用于制造测量流体压力的压力传感器装置的方法和压力传感器装置与流程

文档序号:16979440发布日期:2019-02-26 19:21阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提出一种用于制造用于测量流体压力的压力传感器装置的方法,其中,方法包括以下步骤:提供压力单元,该压力单元具有用于接收要测量其压力的流体的压力通道和金属膜片、尤其是钢膜片,其中,金属膜片至少在一侧上限界压力通道;将玻璃元件引入到压力单元的凹口中,其中,凹口构造在金属膜片的背离压力通道的一侧上,而不使玻璃元件与金属膜片材料锁合地连接;将用于确定压力通道中的流体压力的应变测量设备和/或用于确定压力通道中的流体压力的半导体元件布置在玻璃元件上;和加热玻璃元件以使玻璃元件与金属膜片材料锁合地连接并且使应变测量设备和/或半导体元件与玻璃元件材料锁合地连接。

技术研发人员:D·埃特;P·布雷乌辛;R·文克
受保护的技术使用者:罗伯特·博世有限公司
技术研发日:2018.08.03
技术公布日:2019.02.26
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