一种用于低温等离子体电位诊断的探针系统的制作方法

文档序号:17182413发布日期:2019-03-22 21:01阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种探针系统,尤其涉及用于低温等离子体电位诊断的探针系统,属于低温等离子体参量诊断设备领域。本发明包括:金属丝、绝缘套、金属柱、导线、取样电阻、示波器和直流稳压电源。绝缘套上开设两个通道,通道用于固定安装金属柱;然后通过金属丝将两个金属柱导通;金属柱另一端通过导线连接到直流稳压电源以及两个取样电阻;两个取样电阻串联后与直流稳压电源并联;示波器的测量探头安装在两个串联取样电阻的中心位置。本发明利用低温等离子体与金属设备接触过程中的等离子体鞘层现象和并联电路的对称性,实现低温等离子体电位的实时、快速和准确测量。

技术研发人员:郭宁;夏启蒙;谢侃;谷增杰;张尊;秦宇
受保护的技术使用者:北京理工大学;兰州空间技术物理研究所
技术研发日:2018.10.18
技术公布日:2019.03.22
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