本申请涉及干刻蚀技术领域，特别是涉及一种压力计组件及真空干刻蚀装置。
背景技术：
干刻蚀为通过等离子体对金属薄膜进行刻蚀的技术，主要原理是利用电磁场对等离子体进行引导和加速，从而使等离子体轰击待刻蚀的金属薄膜。在刻蚀时，压力对刻蚀得到的金属线的线宽有较大影响，一般通过压力计实现对真空干刻蚀腔内的压力进行检测。
通过传输管道将压力计安装在真空干刻蚀腔上，现有技术中，因与压力计连接的管道的转角数量多使得干刻蚀过程中的生成物附着在压力计上，造成堵塞，影响压力计的精度，使压力计频繁出现偏移、压力不稳定。而定期对压力计进行校正归零会耗费人力工时，且频繁进行校正归零会降低压力计的使用寿命。
因此，有必要提出一种压力计组件及真空干刻蚀装置，以解决上述技术问题。
技术实现要素：
本申请主要解决的技术问题是提供一种压力计组件及真空干刻蚀装置，通过压力计组件能减少与压力计连接的管道的转角数量，从而降低堵塞程度，进而提升压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。
为了解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是提供一种压力计组件，该压力计组件包括：传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。
为了解决上述技术问题，本申请采用的第二个技术方案是提供一种真空干刻蚀装置，该真空干刻蚀装置包括压力计组件，压力计组件包括：传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。
本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的压力计组件包括传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。通过将第一气动阀的一端与传输管道连接，另一端与第一压力计连接，能够降低与压力计连接的管道的转角数量，从而降低堵塞程度，进而提升压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。
附图说明
图1是现有技术中压力计组件的结构示意图；
图2是本申请提供的压力计组件第一实施方式的结构示意图；
图3是本申请提供的压力计组件第二实施方式的结构示意图；
图4是本申请提供的压力计组件第三实施方式的结构示意图；
图5是本申请提供的真空干刻蚀装置一实施方式的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本申请保护的范围。
现有技术中，与第一压力计连接的管道的转角数量有三个，较多的转角数量使得干刻蚀过程中的生成物易附着在第一压力计上，造成堵塞，影响第一压力计的精度，使第一压力计频繁出现偏移、压力不稳定。本申请为了减少转角数量而将第一气动阀的一端与传输管道连接，另一端与第一压力计连接，从而使与第一压力计连接的管道的转角数量降为两个，进而提升第一压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。
请参阅图1，图1是现有技术中压力计组件的结构示意图。如图1所示，压力计组件10包括传输管道101，与传输管道101连接并导通的第一传输支管106和第二传输支管105，第一气动阀104的一端与第一压力计103连接，第一气动阀104的另一端与第一传输支管106连接。传输管道口102与真空干刻蚀腔连接(图1中未示出)，第一压力计103至传输管道口102共有三个转角，其中第一压力计103与第一气动阀104间有一个转角，第一气动阀104与第一传输支管106间有一个转角，第一传输支管106与传输管道101间有一个转角。真空干刻蚀腔内的生成物通过传输管道口102进入压力计组件10中，转角数量越多越容易造成堵塞，过多的生成物附着在第一压力计103的弹片上，影响第一压力计103的精度，使第一压力计103频繁出现偏移、压力不稳定的情形。其中，第一压力计103的最大测量值为0.1托。
第二气动阀108的一端与第二传输支管105连接，第二气动阀108的另一端与第二压力计107连接，第二压力计107的最大测量值为2托。同理可得到第二压力计107至传输管道口102共有三个转角。第二压力计107的最大测量值大于第一压力计103的最大测量值，即第二压力计107在真空度较低的情况下使用，而第一压力计103在真空度较高的情况下使用，附着在压力计组件10内的生成物对第一压力计103的影响大于对第二压力计107的影响。
