本发明涉及检查装置。
背景技术：
在专利文献1中公开了一种在铅垂方向上支承光掩模并对形成于光掩模的图案进行检查的图案检查装置。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010-181296号公报
技术实现要素：
发明要解决的课题
在专利文献1所记载的发明中，由于在铅垂方向上支承光掩模，因此与在水平方向上支承光掩模的装置相比，装置的重心位置会变高。其结果是，存在装置不稳定这一问题。
另外，在专利文献1所记载的发明中，由于工作台直接载置在设置面(例如地面)上，因此，存在当装置驱动时产生振动而无法抑制该振动这一问题。需要说明的是，为了抑制装置的振动，有时在工作台的下方设置除振台，但在该情况下，装置的重心位置变得更高。
本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于，在铅垂方向上支承光掩模的检查装置中，提供一种在平台的下方设置除振台的同时也能够降低装置的重心位置的检查装置。
解决方案
为了解决上述课题，本发明的检查装置例如是对在大致铅垂方向上被支承的作为被检查对象的掩模进行检查的掩模检查装置，其特征在于，所述检查装置具备：平台，其具有下表面以及与所述下表面平行的上表面，且形成为所述下表面与所述上表面的距离比所述上表面的短边短；柱，其以从所述上表面向上方突出的方式设置于所述平台；摄像部，其设置于所述柱；以及除振台，其载置在设置面上，在所述下表面的四个角分别形成有大致立方体形状的凹部，所述除振台的高度高于所述凹部的深度，所述凹部的底面分别由所述除振台支承。
根据本发明的检查装置，通过在平台的下表面的四个角分别形成大致立方体形状的凹部，且利用载置在设置面上的除振台对凹部的底面进行支承，从而将平台载置在设置面上。由此，在铅垂方向上支承光掩模的检查装置中，在平台的下方设置除振台的同时，也能够降低装置的重心位置。
在此也可以为，所述检查装置具备在铅垂方向上对所述掩模进行支承的掩模支承部，在所述上表面的在俯视下不与所述凹部重叠的位置处，形成有沿着所述平台的长度方向的槽，所述掩模支承部在所述槽的内部移动。由此，在确保平台的强度的同时，能够降低重心位置。
在此也可以为，所述凹部的深度形成为所述下表面与所述上表面的距离的0.3～0.5倍。由此，能够确保平台的强度。
在此也可以为，所述摄像部设置为能够沿着所述柱进行移动，
所述槽以如下深度形成：当所述摄像部与所述平台抵接时，形成于所述掩模支承部的开口部的下端面的高度与所述摄像部的光轴的高度大致一致这样的深度。由此，能够使重心位置最低。
在此也可以为，所述凹部具有在所述下表面的所述四个角设置的四个第一凹部、以及分别沿着所述下表面的长边设置的两个第二凹部，所述第二凹部中的一个凹部形成于在俯视下一部分与所述柱的一部分重叠的位置。由此，能够在更靠近重心的位置设置第二凹部，其结果是，能够利用较少的第二凹部来实现形变更少的石制平台的支承。
在此也可以为，所述掩模支承部具有在所述槽的内部移动的引导构件，所述引导构件具有：朝向所述槽的底面排出空气的底面气垫；朝向所述槽的侧面排出空气的侧面气垫；以及设置所述底面气垫及所述侧面气垫的引导构件主体。由此，在引导构件与槽(侧面及底面)之间形成空气层。因此，能够容易地使引导构件移动。
在此也可以为，所述侧面气垫具有：第一侧面气垫，其固定于所述引导构件主体的第一侧面；以及第二侧面气垫，其设置于在与所述第一侧面相反侧的第二侧面形成的孔，且设置为能够相对于所述引导构件主体进行移动，在所述引导构件主体形成有向形成于所述第一侧面气垫的贯通孔、形成于所述第二侧面气垫的贯通孔、以及所述孔与所述第二侧面气垫之间的空间供给空气的流路，所述第二侧面气垫借助向所述孔与所述第二侧面气垫之间的空间供给的空气而相对于所述引导构件主体进行移动。由此，能够对槽的第一侧面与第一侧面气垫的前端面的间隔以及槽的第二侧面与第二侧面气垫的前端面的间隔自动地进行调整。
