技术特征：
技术总结
本发明揭露一种表面平坦度测量装置及方法，通过激光非接触式测量，测量精度可达到0.001mm，测量精度高，重复测量误差可控制在3um以内，测量误差小，避免了现有技术采用人工手动测量所造成的测量精度低、测量误差大的问题。同时，本发明测量数据可以自动记录和保存，可进行大批次待测板的测量，避免了现有技术测量数据需要人工手动记录，测量数据无法上传的问题。
技术研发人员：张进朋
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2018.11.22
技术公布日：2019.02.15