一种三轴电容式加速度计及电子装置的制作方法

本发明涉及三轴电容式加速度计技术领域，更为具体的说，涉及一种三轴电容式加速度计及电子装置。

背景技术：

基于微机电系统(mems，micro-electro-mechanical-system)加工制作的微型加速计因其体积小、成本低、集成性好、性能优良等诸多优点已在工业，医疗，民用，军事等非常广泛的领域得到了越来越多的应用。目前，在各类移动终端、相机、游戏手柄、导航仪等产品的应用中，在一定程度上，已经成为标准配置。在研制过程中，电容式，电阻式，压电式作为检测加速度的方式是主要应用的机理，其中，电容式加速度计因其结构简单，成本低廉，并可在低频范围内拥有较高的灵敏度和线性度等优势，成为最为流行的一类加速度计。但是，现有的三轴电容式加速度计一般都针对不同轴向的电容检测区域分别设置不同的质量块，而质量块的占用面积和重量都较大，不利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明提供了一种三轴电容式加速度计及电子装置，其电容检测区域均共用第一质量块和第二质量块，以减少质量块的数量，利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势。

为实现上述目的，本发明提供的技术方案如下：

一种三轴电容式加速度计，包括：

结构对称设置的第一质量块和第二质量块，其中，所述第一质量块和第二质量块之间通过弹性结构耦合相连，且所述质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度相应的运动；

以及，位于任意一质量块范围内的多个检测区域，其中，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且所述质量块复用所述可动结构，以及，所述固定结构固定于所述基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度的特定电容值变化。

可选的，所述质量块包括沿第一方向设置的第一z轴电容检测区域、第二电容检测部分、第三电容检测部分和第二z轴电容检测区域，其中，所述第二电容检测部分沿第二方向设置有第一x轴电容检测区域、第一y轴电容检测区域和第二x轴电容检测区域，以及，所述第三电容检测部分沿所述第二方向依次设置有第三x轴电容检测区域、第二y轴电容检测区域和第四x轴电容检测区域；

其中，所述第一方向为所述第一质量块-第二质量块方向，且所述第二方向与所述第一方向相交叉。

可选的，所述质量块对应所述第一x轴电容检测区域、第二x轴电容检测区域、第三x轴电容检测区域和第四x轴电容检测区域均为镂空区域；

以及，所述x轴电容检测区域包括沿所述第一方向排列的第一可动结构、第一固定结构、第二可动结构和第二固定结构，其中，所述第一可动结构和第一固定结构组成第一x轴检测电容，所述第二可动结构和第二固定结构组成第二x轴检测电容；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加x轴向的加速度时，所述第一x轴检测电容和第二x轴检测电容的容量变化相反。

可选的，所述质量块对应所述第一y轴电容检测区域和第二y轴电容检测区域均为镂空区域；

以及，所述y轴电容检测区域包括沿所述第一方向排列的第一可动结构、第一固定结构、第二可动结构和第二固定结构，其中，所述第一可动结构和第一固定结构组成第一y轴检测电容，所述第二可动结构和第二固定结构组成第二y轴检测电容；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加y轴向的加速度时，所述第一y轴检测电容和第二y轴检测电容的容量变化相反。

可选的，所述质量块对应所述第一z轴电容检测区域和第二z轴电容检测区域均为镂空区域；

以及，所述z轴电容检测区域包括所述固定结构和环绕所述固定结构的所述可动结构，其中，所述第一z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第一z轴检测电容，和所述第二z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第二z轴检测电容；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加z轴向的加速度时，所述第一z轴检测电容和第二z轴检测电容的容量变化相反。

可选的，任意一z轴电容检测区域的所述可动结构和固定结构之间具有高度差。

可选的，所述质量块对应所述第一z轴电容检测区域和第二z轴电容检测区域对应设置为所述可动结构；

以及，固定于所述基底上、且对应所述可动结构设置有所述固定结构，其中，所述第一z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第一z轴检测电容，和所述第二z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第二z轴检测电容；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加z轴向的加速度时，所述第一z轴检测电容和第二z轴检测电容的容量变化相反。

