技术特征：
技术总结
本发明提供一种能够防止发生结露的基板检查装置。晶圆检查装置(10)具备：弹簧框(22)，其保持探针卡(18)；卡盘顶部(20)，其与探针卡(18)相向且载置晶圆(W)；以及干燥气体室(38)，其与用于配置弹簧框(22)、卡盘顶部(20)的检查室(11)分开设置，所述晶圆检查装置(10)使卡盘顶部(20)接近弹簧框(22)来使晶圆(W)与探针卡(18)接触，并且在弹簧框(22)与卡盘顶部(20)之间形成密闭空间(S)，通过将密闭空间(S)减压来维持探针卡(18)与晶圆W的接触状态，通过气体导入管(29)来将干燥气体室(38)的内部空间的干燥气体导入密闭空间(S)，由此使晶圆(W)从探针卡(18)脱离。
技术研发人员：山田浩史;藤原润
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.08.25
技术公布日：2019.05.03