的热释电探测器,其特征在于:所述支撑台为圆台状结构。

5.根据权利要求1所述的热释电探测器,其特征在于:所述支撑柱为圆柱形结构。

6.根据权利要求1所述的热释电探测器,其特征在于:所述支撑台或支撑柱为一体结构或分体结构。

7.根据权利要求1所述的热释电探测器,其特征在于:所述支撑柱与敏感单元之间设置有粘结剂。

8.根据权利要求7所述的热释电探测器,其特征在于:靠近底座中心位置的支撑柱上设置有导电粘结剂,远离底座中心位置的支撑柱上设置有非导电粘合剂。

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