可选的，位于所述质量块的第二电容检测部分和第三电容检测部分之间设置有弹性连接部，所述弹性连接部设置有至少一个所述固定锚点与所述质量块弹性连接。

可选的，所述质量块对应所述弹性连接部设置有沿所述第二方向排列的第一弹性镂空区域和第二弹性镂空区域；

位于所述弹性镂空区域设置有一所述固定锚点，且所述固定锚点通过一沿所述第二方向延伸的第一弹性梁与所述质量块连接，其中，所述第一弹性镂空区域和第二弹性镂空区域的第一弹性梁相对设置。

可选的，所述弹性结构包括沿所述第一方向设置的第一子弹性结构和第二子弹性结构，和位于所述第一子弹性结构和第二子弹性结构之间的刚性梁；

所述第一子弹性结构包括沿所述第二方向设置的两个第二弹性梁，两个所述第二弹性梁的相对端与所述刚性梁相连，且两个所述第二弹性梁的另一端均与所述第一质量块相连；

以及，所述第二子弹性结构包括沿所述第二方向设置的两个第三弹性梁，两个所述第三弹性梁的相对端与所述刚性梁相连，且两个所述第三弹性梁的另一端均与所述第二质量块相连。

相应的，本发明还提供了一种电子装置，包括上述的三轴电容式加速度计。

相较于现有技术，本发明提供的技术方案至少具有以下优点：

本发明提供了一种三轴电容式加速度计及电子装置，包括：结构对称设置的第一质量块和第二质量块，其中，所述第一质量块和第二质量块之间通过弹性结构耦合相连，且所述质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度相应的运动；以及，位于任意一质量块范围内的多个检测区域，其中，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且所述质量块复用所述可动结构，以及，所述固定结构固定于所述基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度的特定电容值变化。由上述内容可知，本发明提供的技术方案，三轴电容式加速度计的电容检测区域均共用第一质量块和第二质量块，以减少质量块的数量，利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势；此外，耦合连接的两个质量块有助于消除加速度计随封装焊接，或温度变化等过程中产生的应力的影响，有效降低加速度计的零点偏差和灵敏度偏差。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的一种三轴电容式加速度计的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的z轴电容检测区域的一种可动结构和固定结构的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的另一种三轴电容式加速度计的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的z轴电容检测区域的另一种可动结构和固定结构的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的三轴电容式加速度计在x轴检测的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的三轴电容式加速度计在y轴检测的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的三轴电容式加速度计在z轴检测的结构示意图；

图8为本申请实施例提供的又一种三轴电容式加速度计的结构示意图；

图9为本申请实施例提供的又一种三轴电容式加速度计的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

正如背景技术所述，电容式加速度计因其结构简单，成本低廉，并可在低频范围内拥有较高的灵敏度和线性度等优势，成为最为流行的一类加速度计。但是，现有的三轴电容式加速度计一般都针对不同轴向的电容检测区域分别设置不同的质量块，而质量块的占用面积和重量都较大，不利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势。

基于此，本申请实施例提供了一种三轴电容式加速度计及电子装置，其电容检测区域均共用第一质量块和第二质量块，以减少质量块的数量，利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势。为实现上述目的，本申请实施例提供的技术方案如下，具体结合图1至图9所示，对本申请实施例提供的技术方案进行详细的描述。

参考图1所示，为本申请实施例提供的一种三轴电容式加速度计的结构示意图，其中，三轴电容式加速度计包括：

结构对称设置的第一质量块m1和第二质量块m2，其中，所述第一质量块m1和第二质量块m2之间通过弹性结构耦合相连，且所述质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度相应的运动；

以及，位于任意一质量块范围内的多个检测区域，其中，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且所述质量块复用所述可动结构，以及，所述固定结构固定于所述基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度的特定电容值变化。