在此也可以为，所述掩模支承部具有：保持所述掩模的框架；以及设置于所述框架的下侧且对所述框架的高度进行调整的调整机构，在所述引导构件主体设置有沿上下方向贯通的销，该销的上端面为大致半球面，所述销的下端设置于所述底面气垫，上端与所述调整机构的底面抵接。由此，能够利用刚性高的槽来支承较重的掩模支承部，并且使气垫避开不良的偏载荷。
发明效果
根据本发明，在铅垂方向上支承光掩模的检查装置中，在平台的下方设置除振台的同时也能够降低装置的重心位置。
附图说明
图1是示出第一实施方式的检查装置1的概要的主视图。
图2是示出检查装置1的概要的俯视图。
图3是示出检查装置1的概要的立体图。
图4是用于说明引导构件33的概要图，是将检查装置1局部放大后的俯视图。
图5是用于说明引导构件33的概要图，是图4的a-a剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式详细进行说明。
<第一实施方式>
图1是示出第一实施方式的检查装置1的概要的主视图。图2是示出检查装置1的概要的俯视图。图3是示出检查装置1的概要的立体图。在本说明书中，将图1中与纸面垂直的方向定义为x方向，将纸面上下方向定义为y方向(铅垂方向)，将与x方向及y方向正交的方向定义为z方向。需要说明的是，在图2、图3中，省略一部分结构的图示。
检查装置1例如是在大致铅垂方向支承作为被检查对象的光掩模m，并使相机等沿铅垂方向移动而对形成于光掩模m的图案等进行检查的检查装置。
在本实施方式中作为被检查对象的光掩模m是例如用于制造液晶显示装置的显示装置用的基板的曝光用掩模。光掩模m通过在一个边例如超过1m的大型的大致矩形形状的基板上形成一个或多个图形设备用转印图案而成。
检查装置1主要具有平台10、摄像部20、掩模支承部30以及除振台50(包括除振台51、52。参照图3)。
平台10构成为工作台，被支承于在设置面f上的多处位置(六处位置)设置的除振台51、52之上。
平台10是宽度w为1200mm左右、厚度t为400mm左右的大致长方体形状(厚板状)的石制构件。换言之，平台10具有下表面10a以及与下表面10a平行的上表面10e，下表面10a与上表面10e的距离比上表面10e的短边短。
在平台10的下表面10a形成有大致立方体形状的凹部10b、10c。凹部10b在下表面10a的四个角分别各形成有一处。凹部10c沿着下表面10a的长边分别各形成有一处，合计形成有两处。这样，合计形成有六处凹部10b、10c。通过在凹部10b的基础上设置凹部10c，能够减少石制平台10的形变。
两个凹部10c中的形成在+z侧的凹部10c形成于在俯视(从上方(+y方向)观察时)下与柱21(之后详述)的一部分重叠的位置。由此，在更靠近重心的位置设置凹部10c，能够进一步减少石制平台10的形变。另外，两个凹部10c形成于在俯视(参照图2)下夹着检查装置1的重心位置g而成为点对称的位置。凹部10c的横向尺寸(x方向的尺寸)大于凹部10b的横向横尺寸，以进行除振台52的维护等。
需要说明的是，凹部10c并非是必须的，但为了设置尽可能多的除振台50，期望至少形成两个凹部10c。通过如本实施方式那样将凹部10c沿着下表面10a的长边分别各形成一处，能够利用较少的凹部10c来实现形变更少的石制平台10的支承。另外，凹部10c不局限于图示的位置，例如也可以使两个凹部10c的x方向的位置不同。但是，若考虑除振台50的控制等，则期望使两个凹部10c的x方向的位置相同。
在凹部10b的内部设置有载置在设置面f上的除振台51(参照图3)。在凹部10c的内部设置有载置在设置面f上的除振台52(参照图3)。凹部10b、10c的底面为由除振台51、52支承的支承面10d。
如图1所示，除振台51、52的高度高于凹部10b、10c的深度d1。因此，通过除振台51、52对支承面10d进行支承，将平台10经由除振台51、52载置在设置面f上。检查装置1的稳定性以该支承面10d的位置为基准。
