一种器件视觉镜头干涉仪的制作方法

文档序号:11209624阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种器件视觉镜头干涉仪,包括基板(1),其特征在于:所述基板(1)的上方垂直焊接有反光镜安装板(2),所述反光镜安装板(2)的一侧开设有矩形容纳槽(3),所述容纳槽(3)的内部安装有反光镜(4),所述反光镜(4)远离反光镜安装板(2)的一侧安装有与基板(1)固定连接的镜片安装板(5),所述镜片安装板(5)靠近反光镜(4)的一侧开设有贯穿镜片安装板(5)的圆柱形透光孔(6),所述镜片安装板(5)远离基板(1)的一侧开设有与透光孔(6)连通的矩形滑槽(7),所述滑槽(7)的内部滑动连接有夹持机构(8),所述基板(1)远离反光镜安装板(2)的一侧垂直焊接有活动杆(9),所述活动杆(9)的另一端活动套接有固定套筒(10),所述活动杆(9)伸入固定套筒(10)的一端安装有调节机构(11),所述夹持机构(8)包括与滑槽(7)滑动连接的放置板(12),所述放置板(12)上开设有矩形安装槽(13),所述安装槽(13)上开设有贯穿放置板(12)的圆柱形通孔(14),所述通孔(14)沿其轴线阵列安装有圆弧形夹板(15),所述夹板(15)的外凸面垂直焊接伸缩杆(16),所述伸缩杆(16)的两侧对称安装有弹簧(17)。

2.根据权利要求1所述的一种器件视觉镜头干涉仪,其特征在于,所述伸缩杆(16)包括与夹板(15)固定连接的固定杆,所述固定杆的另一端活动套接有与安装槽(13)侧壁固定连接的套筒。

3.根据权利要求1所述的一种器件视觉镜头干涉仪,其特征在于,所述夹板(15)的内凹面位于夹板(15)靠近通孔(14)圆形的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种器件视觉镜头干涉仪,其特征在于,所述夹板(15)的内凹面沿其长度方向开设有圆弧形对接槽。

5.根据权利要求1所述的一种器件视觉镜头干涉仪,其特征在于,所述活动杆(9)沿其长度方向安装有刻度尺。

6.根据权利要求1所述的一种器件视觉镜头干涉仪,其特征在于,所述调节机构(11)包括直齿条、齿轮和转轴,所述直齿条位于活动杆(9)伸入固定套筒(10)的一端,且直齿条沿活动杆(9)长度方向设置,直齿条的一侧啮合有齿轮,齿轮的内部固定套接有转轴,转轴伸出固定套筒(10)的一端固定套接有转盘。

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