在本申请一实施例中，参考图1所示，所述质量块包括沿所述第一方向y设置的第一z轴电容检测区域cz1、第二电容检测部分、第三电容检测部分和第二z轴电容检测区域cz2，其中，所述第二电容检测部分沿所述第二方向x设置有第一x轴电容检测区域cx1、第一y轴电容检测区域cy1和第二x轴电容检测区域cx2，以及，所述第三电容检测部分沿所述第二方向依次设置有第三x轴电容检测区域cx3、第二y轴电容检测区域cy2和第四x轴电容检测区域cx4；其中，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且所述质量块复用所述可动结构，以及，所述固定结构固定于所述基底上；

其中，所述第一方向y为所述第一质量块m1-第二质量块m2方向，且所述第二方向x与所述第一方向y相交叉。可选的，所述第一方向和第二方向相互垂直。即，任意一质量块范围内的多个检测区域包括第一z轴电容检测区域cz1、第二z轴电容检测区域cz2、第一x轴电容检测区域cx1、第一y轴电容检测区域cy1、第二x轴电容检测区域cx2、第三x轴电容检测区域cx3、第二y轴电容检测区域cy2和第四x轴电容检测区域cx4。

需要说明的是，在本申请一实施例中，第一方向y和第二方向x垂直时，三轴电容式加速度计的x轴向与第二方向相同，其y轴向与第一方向相同，且其z轴向与x轴和y轴组成的平面垂直。

如图1所示，在本申请一实施例中，所述质量块对应所述第一x轴电容检测区域cx1、第二x轴电容检测区域cx2、第三x轴电容检测区域cx3和第四x轴电容检测区域cx4均为镂空区域；

以及，所述x轴电容检测区域包括沿所述第一方向y排列的第一可动结构、第一固定结构、第二可动结构和第二固定结构，其中，所述第一可动结构和第一固定结构组成第一x轴检测电容101，所述第二可动结构和第二固定结构组成第二x轴检测电容102；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加x轴向的加速度时，所述第一x轴检测电容101和第二x轴检测电容102的容量变化相反。

如图1所示，在本申请一实施例中，所述质量块对应所述第一y轴电容检测区域cy1和第二y轴电容检测区域cy2均为镂空区域；

以及，所述y轴电容检测区域包括沿所述第一方向y排列的第一可动结构、第一固定结构、第二可动结构和第二固定结构，其中，所述第一可动结构和第一固定结构组成第一y轴检测电容201，所述第二可动结构和第二固定结构组成第二y轴检测电容202；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加y轴向的加速度时，所述第一y轴检测电容201和第二y轴检测电容202的容量变化相反。

以及，结合图1和图2所示，图2为本申请实施例提供的z轴电容检测区域的一种可动结构和固定结构的结构示意图，其中，所述质量块对应所述第一z轴电容检测区域cz1和第二z轴电容检测区域cz2均为镂空区域；

以及，所述z轴电容检测区域包括固定结构和环绕所述固定结构的可动结构，其中，所述第一z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第一z轴检测电容301，和所述第二z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第二z轴检测电容302；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加z轴向的加速度时，所述第一z轴检测电容301和第二z轴检测电容302的容量变化相反。

如图2所示，本申请实施例提供的z轴电容检测区域的可动结构z1和固定结构z2之间具有高度差。其中，本申请实施例对于提供的高度差的具体参数不做限制，其需要根据实际应用进行具体设计，其中，可动结构z1和固定结构z2可以在两者任意同向端具有高低差，对此本申请不做具体限制。以及，在本申请一实施例中，任意一z轴电容检测区域的可动结构z1和固定结构z2均在同一方向端部具有高低差。

