MEMS加速度计芯片测试装置的制作方法

本实用新型涉及一种MEMS加速度计芯片测试装置。

背景技术：

在三明治摆式MEMS加速度计芯片测试过程中，需要对芯片的电容进行逐一测试，因此在测试时需要同时使用测试针头接触上下及截面上的测试点，在本实用新型之前采用的方式是手工逐一将探针扎到测试点进行测试，操作过程繁琐、效率低且准确性难以保证，往往还需要反复调节，导致芯片的电容测试过程困难。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种MEMS加速度计芯片测试装置，用以解决上述问题，方便使用，测试简便。

上述的目的通过以下的技术方案实现：

一种MEMS加速度计芯片测试装置，其组成包括：直线电机与旋转电机，所述的直线电机包括一个直线电机轨道1，所述的直线电机轨道1上运行直线电机机身Ⅰ2、直线电机机身Ⅱ3与直线电机机身Ⅲ4；

所述的直线电机机身Ⅰ2上设置倒L形支架Ⅰ5，所述的倒L形支架Ⅰ5的两边再通过斜边Ⅰ6相连，所述的倒L形支架Ⅰ5的顶端横边的截面为梯形，

所述的倒L形支架Ⅰ5的顶端横边上设置插口Ⅰ17与插口Ⅱ18，所述的插口Ⅱ18的外边框设置引导管Ⅰ19，所述的插口Ⅰ17与插口Ⅱ18均配合测试针使用；

所述的直线电机机身Ⅱ3上设置旋转电机Ⅰ7与旋转电机Ⅱ8，所述的旋转电机Ⅰ7的输出轴插入轴承柱Ⅰ9的内圈，所述的轴承柱Ⅰ9的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ10，所述的支撑板Ⅰ10的上端设置倒L形夹板Ⅰ11，所述的倒L形夹板Ⅰ11与支撑板Ⅰ10之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅰ11的竖边与横边通过转轴Ⅰ24相连接，所述的倒L形夹板Ⅰ11的横边开有一组测试针插管Ⅰ23，所述的测试针插管Ⅰ23内也装入测试针；

所述的旋转电机Ⅱ8的输出轴插入轴承柱Ⅱ12的内圈，所述的轴承柱Ⅱ12的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ13，所述的支撑板Ⅱ13的上端设置倒L形夹板Ⅱ14，所述的倒L形夹板Ⅱ14与支撑板Ⅱ13之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅱ14的竖边与横边通过转轴Ⅱ25相连接，所述的倒L形夹板Ⅱ14的横边开有一组测试针插管Ⅱ26，所述的测试针插管Ⅱ26内也装入测试针，

所述的直线电机机身Ⅲ4上设置倒L形支架Ⅱ15，所述的倒L形支架Ⅱ15的两边再通过斜边Ⅱ16相连，所述的倒L形支架Ⅱ15的顶端横边的截面为梯形；

所述的倒L形支架Ⅱ15的顶端横边上设置插口Ⅲ20与插口Ⅳ21，所述的插口Ⅳ21的外边框设置引导管Ⅱ22，所述的插口Ⅲ20与插口Ⅳ21均配合测试针使用；

所述的倒L形支架Ⅰ5与倒L形支架Ⅱ15相对设置。

所述的MEMS加速度计芯片测试装置，所述的直线电机机身Ⅰ2、直线电机机身Ⅱ3与直线电机机身Ⅲ4均受单片机控制，所述的单片机接收接收模块的信号，所述的接收模块受遥控器控制，

所述的直线电机机身Ⅰ2、直线电机机身Ⅱ3与直线电机机身Ⅲ4将信号传递给反馈模块Ⅰ，所述的反馈模块Ⅰ将信号传递给单片机，所述的单片机接收反馈模块Ⅰ的信号后将信号再传递给旋转电机Ⅰ7与旋转电机Ⅱ8，所述的旋转电机Ⅰ7与旋转电机Ⅱ8将信号传递给反馈模块Ⅱ，所述的反馈模块Ⅱ将信号传递给单片机。