这样，通过在较厚的平台10形成凹部10b、10c、且在凹部10b、10c的内部设置除振台51、52，从而以支承面10d为基准时的检查装置1的重心位置g变低。通过增加平台10的厚度t或增加凹部10b、10c的深度，能够降低重心位置g。
但是，为了确保平台10的强度，凹部10b、10c的深度d1设为平台10的厚度t的0.3～0.5倍。
另外，凹部10b、10c的深度d1、即支承面10d的高度被设定为，从支承面10d仰视检查装置1整体的重心位置g的角度θ(参照图1)为60度以下。
但是，从支承面10d仰视重心位置g的角度期望较小。在本实施方式中，以从支承面10d仰视重心位置g的角度θ为大致45度左右的方式形成凹部10b、10c。
另外，在本实施方式中，从检查装置1的稳定性及输送时、设置时的便利性出发，凹部10b、10c以下表面10a的高度h1为100mm左右的方式形成。
在平台10的上表面10e形成有槽10f。槽10f沿着平台10的长度方向(x方向)形成于在俯视(参照图2)下不与凹部10b、10c重叠的位置。这样，通过将槽10f的水平方向的位置与凹部10b、10c的水平方向的位置错开，能够增加平台10的槽10f下方的部分的厚度，从而提高平台10的强度。
槽10f的深度d2远小于平台10的厚度t。在本实施方式中，槽10f的深度d2为60mm左右，槽10f下方的部分的厚度为大致340mm左右。因此，即便形成了槽10f，也能够使平台10的刚性成为足够高的状态。
槽10f将掩模支承部30支承为沿x方向移动自如。通过将槽10f设为使掩模支承部30移动时的引导件，能够降低摄像部20、掩模支承部30的高度，由此能够降低重心位置g。
槽10f的深度d2设定为，相机22a(之后详述)同上表面10e抵接时的相机22的光轴ax与支承于掩模支承部30(之后详述)的光掩模m的下端一致。该状态为重心位置g最低的状态。在本实施方式中，槽10f的深度d2为60mm左右，此时的光掩模m的下端的高度(迹线)h2为680mm左右。
摄像部20主要具有：从平台10向上方突出设置的柱21；设置于柱21的相机22；以及在检查位置处对掩模支承部30进行支承的支承部23(参照图1)。
柱21以从上表面10e向上方(+y方向)突出的方式安装于上表面10e。柱21由陶瓷等形成。为了降低重心位置g，优选柱21为中空。
相机22例如是ccd相机或特殊的ccd相机即tdi相机，具有两个相机22a、22b。两个相机22a、22b沿着y方向邻接设置。在相机22与柱21之间设置有包含气垫(未图示)的移动部(未图示)。相机22以其光轴ax与z轴平行的方式设置于移动部(未图示)。
通过移动部沿上下方向(y方向)移动，从而相机22沿上下方向(y方向)移动。移动部使两个相机22a、22b在相机22a抵接于平台10的上表面10e的初始位置与相机22b位于柱21的上端附近的上端位置(参照图1双点划线)之间沿着柱21移动。通过采用能够使相机22a与上表面10e抵接的结构，从而能够降低重心位置g。
另外，摄像部20具有未图示的透射照明光源和反射照明光源。透射照明光源设置在光掩模m的背面侧(-z侧)，照射所谓的g线(例如波长为435.84[nm]的光)。反射照明光源设置在光掩模m的表面侧(+z侧)，照射所谓的e线(例如波长为546.07[nm]的光)。相机22同时接收从透射照明光源照射的g线和从反射照明光源照射的e线，并进行图像化。
接着，对相机22的结构进行说明。相机22a、22b分别具有：将g线及e线转换成平行光的物镜；将通过了物镜的g线与e线分离的光学构件(例如兼具偏振分束器与分色滤光片的功能的构件)；使由光学构件分离出的g线及e线分别成像的两组成像透镜；以及对由两组成像透镜成像后的g线及e线分别进行图像化的摄像元件。这样，相机22a、22b能够对透射光与反射光同时进行图像化。需要说明的是，相机22a、22b能够使用已知的技术，故省略详细的说明。
但是，由于存在相机22a、22b的一方发生故障等的情况，因此，期望相机22具有在y方向上邻接设置的两个相机22a、22b。