在本申请另一实施例中，z轴电容检测区域结构还可以为其他结构形式。结合图3和图4所示，图3为本申请实施例提供的另一种三轴电容式加速度计的结构示意图，图4为本申请实施例提供的z轴电容检测区域的另一种可动结构和固定结构的结构示意图。其中，所述质量块对应所述第一z轴电容检测区域cz1和第二z轴电容检测区域cz2对应设置为所述可动结构；

以及，固定于所述基底上、且对应所述可动结构设置有所述固定结构，其中，所述第一z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第一z轴检测电容301，和所述第二z轴电容检测区域的固定结构和可动结构组成第二z轴检测电容302；

其中，在对所述三轴电容式加速度计施加z轴向的加速度时，所述第一z轴检测电容301和第二z轴检测电容302的容量变化相反。

如图4所示的在图3中沿aa’方向的切面示意图中，在基底-质量块方向上，z轴电容检测区域的可动结构z1和固定结构z2之间交叠设置，且可动结构z1和固定结构z2之间具有间隙，以形成z轴检测电容。

需要说明的是，上述关于z轴电容检测区域的可动结构和固定结构的具体方式只是本申请众多结构中的其中两种，在本申请其他实施例中z轴电容检测区域的可动结构和固定结构还可以为其他方式已组成检测电容，对此本申请不做具体限制。

如图1所示，在本申请一实施例中，位于所述质量块的第二电容检测部分和第三电容检测部分之间设置有弹性连接部，所述弹性连接部设置有至少一个所述固定锚点与所述质量块弹性连接。

其中，所述质量块对应所述弹性连接部设置有沿所述第二方向x排列的第一弹性镂空区域410和第二弹性镂空区域420；

位于所述弹性镂空区域设置有一所述固定锚点400，且所述固定锚点400通过一沿所述第二方向x延伸的第一弹性梁430与所述质量块连接，其中，所述第一弹性镂空区域410和第二弹性镂空区域420的第一弹性梁430相对设置。其中，本申请实施例提供的三轴电容式加速度计利用固定锚点不在其中心位置的方式，实现两个质量块共用检测三个不同轴向的加速度的目的。以及，每个质量块分别由两个固定锚点固定，减少工艺偏差引起的不对称性，增加三轴电容式加速度计的可靠性和稳定性。

以及，如图1所示，所述弹性结构包括沿所述第一方向y设置的第一子弹性结构和第二子弹性结构，和位于所述第一子弹性结构和第二子弹性结构之间的刚性梁600；

所述第一子弹性结构包括沿所述第二方向x设置的两个第二弹性梁510，两个所述第二弹性梁510的相对端与所述刚性梁600相连，且两个所述第二弹性梁510的另一端均与所述第一质量块m1相连；

以及，所述第二子弹性结构包括沿所述第二方向x设置的两个第三弹性梁520，两个所述第三弹性梁520的相对端与所述刚性梁600相连，且两个所述第三弹性梁520的另一端均与所述第二质量块m2相连。其中，利用弹性梁耦合结构连接两个质量块，使两个质量块本身限制位移宽度，避免由于过大的位移产生粘连或断裂的问题。此外，本申请实施例提供的技术方案，在两个质量块上，分别进行电容的差分检测，减少工艺偏差以及封装，焊接或环境温度变化等过程造成的应力对单个质量块产生的影响。

对于本申请实施例提供的三轴电容式加速度计的检测过程，下面结合图5至图7所示示意图进行详细描述。

参考图5所示，为本申请实施例提供的三轴电容式加速度计在x轴检测的结构示意图，其中，在三轴电容式加速度计在x轴向有加速度时，由于第一质量块m1和第二质量块m2组成的结构质量不平均，第一质量块m1和第二质量块m2靠近刚性梁600的位置运动位移会大于背离刚性梁600两侧的位置运动位移。以图3所标识的方向为例，由此，第一x轴电容检测区域cx1和第三x轴电容检测区域cx3的第一x检测电容101，和第二x轴电容检测区域cx2和第四x轴电容检测区域cx4的第二x检测电容102的电容量减小；而与之相反的第一x轴电容检测区域cx1和第三x轴电容检测区域cx3的第二x轴检测电容102，和第二x轴电容检测区域cx2和第四x轴电容检测区域cx4的第一x轴检测电容101的电容量增大。后续检测电路通过第一质量块m1和第二质量块m2中总共的该八个电容量减小的x轴检测电容和该八个电容量增大的x轴检测电容的差分电容变化，可以测量三轴电容式加速度计在x轴方向的加速度。

