技术总结
一种平场全息凹面光栅的角度微调装置，它由一个光栅底座、一个光栅底座托盘、一个装置底座、一个连接键、一个蜗杆、一个齿轮和三个固定螺栓组成；其特征在于所述的齿轮中心位置是凸起的传动轴；连接键镶嵌于齿轮传动轴的键槽中；齿轮传动轴穿过光栅底座托盘中间孔洞与光栅底座相连;蜗杆与齿轮相连放置在装置底座上；光栅底座托盘与装置底座相连后用固定螺栓固定。
技术研发人员：刘旭亮
受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
文档号码：201621363171
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.06.09