支承部23对掩模支承部30进行支承，以避免在掩模支承部30移动到检查位置时掩模支承部30在水平方向上倾斜。需要说明的是，支承部23能够使用已知的技术，故省略详细的说明。
掩模支承部30对光掩模m进行支承。掩模支承部30具有框架31、调整机构32以及引导构件33。
框架31以包围支承为铅垂状态的光掩模m的外周的方式形成为框状。框架31以光掩模m的表面(形成有图案的面)与xy平面平行的方式对光掩模m进行支承。
在框架31的下方设置有调整机构32。调整机构32对光掩模m的下边的高度方向(y方向)的位置进行变更。调整机构32为已知结构，故省略详细的说明。
引导构件33是在槽10f的内部移动的构件。如图3所示，引导构件33主要具有引导构件主体331、侧面气垫332、333、下面气垫334以及销335。
引导构件主体331是在上方设置有框架31及调整机构32的棒状的构件。在引导构件主体331设置有侧面气垫332、333及销335。另外，在引导构件主体331经由销335而设置有底面气垫334。
图4是用于说明引导构件33的概要图，是将检查装置1局部放大后的俯视图。在图4中，以粗虚线箭头示出空气的流动。
侧面气垫332、333是大致圆筒形状的构件(参照图3)。侧面气垫332设置在引导构件主体331的侧面331a，侧面气垫333设置在与侧面331a相反侧的侧面331b。侧面气垫332的前端面332a与槽10f的侧面10g对置，侧面气垫333的前端面333a与槽10f的侧面10h对置。
前端面332a所对置的侧面10g为基准面，以较高的精度(例如，面精度为2μm左右，不为基准面的侧面10h的面精度为51μm左右)形成。因此，通过使前端面332a夹着较薄的空气层与侧面10g对置，从而决定引导构件主体331的z方向的位置及相对于xz平面的角度。
侧面气垫332具有大致圆筒形状的结合部332b和大致圆筒形状的气垫部332c。结合部332b的直径小于气垫部332c的直径。结合部332b设置在形成于引导构件主体331的孔331c的内部。在结合部332b的外周面与孔331c的内周面之间设置有弹性构件(例如o型圈)341。另外，由于结合部332b的直径小于气垫部332c的直径，因此，确保了结合部332b的前端面与孔331c的底面抵接的状态。由此，侧面气垫332相对于引导构件主体331的角度被维持为固定的状态。
侧面气垫333具有大致圆圆筒形状的滑动部333b和大致圆圆筒形状的气垫部333c。滑动部333b的直径小于气垫部333c的直径。另外，滑动部333b以相对于引导构件主体331能够移动的方式设置在具有比滑动部333b的直径大的直径的孔331d的内部(之后详述)。在滑动部333b的外周面与孔331d的内周面之间设置有弹性构件342，以避免被供给的空气逃逸(之后详述)。
在侧面气垫332、333各自的内部形成有贯通孔332d、333d。在贯通孔332d、333d的内部形成有孔口332e、333e。贯通孔332d、333d与形成于引导构件主体331的管状的孔331e连接。孔331e是从未图示的泵等供给的空气的通路，一端由插塞343覆盖，另一端与和泵等连结的配管351连结。其结果是，经由配管351向孔331d与滑动部333b之间的空间及贯通孔332d、333d供给空气。
供给至贯通孔332d的空气通过孔口332e从贯通孔332d的前端面332a侧的开口部朝向侧面10g排出(参照图4的粗虚线箭头)。另外，供给到贯通孔333d的空气通过孔口333e从贯通孔333d的前端面333a侧的开口部朝向侧面10h排出(参照图4的粗虚线箭头)。由此，在侧面10g与侧面气垫332的前端面332a之间以及侧面10h与侧面气垫333的前端面333a之间形成有较薄的空气层。
供给到滑动部333b与孔331d之间的空间的空气按压滑动部333b的前端面333f，使滑动部333b沿侧面331b的法线方向(z方向)移动。通过滑动部333b沿z方向移动，侧面10g与前端面332a的间隔以及侧面10h与前端面333a的间隔自动地被调整。例如，在槽10f的宽度宽的情况下，使侧面气垫333在从引导构件主体331突出的方向(-z方向)上移动，使侧面气垫333的前端面333a靠近侧面10h。
