本实用新型涉及精密分析测试领域，具体涉及一种超纯水pH离线测试装置。
背景技术：
随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛，半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高，超纯水pH作为水质重要指标一直备受重视。
超纯水被称为世界上最强力的溶剂，溶解杂质的能力非常强，因此它绝对的纯度是不可能保持的，最微小的污染也会改变它的pH值。因超纯水性质的特殊性，目前大部分超纯水pH测试设备均为在线测试，其一旦脱离密封环境进行离线测试，容易受温度和空气中CO2的影响，导致pH测试结果与真实值相比有较大偏差。因此，现在亟需一种能准确进行超纯水离线pH测试的装置。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种超纯水pH离线测试装置，该系统可以很好地解决现有设备无法完成pH离线测试的问题。
为达到上述要求，本实用新型采取的技术方案是：提供一种超纯水pH离线测试装置，包括测试组件、恒温组件及空气隔绝组件；测试组件包括用于盛放待测样品的样品容器和用于测试待测样品pH值的pH电极；恒温组件包括保温溶液、用于盛放保温溶液的恒温容器及用于保持保温溶液恒温的恒温发生器，样品容器置于保温溶液中；空气隔绝组件包括设有排气口的上盖和用于产生难溶于超纯水的气体的气体发生器，上盖设置于样品容器开口处，pH电极穿过上盖插入样品容器中，气体发生器的出气口与样品容器连通。
该超纯水pH离线测试装置具有的优点如下：通过设置恒温组件，可以减少因温度补偿导致的偏差，通过设置空气隔绝组件，可以减少测试过程中CO2不断混入导致的读数不稳定、测试终点无法准确判断等情况的发生，有效提高了超纯水pH测试的准确度，适用于超纯水pH的离线测试。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1为本申请的结构示意图。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图及具体实施例，对本申请作进一步地详细说明。
在以下描述中，对“一个实施例”、“实施例”、“一个示例”、“示例”等等的引用表明如此描述的实施例或示例可以包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度，但并非每个实施例或示例都必然包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度。另外，重复使用短语“根据本申请的一个实施例”虽然有可能是指代相同实施例，但并非必然指代相同的实施例。
为简单起见，以下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。
根据本申请的一个实施例，提供一种超纯水pH离线测试装置，如图1所示，包括测试组件、恒温组件及空气隔绝组件。
测试组件包括用于盛放待测样品的样品容器21和用于测试待测样品pH值的pH电极22。
恒温组件包括保温溶液、用于盛放保温溶液的恒温容器31及用于保持保温溶液恒温的恒温发生器，样品容器21置于保温溶液中。其中，恒温发生器包括温度感应器、升温装置、降温装置及控制升温装置和降温装置工作的控制器，所述控制器分别与温度感应器、升温装置及降温装置电连接，所述温度感应器设置于保温溶液中；温度感应器可以实时检测保温溶液的温度并反馈给控制器，控制器根据反馈的温度自动控制升温装置和降温装置的启动和停止，使保温溶液的温度始终保持在设定值。国家标准《DB/T6920-86水质pH值的测定玻璃电极法》规定pH值标准是指在25℃时的测量值，因此，本实施例中设定值为25℃。
空气隔绝组件包括设有排气口13的上盖11和用于产生难溶于超纯水的气体的气体发生器12；其中，上盖11设置于样品容器21开口处，并与样品容器21开口边缘形成密封连接，pH电极22可以通过排气口13插入样品容器21中；气体发生器12的出气口可以通过管路与上盖11连接，也可以直接将气体发生器12安装在上盖11上，两种方式都能达到气体发生器12与样品容器21连通的目的；气体发生器12产生的气体为氮气、氦气、氖气、氩气等难溶于超纯水的气体。本实施例中采用氮气发生器，可以产生纯度为99.999％以上的氮气，氮气填充在样品容器21中待测样品液面上方，氮气发生器设置压力15psi，保证测试体系内为正压即可；排气口13可以设置于气体发生器12与上盖11连接处的对侧，这样在通入氮气时可以从对侧的排气口13排出空气，保证残留的空气快速地、完全地从排气口13排出。
进一步，本实用新型还包括设有循环泵的恒温槽32，该循环泵与控制器电连接。升温装置和降温装置可以直接设置于恒温容器31中，也可以设置于恒温槽32中。当设置在恒温槽32中时，恒温容器31的出液口通过出液管33与恒温槽32的入口连通，所述恒温容器31的入液口通过入液管34与恒温槽32的出口连通，循环泵可以带动保温溶液在恒温槽32和恒温容器31中进行循环，直至恒温槽32中保温溶液的温度稳定至25±0.1℃。
升温装置为红外加热装置或电加热装置，但不仅限于此两种方式。
降温装置为吸收式制冷装置、热电制冷装置、激光制冷装置、磁制冷装置或蒸气压缩式制冷装置，但不仅限于这些方式。
保温溶液为油或水，但不仅限于此两种溶液，只要为性质稳定安全的溶液即可。
以上所述实施例仅表示本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能理解为对本实用新型范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型保护范围。因此本实用新型的保护范围应该以所述权利要求为准。