技术特征：
技术总结
本发明涉及用于检查和测量物体表面的方法(100)，该表面包括至少两个相对于彼此在深度上交错的面，所述面特别地形成所述表面上/中的阶梯或沟槽，所述方法(100)包括以下步骤：在所述被检查表面的称为测量点的几个点处测量(102)称为被测信号的干涉信号；针对至少一个测量点，相对于至少一个、特别是每个面提取(108)被测信号，所述提取(108)向所述测量点和所述面传递称为单独干涉信号的干涉信号；分别对每个面的单独信号进行轮廓测量分析(110)。本发明还涉及一种实现这种方法的用于检查和测量物体表面的系统。
技术研发人员：珍-弗朗索瓦·布朗热;伯努瓦·图伊
受保护的技术使用者：统一半导体公司
技术研发日：2017.04.05
技术公布日：2018.12.21