在将前端面333f的面积设为spi，将从贯通孔332d、333d排出的空气的压力设为ppi时，向滑动部333b、即侧面气垫333施加的力f为spi与ppi之积(f＝spi×ppi)。为了与槽10f的宽度配合地使侧面气垫333移动，需要使前端面333f的面积spi小于侧面气垫333、即前端面333a的面积spd。在本实施方式中，面积spi为面积spd的0.5～0.8倍左右。
侧面气垫332、即前端面332a的面积是与前端面333a的面积相同的面积spd，因此，自动地确保了引导构件主体331在槽10f中的位置。
此外，由于滑动部333b的直径小于孔331d的直径，因此，滑动部333b的中心轴能够相对于孔331d的中心轴(引导构件主体331的形成有孔331d的侧面的法线方向)倾斜。因此，在侧面10g与侧面10h不平行的情况下，也能够使侧面10g与前端面332a平行，使侧面10h与前端面333a平行。
借助在侧面10g与前端面332a之间以及侧面10h与前端面333a之间形成的较薄的空气层，使侧面气垫332、333推开槽10f的侧面。由于槽10f为石制且尺寸不变化，因此，侧面气垫332、333、即引导构件33由槽10f进行引导。
需要说明的是，在图4所示的方式中，由于从孔331e向滑动部333b与孔331d之间的空间及贯通孔333d供给空气，因此，推压前端面333f的空气的压力与向贯通孔333d供给的空气的压力相同，但也可以使施加于前端面333f的空气的压力与向贯通孔333d供给的空气的压力不同。例如，也可以使从孔331e向滑动部333b与孔331d之间的空间供给的空气的流路与从孔331e向贯通孔333d供给的空气的流路局部不同，在该不同的部分设置不同的调节器。
下面气垫334为俯视(从上方(+y方向)观察时)呈大致矩形形状的构件，经由销335(参照图3、图5)设置于引导构件主体331的下侧(-y侧)。在下面气垫334的内部形成有管状的贯通孔334a。贯通孔334a是从未图示的泵等供给的空气的通路。贯通孔334a的一端在下表面334c(参照图5)开口，另一端在侧面334d开口。贯通孔334a的在侧面334d开口的开口部与和泵等连结的配管352连结。其结果是，经由配管352向贯通孔334a供给空气。
图5是用于说明引导构件33的概要图，是图4的a-a剖视图。在图5中，以粗虚线箭头示出空气的流动。
销335是在上下具有大致半球面的棒状的构件。销335沿上下方向(y方向)贯通引导构件主体331。在本实施方式中，在销335的外周面形成外螺纹(未图示)，该外螺纹与在沿y方向贯通引导构件主体331的孔331f中形成的内螺纹(未图示)螺合。由此，将销335固定于引导构件主体331。
销335的下端部设置于在下面气垫334的上表面形成的孔334e。孔334e的底面为大致半球面，孔334e的底面与销335的下端的大致半球面抵接。
销335的上端为大致半球面即端面335a。端面335a与调整机构32的底面32a抵接。在本实施方式中，端面335a与形成于底面32a的凹部32b抵接。由于端面335a为大致半球面，因此，即便调整机构32相对于销335倾斜，也能够相对于端面335a的位置而决定调整机构32的位置，并且能够使气垫332、334避开不良的偏载荷。需要说明的是，凹部32b不是必须的，凹部32b的形状也不局限于此。
销335设置于各下面气垫334。因此，框架31及调整机构32经由两根销335而由两个下面气垫334支承。
在贯通孔334a的内部形成孔口334b。从配管352(参照图4)供给到贯通孔334a的空气通过孔口334b从下面气垫334的下表面334c侧的开口部朝向槽10f的底面10i排出。其结果是，利用从贯通孔334a排出的空气，在底面10i与下表面334c之间形成较薄的空气层(参照图5的虚线箭头)。由此，下面气垫334、即引导构件33克服框架31、调整机构32、光掩模m等的自重而从槽10f的底面浮起。这样，能够利用刚性高的槽10f来支承较重的框架31及调整机构32。
