一种四质量块耦合微机电陀螺仪的制作方法

文档序号:12816792阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种四质量块耦合微机电陀螺仪,涉及微机陀螺仪领域。一种四质量块耦合微机电陀螺仪,包括四个质量块,每个质量块被划分为完全对称的四个单元;每一个质量块主要由驱动框架(19)和检测框架(20)构成,四个驱动框架(19)通过驱动耦合弹簧(21)互连,相邻两个检测框架(20)通过检测耦合弹簧(3)互连,每对驱动框架(19)和检测框架(20)之间通过驱动弹簧(7)互连。本发明提供一种四质量块耦合微机电陀螺仪,实现驱动和检测质量同时耦合的结构以克服驱动电压较高的缺点,从而改善传感器对于电路部分的性能要求。

技术研发人员:梁冰;杨荣彬
受保护的技术使用者:成都振芯科技股份有限公司
技术研发日:2017.05.04
技术公布日:2017.07.11
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