技术特征：
技术总结
本发明实施例涉及激光检测技术领域，尤其涉及一种内腔增强光声光谱式痕量气体传感器装置，所述装置包括沿光束传播方向依次设置的半导体激光器、斩波器、激光准直聚焦系统、前腔镜、可调谐滤波器、激光增益介质、石英音叉、后腔镜；所述石英音叉产生的压电信号经阻抗放大器放大后传输至控制与数据采集系统，所述控制与数据采集系统用于检测石英音叉的共振频率，并且实时控制所述斩波器，使之调制的频率f始终为石英音叉的共振频率f0；计算机连接所述控制与数据采集系统，通过上位机软件Labview进行实时控制。本装置能够快速检测出大气环境中存在多种痕量气体。
技术研发人员：马欲飞;何应;于欣;李旭东;彭江波;杨超博;闫仁鹏;樊荣伟;董志伟;佟瑶;陈德应
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2017.05.23
技术公布日：2017.10.20