技术总结
本发明公开了光栅集成精度的测量装置及方法、平面光栅尺测量系统，测量装置包括光束发生及接收单元、光束调整单元和集成光栅；光束调整单元包括平行分光镜和反射分光棱镜；反射分光棱镜包括透反平面和反射平面；集成光栅包括参考光栅和待测光栅；光束发生及接收单元发出光束并确定参考光栅和待测光栅的俯仰角、偏转角和旋转角；平行分光镜将光束分成两束平行光束；透反平面和反射平面将两束平行光束反射至参考光栅和待测光栅并将零级反射光束和一级衍射光束反射至平行分光镜。本发明可以提供相距较远的两束平行光，实现大间距光栅集成精度测量；还可在一套测量装置中，同时检测参考光栅和待测光栅的俯仰角、偏转角和旋转角。
技术研发人员：吴萍
受保护的技术使用者：上海微电子装备(集团)股份有限公司
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2020.01.14