1.一种氧氮混合高精度配比装置,其特征在于:包括氧气瓶(1)、氮气瓶(2)、氧气质量流量控制器(3)、氮气质量流量控制器(4)和配比仓(5);
在工作状态下,所述氧气瓶(1)输出氧气,经过所述氧气质量流量控制器(3)调整流量后,氧气输送到所述配比仓(5)内,同时,所述氮气瓶(2)输出氮气,经过所述氮气质量流量控制器(4)调整流量后,氮气输送到所述配比仓(5)内,氧气和氮气经所述配比仓(5)混合配比后输出;
所述配比仓(5)包括一个圆柱形封闭管,仅设置有输入口和输出口,分别供氧气和氮气输入及混合配比后的气体输出,内置一段圆柱形网,长度为200-240mm,直径为28-36mm,网眼直径为0.03-0.12mm。
2.根据权利要求1所述的氧氮混合高精度配比装置,其特征在于: 所述圆柱形网长度为235mm,直径为30mm,网眼直径为0.1mm。
3.根据权利要求1或2所述的氧氮混合高精度配比装置,其特征在于:所述氮气质量流量控制器(3)和所述氧气质量流量控制器(4)量程均为500 ml。
4.根据权利要求3所述的氧氮混合高精度配比装置,其特征在于:所述氧气瓶(1)和所述氧气质量流量控制器(3)之间还装配有氧气稳压阀(6),所述氮气瓶(2)和所述氮气质量流量控制器(4)之间还装配有氮气稳压阀(7)。
5.根据权利要求4所述的氧氮混合高精度配比装置,其特征在于:所述氧气瓶(1)和所述氧气质量流量控制器(3)之间还装配有氧气稳流阀(8),所述氮气瓶(2)和所述氮气质量流量控制器(4)之间还装配有氮气稳流阀(9)。
6.根据权利要求5所述的氧氮混合高精度配比装置,其特征在于:所述氧气瓶(1)和所述氧气质量流量控制器(3)之间还装配有氧气气阻(10),所述氮气瓶(2)和所述氮气质量流量控制器(4)之间还装配有氮气气阻(11)。
7.根据权利要求6所述的氧氮混合高精度配比装置,其特征在于:所述氧气瓶(1)和氮气瓶(2)均为高压气瓶,所述氧气瓶(1)和所述氧气质量流量控制器(3)之间还装配有氧气减压阀(12),所述氮气瓶(2)和所述氮气质量流量控制器(4)之间还装配有氮气减压阀(13)。
8.一种氧氮混合高精度配比方法,其特征在于:采用权利要求1-7任一所述的氧氮混合高精度配比装置进行配比,步骤包括:
(a)根据供气流量和实验所需氧浓度,计算出实验所需氧气与氮气的流量;
(b)根据氧气与氮气的流量,结合所述氧气质量流量控制器(3)和所述氮气质量流量控制器(4)的量程,分别计算氧气和氮气的控制比例,控制所述氧气质量流量控制器(3)的氧气输出流量和所述氮气质量流量控制器(4)的氮气输出流量;
(c)分别将所述氧气质量流量控制器(3)与所述氮气质量流量控制器(4)调零,然后开启所述氧气瓶(1)和所述氮气瓶(2),输出气体;
(d)将氧气和氮气经过所述配比仓(5)进行混合配比,然后输出。
9.根据权利要求8所述的氧氮混合高精度配比方法,其特征在于:所述氧气瓶(1)内氧气和所述氮气瓶(2)内氮气纯度均为99.999%,所述实验所需的氧浓度大于3%,小于等于21%。