一种器件视觉镜头干涉仪的制作方法

本实用新型涉及干涉仪技术领域，尤其涉及一种器件视觉镜头干涉仪。

背景技术：

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化，在测试器件视觉镜头时需要将器件视觉镜头安装在第二个反射镜的前侧，但是器件视觉镜头的大小各不相同，传统的激光干涉仪难以满足需要，因此需要一种检测器件视觉镜头的激光干涉仪。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种器件视觉镜头干涉仪。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种器件视觉镜头干涉仪，包括基板，所述基板的上方垂直焊接有反光镜安装板，所述反光镜安装板的一侧开设有矩形容纳槽，所述容纳槽的内部安装有反光镜，所述反光镜远离反光镜安装板的一侧安装有与基板固定连接的镜片安装板，所述镜片安装板靠近反光镜的一侧开设有贯穿镜片安装板的圆柱形透光孔，所述镜片安装板远离基板的一侧开设有与透光孔连通的矩形滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有夹持机构，所述基板远离反光镜安装板的一侧垂直焊接有活动杆，所述活动杆的另一端活动套接有固定套筒，所述活动杆伸入固定套筒的一端安装有调节机构，所述夹持机构包括与滑槽滑动连接的放置板，所述放置板上开设有矩形安装槽，所述安装槽上开设有贯穿放置板的圆柱形通孔，所述通孔沿其轴线阵列安装有圆弧形夹板，所述夹板的外凸面垂直焊接伸缩杆，所述伸缩杆的两侧对称安装有弹簧。

优选的，所述伸缩杆包括与夹板固定连接的固定杆，所述固定杆的另一端活动套接有与安装槽侧壁固定连接的套筒。

优选的，所述夹板的内凹面位于夹板靠近通孔圆形的一侧。

优选的，所述夹板的内凹面沿其长度方向开设有圆弧形对接槽。

优选的，所述活动杆沿其长度方向安装有刻度尺。

优选的，所述调节机构包括直齿条、齿轮和转轴，所述直齿条位于活动杆伸入固定套筒的一端，且直齿条沿活动杆长度方向设置，直齿条的一侧啮合有齿轮，齿轮的内部固定套接有转轴，转轴伸出固定套筒的一端固定套接有转盘。

本实用新型的有益效果：

通过在基板上设置的活动杆、固定套筒和调节机构，实现了检测镜片高度的调节；通过设置的放置板、安装槽、通孔、夹板、伸缩杆和弹簧，将检测镜片放置在夹板的圆弧形对接槽内部，实现了不同尺寸的镜片的检测，提高了干涉仪的适用性和通用性，减少了干涉仪成本的投入，节省成本。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种器件视觉镜头干涉仪的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种器件视觉镜头干涉仪夹持机构的结构示意图。

图中：1基板、2反光镜安装板、3容纳槽、4反光镜、5镜片安装板、6透光孔、7滑槽、8夹持机构、9活动杆、10固定套筒、11调节机构、12放置板、13安装槽、14通孔、15夹板、16伸缩杆、17弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种器件视觉镜头干涉仪，包括基板1，基板1的上方垂直焊接有反光镜安装板2，反光镜安装板2的一侧开设有矩形容纳槽3，容纳槽3的内部安装有反光镜4，反光镜4远离反光镜安装板2的一侧安装有与基板1固定连接的镜片安装板5，镜片安装板5靠近反光镜4的一侧开设有贯穿镜片安装板5的圆柱形透光孔6，镜片安装板5远离基板1的一侧开设有与透光孔6连通的矩形滑槽7，滑槽7的内部滑动连接有夹持机构8，基板1远离反光镜安装板2的一侧垂直焊接有活动杆9，活动杆9的另一端活动套接有固定套筒10，活动杆9伸入固定套筒10的一端安装有调节机构11，夹持机构8包括与滑槽7滑动连接的放置板12，放置板12上开设有矩形安装槽13，安装槽13上开设有贯穿放置板12的圆柱形通孔14，通孔14沿其轴线阵列安装有圆弧形夹板15，夹板15的外凸面垂直焊接伸缩杆16，伸缩杆16的两侧对称安装有弹簧17。

伸缩杆16包括与夹板15固定连接的固定杆，固定杆的另一端活动套接有与安装槽13侧壁固定连接的套筒，夹板15的内凹面位于夹板15靠近通孔14圆形的一侧，夹板15的内凹面沿其长度方向开设有圆弧形对接槽，活动杆9沿其长度方向安装有刻度尺，调节机构11包括直齿条、齿轮和转轴，直齿条位于活动杆9伸入固定套筒10的一端，且直齿条沿活动杆9长度方向设置，直齿条的一侧啮合有齿轮，齿轮的内部固定套接有转轴，转轴伸出固定套筒10的一端固定套接有转盘。

本实用新型中，安装镜片时，先将夹持机构8从滑槽7内拔出，然后将镜片放置在夹板15内凹面的对接槽内，这时候在伸缩杆16和弹簧17的作用下，使不同尺寸的镜片夹持在夹持机构8内部的安装槽13内，该设计实现了检测镜片高度的调节，实现了不同尺寸的镜片的检测，提高了干涉仪的适用性和通用性，减少了干涉仪成本的投入，节省成本。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。