压力计组件10还包括大气真空检测计111和底压漏率测量计109，大气真空检测计111与第一传输支管106连接，底压漏率测量计109与第三气动阀110的一端连接，第三气动阀110的另一端与第一传输支管106连接。
请参阅图2，图2是本申请提供的压力计组件第一实施方式的结构示意图。如图2所示，压力计组件20包括传输管道201，第一气动阀203，第一气动阀203的一端与传输管道201连接，第一压力计204，第一压力计204与第一气动阀203的另一端连接，且第一压力计204在第一气动阀203开启时与传输管道201连通。
本实施例中，第一压力计204至传输管道口202的转角数量为两个，其中第一压力计204与第一气动阀203间有一个转角，第一气动阀203与传输管道口202间有一个转角。相对于现有技术而言，第一压力计204至传输管道口202的转角数量减少了一个。
请参阅图3，图3是本申请提供的压力计组件第二实施方式的结构示意图。如图3所示，压力计组件30包括传输管道301，第一气动阀304，第一气动阀304的一端与传输管道301连接，第一压力计303，第一压力计303与第一气动阀304的另一端连接，且第一压力计303在第一气动阀304开启时与传输管道301连通。
本实施例中，第一压力计303的最大测量值为0.1托。第一压力计303至传输管道口302共有两个转角，其中第一压力计303与第一气动阀304间有一个转角，第一气动阀304与传输管道301间有一个转角。相对于现有技术而言，本申请的第一压力计303至传输管道口302的转角数量减少了一个，从而降低堵塞程度，进而提升第一压力计303的精度以及刻蚀得到的产品的质量。
进一步地，压力计组件30还包括第二气动阀306与第二压力计305，第二气动阀306的一端与传输管道301连接，另一端与第二压力计305连接，且第二压力计305在第二气动阀306开启时与传输管道301连通。本实施例中，第二压力计305的最大测量值为2托。传输管道口302与真空干刻蚀腔(图3中未示出)连接，通过第一压力计303和第二压力计305来检测真空干刻蚀腔内的压力大小，第一压力计303在真空度高的情形下使用，第二压力计305在真空度低的情形下使用，附着在压力计组件30内的生成物对第一压力计303的影响大于对第二压力计305的影响。同理可得到，第二压力计305至传输管道口302的转角数量为两个，相对于现有技术而言，第二压力计305至传输管道口302的转角数量也减少了一个。
在本实施例中，压力计组件30还包括大气真空检测计309，大气真空检测计309与传输管道301连接。在对真空干刻蚀装置进行维修保养时，大气真空检测计309用于检测判断真空干刻蚀腔内的气压为一个大气压的情形，还是为真空状态的情形。
在本实施方式中，压力计组件30还包括第三气动阀308以及安装在第三气动阀308上的底压漏率测量计307，第三气动阀308与传输管道301连接。在对真空干刻蚀装置进行维修保养时，底压漏率测量计307用于检测判断真空干刻蚀腔是否漏气。
在本具体实施方式中，传输管道301的形状为圆柱状，且传输管道301的直径为40毫米，在其他实施方式中，传输管道301也可以为其他情形，例如可以为长方体形状、圆台形状，本申请在此不做具体限定。
在一具体实施方式中，传输管道301的材质为合金。
本本具体实施方式中，第一气动阀304、第二气动阀306、第三气动阀308间隔设置在传输管道301的同一直线上。在其他具体实施方式中，也可以进行其他方式的设置，本申请在此不作具体限定。
请参阅图4，图4是本申请提供的压力计组件第三实施方式的结构示意图。如图4所示，压力计组件40包括传输管道401，第一气动阀404，第一气动阀404的一端与传输管道401连接，第一压力计403，第一压力计403与第一气动阀404的另一端连接，且第一压力计403在第一气动阀404开启时与传输管道401连通。本实施例中，第一压力计403的最大测量值为0.1托。第一压力计403至传输管道口402共有两个转角，其中第一压力计403与第一气动阀404间有一个转角，第一气动阀404与传输管道401间有一个转角。相对于现有技术而言，本申请的第一压力计403至传输管道口402的转角数量减少了一个，从而降低堵塞程度，进而提升第一压力计403的精度以及刻蚀得到的产品的质量。