返回到图1～图3的说明。如图3所示，除振台50具有作为主动除振台的除振台51以及作为重量支承的被动除振台的除振台52。
除振台52具有能够沿z方向移动的受动型弹簧要素。除振台51在除振台52的基础上追加了能够分别沿x方向及y方向移动的致动器51a、51b、为了控制致动器51a、51b而分别设置于致动器51a、51b的传感器(未图示)、以及基于来自未图示的传感器的信号对致动器51a、51b进行控制以抑制从外部输入的振动的控制电路(未图示)。除振台51、52是已知的，故省略详细的说明。
如图1所示，由于除振台51、52对支承面10d进行支承，因此，除振台51、52的高度高于凹部10b、10c的深度d1。另外，除振台51、52的直径为支承面10d的边的长度以下。由此，除振台51、52被收纳在凹部10b、10c的内部，因此，能够实现省空间化。但是，除振台51、52的直径也可以不为凹部10b、10c的边的长度以下。
接着，对检查装置1的动作进行说明。首先，在框架31上安装光掩模m，利用调整机构32对光掩模m的下边的高度方向(y方向)的位置进行调整。此时，掩模支承部30位于平台10的+方向的端附近的安装位置。
接着，使引导构件33沿着槽10f向-x方向移动，使光掩模m从安装位置向检查位置移动。
具体而言，从引导构件33的未图示的泵等向侧面气垫332、333供给空气，从贯通孔332d、333d排出空气。另外，从引导构件33的未图示的泵等向下面气垫334供给空气，从贯通孔334a排出空气。
然后，利用引导构件33的未图示的驱动机构(例如线性马达等)，向引导构件主体331施加-x方向的力。由于在侧面气垫332、333与槽10f的侧面10g、10h之间以及下面气垫334与槽10f的底面10i之间形成有空气层，因此，通过向引导构件主体331施加力，能够容易地使引导构件33移动。
在光掩模m移动到检查位置之后，利用摄像部20进行光掩模m的检查。在本实施方式中，同时从透射照明光源照射g线以及从反射照明光源照射e线，利用相机22a、22b同时接收g线和e线并进行图像化。然后，对由相机22a拍摄到的图像与由相机22b拍摄到的图像进行差分，求出两张图像的差异，由此发现图案的缺陷等。但是，发现图案的缺陷等的方法不局限于此。例如，也可以通过将由相机22a拍摄到的图像和由相机22b拍摄到的图像分别与基于设计数据而生成的图像进行比较，来发现图案的缺陷等。
这样，通过使用基于透射光的图像和基于反射光的图像来进行检查，从而能够迅速地进行检查，并且能够发现各种缺陷。
首先，相机22a在与平台10的上表面10e抵接的初始位置进行该检查。摄像部20一边同时从透射照明光源照射g线以及从反射照明光源照射e线，一边使透射照明光源、反射照明光源及相机22a、22b沿着柱21向上方(+y方向)移动。这样，依次对在支承于掩模支承部30的光掩模m上形成的图案进行拍摄。
这样，在使相机22a、22b从初始位置向上端位置移动并对图像进行拍摄之后，摄像部20将相机22a、22b返回到初始位置。然后，使引导构件33、即光掩模m向-x方向移动规定距离。摄像部20同样地使相机22a、22b移动并对图像进行拍摄。
通过反复进行这样的动作，能够检查光掩模m的整个面。相机22a、22b的铅垂方向的移动速度以及引导构件33的水平方向的移动速度根据相机22a、22b的视野范围及性能等来调整。
在光掩模m整个面的检查结束之后，利用引导构件33的未图示的驱动机构向引导构件主体331施加+x方向的力，使掩模支承部30向安装位置移动。然后，更换光掩模m，移至下一个光掩模m的检查。
根据本实施方式，通过在平台10的下表面10a形成凹部10b、10c，并使载置在设置面f上的除振台51、52对凹部10b、10c的底面(支承面10d)进行支承，从而能够降低以支承面10d为基准时的检查装置1的重心位置g。检查装置1由于在铅垂方向上支承光掩模m，inc，因此重心位置g容易变高。然而，通过在凹部10b、10c的内部设置除振台51、52，从而在平台10的下方设置除振台51、52的同时，还能够降低检查装置1的重心位置g。另外，由于设置除振台51、52，因此能够提高检查装置1的抗振性。另外，通过在凹部10b、10c的内部设置除振台51、52，能够实现检查装置1的省空间化。
