基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置及成像方法与流程

文档序号:16477111发布日期:2019-01-02 23:43阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及光电子技术领域,提供一种基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置及采用该光学相干层析成像装置的基于数字微镜设备的光学相干层析成像方法,包括宽带光源、光纤耦合器、参考臂、样品臂、微镜控制机、探测器以及计算机,光纤耦合器用以接收所述宽带光源发出的光并将其分成参考光和样品光,样品臂包括用于反射样品光的数字微镜设备,该数字微镜设备具有上百万个微小的反射镜,每一反射镜均扫描完成后即可得到样品的三维信息;该结构简单易实现,避免了利用光学扫描头产生的扫描误差,通过数字微镜设备的纯数字化信号控制,提高了样品扫描成像结果的稳定性和精确度;光学相干层析成像方法控制简单易操作,样品成像效率高。

技术研发人员:苏胜飞
受保护的技术使用者:深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司
技术研发日:2018.09.30
技术公布日:2019.01.01
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