一种全方向滑觉传感器的制作方法

文档序号:15969218发布日期:2018-11-16 23:22阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种全方向滑觉传感器,包括上部结构和下部结构,上部结构为一带有圆环形裙边的圆柱形结构,上部结构的材料为柔性材料,裙边的下表面上设有上电极,下部结构包括压阻薄膜、多个下电极和将压阻薄膜及多个下电极覆盖的绝缘薄膜,多个下电极围绕于压阻薄膜的外侧并间隔分布,压阻薄膜位于多个下电极围绕的中心,圆柱形结构的下表面对准压阻薄膜,传感器受到剪切力作用时,上部结构向力的方向倾斜,使得上电极与下部的绝缘薄膜接触,从而上电极与绝缘薄膜下方的下电极感应出电信号,传感器受到法向压力作用时,压阻薄膜在法向上发生形变,从而其自身电阻值随之改变。该滑觉传感器不仅能识别任意方向上的滑动,还能测量滑动的速度和剪切力大小。

技术研发人员:张旻;肖聿翔;梁家铭;钱翔;董瑛;王晓浩
受保护的技术使用者:清华大学深圳研究生院
技术研发日:2018.06.15
技术公布日:2018.11.16
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