技术特征：
技术总结
本发明提供了一种MEMS压力传感器模组，涉及压力传感技术领域。该MEMS压力传感器模组包括基板与多个压力传感单元，多个压力传感单元均安装于基板上，且基板与每个压力传感单元的对应的位置均设置有应变空腔，基板用于在受到外力时发生形变。本发明提供的MEMS压力传感器模组具有可以同时测量微小尺度下的多个面压力值，而且集成处理电路，减少电路安装体积的效果。
技术研发人员：解渤;尉长虹
受保护的技术使用者：博脉有限公司
技术研发日：2018.09.10
技术公布日：2019.01.11