参考图6所示，为本申请实施例提供的三轴电容式加速度计在y轴检测的结构示意图，其中，在三轴电容式加速度计在y轴向有加速度时，第一质量块m1和第二质量块m2向y轴方向运动。以图4标识的方向为例，由此，第一y轴电容检测区域cy1和第二y轴电容检测区域cy2的第一y轴检测电容201的电容量减小；而与之相反的第一y轴电容检测区域cy1和第二y轴电容检测区域cy2的第二y轴检测电容202的电容量增大。后续检测电路通过第一质量块m1和第二质量块m2中总共的该四个电容量减小的y轴检测电容和该四个电容量增大的y轴检测电容的差分电容变化，可以测量三轴电容式加速度计在y轴方向的加速度。

以及，参考图7所示，为本申请实施例提供的三轴电容式加速度计在z轴检测的结构示意图，其中，在三轴电容式加速度计在z轴向有加速度时，由于第一质量块m1和第二质量块m2组成的结构质量不平均，第一质量块m1和第二质量块m2靠近刚性梁600的位置运动位移会大于背离刚性梁600两侧的位置运动位移。以图5标识方向为例，由此，第一z轴电容检测区域cz1的第一z轴检测电容301的电容量减小；而与之相反的第二z轴电容检测区域的第二z轴检测电容302的电容量增大。后续检测电路通过第一质量块m1和第二质量块m2中总共的该两个电容量减小的第一z轴检测电容301和该两个电容量增大的第二z轴检测电容302的差分电容变化，可以测量三轴电容式加速度计在z轴方向的加速度。

在本申请上述任意一实施例中，所述固定结构为固定极板，所述可动结构为可动极板，其中，任意一检测区域均包括所述固定极板和所述可动极板组成的检测电容，且所述质量块复用所述可动极板，以及，所述固定极板固定于所述基底上。

在本申请提供的三轴电容式加速度计中，包括有两个耦合连接设置的第一质量块和第二质量块，其中，耦合连接第一质量块和第二质量块在某个维度上的运动具有相关性。具体如本申请实施例提供的第一质量块和第二质量块受到某一方向的加速度时，第一质量块若顺时针旋转，则第二质量块为逆时针旋转，耦合连接能够保证第一质量块和第二质量块的旋转角度一致。

在本申请提供的三轴电容式加速度计中，能够通过x轴电容检测区域、y轴电容检测区域和z轴电容检测区域，分别实现检测x轴、y轴和z轴方向的加速度的目的，其中，在本申请提供的三轴电容式加速度计中，并不局限于上述图1至图5中所示实施例提供的关于x轴电容检测区域、y轴电容检测区域和z轴电容检测区域的数量和位置的限定，x轴电容检测区域、y轴电容检测区域和z轴电容检测区域的数量可以在上述实施例提供数量的基础上增多或减少，以及，x轴电容检测区域、y轴电容检测区域和z轴电容检测区域的位置还可以在上述实施例提供的位置的基础上进行改变，只要三轴电容式加速度计保证第一质量块和第二质量块耦合连接、且能够实现x轴、y轴和z轴方向的加速度的检测目的即可，即，在第一质量块和第二质量块耦合连接、且能够实现x轴、y轴和z轴方向的加速度的检测的基础上，对x轴电容检测区域、y轴电容检测区域和z轴电容检测区域进行的数量和位置的变形均属于本申请所保护的方案。