例如，在未形成凹部的平台的下侧设置除振台51、52的情况下，重心位置g会变高。另外，在未形成凹部的平台的外侧设置除振台51、52的情况下，检查装置的外形会变大。与此相对，通过在较厚的平台10形成凹部10b、10c，并在凹部10b、10c的内部设置除振台51、52，从而在降低重心位置g的同时，能够减小检查装置1。
另外，根据本实施方式，通过在平台10的上表面10e的在俯视下不与凹部10b、10c重叠的位置形成槽10f，从而在确保平台10的强度的同时，能够降低重心位置g。例如，当在平台10的上表面10e形成轨道并在轨道上设置掩模支承部时，重心位置g会变高。与此相对，通过在槽10f中设置掩模支承部30，能够降低重心位置g。
另外，根据本实施方式，由于形成槽10f，因此，通过从侧面气垫332、333及下面气垫334排出空气，能够在侧面气垫332、333与槽10f的侧面10g、10h之间以及下面气垫334与槽10f的底面10i之间形成空气层。由此，能够使引导构件33从槽10f中浮起，容易地使引导构件33移动。这样的结构及效果通过在平台10这样的硬材料上直接形成槽10f来实现。
例如，在平台10的上表面10e形成陶瓷制或石制的凸形状的轨道并在该轨道上设置掩模支承部的情况下，存在刚性低、尺寸精度差、以及掩模支承部30的设置位置会变高这样的问题。与此相对，在将槽10f形成于平台10的情况下，刚性高，并且尺寸精度也高。因此，能够以较少的振动使引导构件33平滑地移动。此外，由于槽10f很坚固，因此，能够从贯通孔332d、333d、334a以较高的压力排出空气。因此，能够使引导构件33从槽10f中可靠地浮起，从而使引导构件33更加平滑地移动。另外，通过在平台10形成槽10f，能够降低掩模支承部30的设置位置。
以上，参照附图对本发明的实施方式进行了详述，但具体的结构不局限于该实施方式，也包含不脱离本发明的主旨的范围内的设计变更等。
另外，在本发明中，“大致”不仅指严格意义上相同的情况，也包含不丧失同等性的程度的误差或变形的概念。例如，大致立方体形状不局限于严格意义上的立方体形状的情况。例如，虽然在平台10形成有凹部10b等，但从整体看平台10为大致立方体形状。另外，例如在仅表现为铅垂、一致等的情况下，不仅指严格意义上的铅垂、一致等的情况，也包含大致铅垂、大致一致等的情况。
另外，本发明中的“附近”是指如下概念：例如在为a的附近时，是指a的附近处，可以包含a也可以不包含a。
附图标记说明：
1：检查装置；
10：平台；
10a：下表面；
10b、10c：凹部；
10d：支承面；
10e：上表面；
10f：槽；
10g、10h：侧面；
10i：底面；
20：摄像部；
21：柱；
22：相机；
22a、22b：相机；
23：支承部；
30：掩模支承部；
31：框架；
32：调整机构；
32a：底面；
32b：凹部；
33：引导构件；
50：除振台；
51：除振台；
51a、51b：致动器；
52：除振台；
331：引导构件主体；
331a：侧面；
331b：侧面；
331c：孔；
331d：孔；
331e：孔；
331f：孔；
332：侧面气垫；
332a：前端面；
332b：结合部；
332c：气垫部；
332d：贯通孔；
332e：孔口；
333：侧面气垫；
333a：前端面；
333b：滑动部；
333c：气垫部；
333d：贯通孔；
333e：孔口；
333f：前端面；
334：下面气垫；
334a：贯通孔；
334b：孔口；
334c：下表面；
334d：侧面；
334e：孔；
335：销；
335a：端面；
343：插塞；
341、342：弹性构件；
351、352：配管；
m：光掩模。