OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备的制作方法

文档序号:11910404阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备,其特征在于:其包括以下组成部分:

装置本体(1),用于产品尺寸检测;

空气干燥机(2),控制供给装置的空气温度和湿度,并净化空气;

控制箱(3),收纳各种电气零件和控制零件,以及照明装置;

控制台(4),设备的控制部分,有PC本体、控制面板、控制盒以及触摸显示屏组成;

桌面控制器(5),控制装置本体的X、Y、Z轴运动;

所述装置本体由基板平台(11)、镜头单元(12)、X轴驱动单元(13)、X轴空气滑块(14)、Y轴驱动单元(15)、Y轴驱动滑块(16)组成,所述基板平台(11)安装在机架(17)上,其上方设置镜头单元(12),所述镜头单元(12)通过X轴驱动单元(13)、X轴空气滑块(14)、Y轴驱动单元(15)、Y轴驱动滑块(16)在基板平台(11)的上方实现X与Y轴方向的精准位置移动调整。

2.根据权利要求1所述的OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备,其特征在于:所述基板平台(11)采用若干玻璃基板(21)平铺拼接而成,并通过固定螺丝(22)固定在机架(17)上,基板平台(11)上安装了吸真空用的空气管道(23)以及固定玻璃基板用的喷吸入口(24),且安装了用于控制基板平台(11)垂直升降的顶针机构(25)。

3.根据权利要求2所述的OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备,其特征在于:所述基板平台(11)的底部安装有用于减轻外部震动对基板台面影响的空气减震台(18)。

4.根据权利要求1所述的OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备,其特征在于:所述的镜头单元(12)由高倍镜头、中倍镜头、低倍镜头、大视野镜头、rview镜头以及照明镜头依次组合后安装在Z轴的驱动结构上。

5.根据权利要求1所述的OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备,其特征在于:所述装置本体(1)的外侧设有装置保护防尘罩(6),装置保护防尘罩(6)内设置温度传感器(7)及预过滤装置(8)。

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