结合图8和图9所示，对本申请提供的另外两种三轴电容式加速度计的结构进行说明。

参考图8所示，为本申请实施例提供的又一种三轴电容式加速度计的结构示意图，其中，图8所示三轴电容式加速度计的y轴电容检测区域和z轴电容检测区域与图1所示结构相同，即第一质量块m1和第二质量块m2包括有第一y轴电容检测区域cy1和第二y轴电容检测区域cy2，以及，包括第一z轴电容检测区域cz1和第二z轴电容检测区域cz2。

与图1中不同的是，本申请图8所示三轴电容式加速度计中，x轴电容检测区域的数量和位置均发生变化，即，第一质量块m1和第二质量块m2中每一质量块仅包括两个x轴电容检测区域，分别为第一x轴电容检测区域cx1和第二x轴电容检测区域cx2，且第一x轴电容检测区域cx1和第二x轴电容检测区域cx2分别设置在质量块在第二方向x上的相对两侧，以及，第一x轴电容检测区域cx1和第二x轴电容检测区域cx2的延伸方向与第一方向y相同，可动结构和固定结构在第二方向x上相对设置，以保证在x轴上有加速度时，沿第一方向y延伸的可动结构和固定结构之间电容量发生变化，进而根据该电容量的变化检测加速度。

以及，参考图9所示，为本申请实施例提供的又一种三轴电容式加速度计的结构示意图，其中，图8所示三轴电容式加速度计的z轴电容检测区域与图1所示结构相同，即第一质量块m1和第二质量块m2包括第一z轴电容检测区域cz1和第二z轴电容检测区域cz2。

与图1中不同的是，本申请图9所示三轴电容式加速度计中，x轴电容检测区域的位置发生变化，即，第一质量块m1和第二质量块m2中每一质量块包括第一x轴电容检测区域cx1、第二x轴电容检测区域cx2、第三x轴电容检测区域cx3和第四x轴电容检测区域cx4，其中，第一x轴电容检测区域cx1、第二x轴电容检测区域cx2、第三x轴电容检测区域cx3和第四x轴电容检测区域cx4的均朝向所在质量块的中心区域倾斜设置。

以及，与图1中另一点不同的是，本申请图9所示三轴电容式加速度计中，y轴电容检测区域的数量和位置均发生变化，即，第一质量块m1和第二质量块m2中每一质量块包括第一y轴电容检测区域cy1、第二y轴电容检测区域cy2、第三y轴电容检测区域cy3和第四y轴电容检测区域cy4。其中，第一y轴电容检测区域cy1和第二y轴电容检测区域cy2沿第二方向x顺序排列设置，第三y轴电容检测区域cy3和第四y轴电容检测区域cy4沿第二方向x顺序排列设置，且第一y轴电容检测区域cy1和第二y轴电容检测区域cy2的组合，与第三y轴电容检测区域cy3和第四y轴电容检测区域cy4的组合沿第一方向y设置于弹性镂空区域两侧、且设置于第一z轴电容检测区域cz1和第二z轴电容检测区域cz2之间。

相应的，本申请实施例还提供了一种电子装置，包括上述任意一实施例提供的三轴电容式加速度计。

本申请实施例提供了一种三轴电容式加速度计及电子装置，包括：结构对称设置的第一质量块和第二质量块，其中，所述第一质量块和第二质量块之间通过弹性结构耦合相连，且所述质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度相应的运动；以及，位于任意一质量块范围内的多个检测区域，其中，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且所述质量块复用所述可动结构，以及，所述固定结构固定于所述基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度的特定电容值变化。由上述内容可知，本发明提供的技术方案，三轴电容式加速度计的电容检测区域均共用第一质量块和第二质量块，以减少质量块的数量，利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势；此外，耦合连接的两个质量块有助于消除加速度计随封装焊接，或温度变化等过程中产生的应力的影响，有效降低加速度计的零点偏差和灵敏度偏差。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。