技术特征：
技术总结
本发明提出了一种基于低相干LED显微条纹投影的微小三维形貌测量系统及方法，直接利用简单器件即可产生高对比度的干涉条纹，采用弱相干光(LED)作为照明光源，由于其相干长度短，光束在传播过程中被散射的杂散光在接收屏上不能发生干涉，从而抑制了相干噪声的影响，进而提高了系统的纵向测量精度和测量的可重复性。不需要复杂的光路将光束压缩，可以直接测量微小尺寸的三维形貌。利用LED剪切干涉获得条纹不仅可以获得较高条纹对比度，而且LED光源价格便宜，相比于DLP投影仪，降低了光学测量系统的成本，有利于实现批量生产。本发明光路调节简单、可获得高对比度条纹、使用器件价格低廉，易于推广。
技术研发人员：姚勇;雷何兵;刘昊鹏;杨彦甫
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学深圳研究生院
技术研发日：2017.03.28
技术公布日：2017.08.01