气体传感器元件的制作方法

文档序号:15734037发布日期:2018-10-23 21:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体传感器元件,其是配备于对被测定气体中的规定气体成分进行检测的气体传感器的传感器元件,

所述气体传感器元件的特征在于,包括:

长条板状的元件基体,该元件基体包含氧离子传导性的固体电解质,并在一方端部具备气体导入口;

至少1个内部空腔,该内部空腔配备于所述元件基体的内部,并在规定的扩散阻力下与所述气体导入口连通;

至少1个电化学泵单元,该电化学泵单元包含形成于所述元件基体的外表面的外侧泵电极、面向所述至少1个内部空腔而设置的内侧泵电极、以及存在于所述外侧泵电极与所述至少1个内侧泵电极之间的固体电解质,并在所述至少1个内部空腔与外部之间进行氧的汲入及汲出;

加热器,该加热器埋设于所述元件基体的所述一方端部侧的规定范围;以及

多孔质的耐热冲击保护层,该耐热冲击保护层配备于所述一方端部侧的规定范围内的最外周部;

在所述元件基体的2个主面中,在所述元件基体的厚度方向上比所述加热器更接近于所述气体导入口、所述至少1个内部空腔以及所述至少1个电化学泵单元的主面被定义为所述传感器元件的泵面,比所述气体导入口、所述至少1个内部空腔以及所述至少1个电化学泵单元更接近于所述加热器的主面被定义为所述传感器元件的加热器面,

在所述传感器元件的长度方向上的所述耐热冲击保护层的形成范围中,从所述一方端部侧的最前端位置至远离该最前端位置的一侧的所述加热器的端部位置为止的范围被进行了二等分,由此二等分而得到的2个范围自所述一方端部侧开始依次被定义为区域A、区域B,

位于比所述区域B更远离所述最前端位置的一侧的、且不存在有所述加热器的范围被定义为区域C,

在所述一方端部侧的所述最前端位置对所述气体导入口进行覆盖的部分被设定为所述耐热冲击保护层的前端部,

该前端部不包括在所述区域A中,

并且,所述耐热冲击保护层的厚度方向上的热扩散时间为0.4sec~1.0sec,

在各个部位处的所述耐热冲击保护层的厚度方向上,满足以下的关系式:

在所述前端部的热扩散时间>在所述区域A、所述区域B以及所述区域C的所述泵面的热扩散时间的平均值≥在所述区域A、所述区域B以及所述区域C的所述加热器面的热扩散时间的平均值≥在所述区域A、所述区域B以及所述区域C的2个侧面的各自侧面的热扩散时间的平均值。

2.根据权利要求1所述的气体传感器元件,其特征在于,

在各个部位处的所述耐热冲击保护层的厚度方向上,还满足以下的关系式:

在所述区域A及所述区域B的所述泵面的热扩散时间>在所述区域C的所述泵面的热扩散时间,且

在所述区域A及所述区域B的所述加热器面的热扩散时间>在所述区域C的所述加热器面的热扩散时间。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器元件,其特征在于,

所述耐热冲击保护层的厚度为200μm~900μm。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的气体传感器元件,其特征在于,

还包括表面保护层,该表面保护层形成于所述元件基体的所述泵面中的至少一部分之上、或者所述泵面和所述加热器面的至少一部分之上,

所述耐热冲击保护层与所述元件基体及所述表面保护层相接触。

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