有益效果：

1.本实用新型的斜边Ⅰ起到稳固的作用，它可以使倒L形支架Ⅰ形成三角形；斜边Ⅱ起到稳固的作用，它可以使倒L形支架Ⅱ形成三角形。

2.本实用新型的直线电机机身Ⅰ、直线电机机身Ⅱ与直线电机机身Ⅲ相互配合可以实现两个MEMS加速度计芯片测试的同时测试，节省时间。

3.本实用新型的插口Ⅰ与插口Ⅲ直径相同，插口Ⅱ与插口Ⅳ直径相同，插口Ⅱ与插口Ⅳ的直径大于插口Ⅰ与插口Ⅲ的直径，适用于不同型号的MEMS加速度计芯片的测试针。

附图说明：

附图1是本实用新型的结构示意图。

附图2是本实用新型的控制信号流程图。

具体实施方式：

实施例1

一种MEMS加速度计芯片测试装置，其组成包括：直线电机与旋转电机，所述的直线电机包括一个直线电机轨道1，所述的直线电机轨道1上运行直线电机机身Ⅰ2、直线电机机身Ⅱ3与直线电机机身Ⅲ4；

所述的直线电机机身Ⅰ2上设置倒L形支架Ⅰ5，所述的倒L形支架Ⅰ5的两边再通过斜边Ⅰ6相连，所述的倒L形支架Ⅰ5的顶端横边的截面为梯形，

所述的倒L形支架Ⅰ5的顶端横边上设置插口Ⅰ17与插口Ⅱ18，所述的插口Ⅱ18的外边框设置引导管Ⅰ19，所述的插口Ⅰ17与插口Ⅱ18均配合测试针使用；

所述的直线电机机身Ⅱ3上设置旋转电机Ⅰ7与旋转电机Ⅱ8，所述的旋转电机Ⅰ7的输出轴插入轴承柱Ⅰ9的内圈，所述的轴承柱Ⅰ9的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ10，所述的支撑板Ⅰ10的上端设置倒L形夹板Ⅰ11，所述的倒L形夹板Ⅰ11与支撑板Ⅰ10之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅰ11的竖边与横边通过转轴Ⅰ24相连接，所述的倒L形夹板Ⅰ11的横边开有一组测试针插管Ⅰ23，所述的测试针插管Ⅰ23内也装入测试针；

所述的旋转电机Ⅱ8的输出轴插入轴承柱Ⅱ12的内圈，所述的轴承柱Ⅱ12的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ13，所述的支撑板Ⅱ13的上端设置倒L形夹板Ⅱ14，所述的倒L形夹板Ⅱ14与支撑板Ⅱ13之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅱ14的竖边与横边通过转轴Ⅱ25相连接，所述的倒L形夹板Ⅱ14的横边开有一组测试针插管Ⅱ26，所述的测试针插管Ⅱ26内也装入测试针，

所述的直线电机机身Ⅲ4上设置倒L形支架Ⅱ15，所述的倒L形支架Ⅱ15的两边再通过斜边Ⅱ16相连，所述的倒L形支架Ⅱ15的顶端横边的截面为梯形；

所述的倒L形支架Ⅱ15的顶端横边上设置插口Ⅲ20与插口Ⅳ21，所述的插口Ⅳ21的外边框设置引导管Ⅱ22，所述的插口Ⅲ20与插口Ⅳ21均配合测试针使用；

所述的倒L形支架Ⅰ5与倒L形支架Ⅱ15相对设置。

实施例2

实施例1所述的MEMS加速度计芯片测试装置，所述的直线电机机身Ⅰ2、直线电机机身Ⅱ3与直线电机机身Ⅲ4均受单片机控制，所述的单片机接收接收模块的信号，所述的接收模块受遥控器控制，

所述的直线电机机身Ⅰ2、直线电机机身Ⅱ3与直线电机机身Ⅲ4将信号传递给反馈模块Ⅰ，所述的反馈模块Ⅰ将信号传递给单片机，所述的单片机接收反馈模块Ⅰ的信号后将信号再传递给旋转电机Ⅰ7与旋转电机Ⅱ8，所述的旋转电机Ⅰ7与旋转电机Ⅱ8将信号传递给反馈模块Ⅱ，所述的反馈模块Ⅱ将信号传递给单片机。

当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。