本实施方式与上一实施方式的不同之处在于，本实施方式中还包括一传输支管410，第二气动阀406的一端与传输支管410连接，第二气动阀406的另一端与第二压力计405连接，且传输支管410与传输管道401连接并导通，从而使第二气动阀406与传输管道401连接。同理能得到第二压力计405至传输管道口402共有两个转角。
在本实施方式中，压力计组件40还包括大气真空检测计407和底压漏率测量计408，大气真空检测计407与传输管道401连接，底压漏率测量计408与第三气动阀409的一端连接，第三气动阀409的另一端与传输管道401连接。
本具体实施方式中，第一气动阀404、第三气动阀409、大气真空检测计407与传输管道401连接，第二气动阀406与传输支管410连接，且传输支管410与传输管道401连接并导通。在其他具体实施方式中，也可以只将第一气动阀404设置为与传输管道401连接，将第三气动阀409、大气真空检测计407、第二气动阀406设置为与传输支管410连接，且传输支管410与传输管道401连接并导通；或者将第一气动阀404、第二气动阀406设置为与传输管道401连接，将第三气动阀409、大气真空检测计407设置为与传输支管410连接，且传输支管410与传输管道401连接并导通；也或者将第一气动阀404、第二气动阀406、第三气动阀409设置为与传输管道401连接，将大气真空检测计407设置为与传输支管410连接，且传输支管410与传输管道401连接并导通；还或者将第一气动阀404、第二气动阀406、大气真空检测计407设置为与传输管道401连接，将第三气动阀409设置为与传输支管410连接，且传输支管410与传输管道401连接并导通。
本具体实施方式中，设置了传输管道401与一个传输支管410，在其他实施方式中，也可以设置传输管道401与更多数量的传输支管410，比如设置传输管道401与两个传输支管，且两个传输支管均与传输管道401连接并导通，本申请在此不作具体限定。
本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的压力计组件包括传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。通过将第一气动阀的一端与传输管道连接，另一端与第一压力计连接，能够降低与压力计连接的管道的转角数量，从而降低堵塞程度，进而提升压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。
本申请还提供一种真空干刻蚀装置，该真空干刻蚀装置包括压力计组件。
请参阅图5，图5是本申请提供的真空干刻蚀装置一实施方式的结构示意图。如图5所示，真空干刻蚀装置50包括真空干刻蚀腔501以及设置在真空干刻蚀腔501上的压力计组件502和电动阀503。其中，压力计组件502设置在真空干刻蚀腔501的侧壁上，电动阀503设置在真空干刻蚀腔501的下底部。压力计组件502包括：传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。其中，传输管道的传输管道口与真空干刻蚀腔501的侧壁连接。
现有技术中，压力计组件中的第一压力计至传输管道口共有三个转角，转角数量越多越容易造成堵塞，过多的生成物附着在第一压力计的弹片上会影响压力计的精度，使第一压力计频繁出现偏移、压力不稳定的情形，从而使电动阀503的开口度不稳定，进而使真空干刻蚀腔501内的气压不稳定，影响产品的质量。当真空干刻蚀腔501内的气压不稳定使腔内的气压偏大时，造成刻蚀得到的金属线的线宽偏细，容易出现断线的情形。
在一具体实施方式中，通过传输管道口进入到真空干刻蚀腔501内的气体包含氧气、氯气；电动阀503开启时能通过电机将真空干刻蚀腔501内的生成物抽出到腔外。
本申请的第一压力计至传输管道口的转角数量减少为两个，能降低堵塞程度，从而提升第一压力计的精度，提高了第一压力计和电动阀开口度的稳定程度，进而刻蚀得到所需线宽的金属线。
本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的压力计组件包括传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。通过将第一气动阀的一端与传输管道连接，另一端与第一压力计连接，能够降低与压力计连接的管道的转角数量，从而降低堵塞程度，进而提升压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。
显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。