一种自动测量坩埚透明层厚度的装置及方法与流程

文档序号:15552730发布日期:2018-09-29 00:24阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种自动测量坩埚透明层厚度的装置,其特征在于,包括机架,安装在所述机架上的传送带机构、升降机构、归正机构和位于坩埚内部的测量机构,所述升降机构用于将坩埚托起至设定的基准面;所述归正机构为沿传输方向两侧设置的同步运动的机械归正机构;所述测量机构包括具有升降和平移功能的测量轴,以及所述测量轴上设置的测量基准点到坩埚内表面等距集中的激光传感器和超声波传感器,全自动测量坩埚透明层厚度,无需人工搬运,自动化程度高,操控简单,无任何污染,实用性强,测量效率高,精度高,能够满足工业生产的需要,无需打碎坩埚进行测量,还可自由设置测量点,有效防止检测不到位,测量成本低。

技术研发人员:祝立君;于宏宇;王建龙;周鼎军;左立超
受保护的技术使用者:内蒙古欧晶科技股份有限公司;天津康帝德科技有限公司
技术研发日:2018.04.23
技术公布日:2018.09.28
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1