一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统的制作方法

本发明涉及一种阀门的检测系统，尤其涉及一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统。

背景技术：

在半导体和光伏组件的制造过程中，需要用到真空阀门。由于半导体以及光伏组件的制造的过程中对真空阀门的要求非常高，除了一些常规的要求（如尺寸、密封、抗冲击等）外，对真空阀门在工作过程中的粒子脱落量也有一定的要求，如果粒子脱落量较多，就会影响到整个半导体以及光伏组件的质量。因此，需要对真空阀门进行粒子脱落量进行检测，而目前却没有对真空阀门进行粒子脱落量检测的现有技术。由于不存在相关检测现有技术，对真空阀门制造方来讲，无法知道自己生产的真空阀门的粒子脱落量数据，无法向购买方保证自己生产的真空阀门的质量；而对真空阀门的购买方来说，在购买时，并不知道真空阀门在粒子脱落量方面的检测数据，不知道孰优孰劣，无从选择。如果购买方买到不符合要求的真空阀，应用到半导体和光伏组件生产中，可能影响到半导体和光伏组件的质量。因此，开发出一种检测真空阀门粒子脱落量的系统显得尤为重要，以便双方能够准确了解到真空阀门的粒子脱落量数据，解决了由于真空阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。

技术实现要素：

本发明的目的就是提供一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，通过该系统能够检测阀门工作过程中粒子脱落的数量，以便阀门的生产方和购买方能够准确了解到阀门的粒子脱落量数据，解决了由于阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，其特征在于：包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器，所述真空装置包括腔体和抽真空装置，腔体至少连接有三根管路，一根为气体通入管路，一根为出口管路，最后一根为抽真空管路，抽真空管路连接抽真空装置，气体通入管路连接气体通入装置，出口管路连接粒子计数器，气体通入装置通过支管路与粒子计数器相连，待测阀门驱动装置与待测阀门相连，待测阀门驱动装置驱动待测阀门开启和关闭，待测阀门放置在腔体内，所述气体通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安装有阀门。

所述出口管路上还安装有高压扩散器。

所述待测阀门驱动装置驱动待测阀门在腔体内进行开启和关闭动作，驱动装置采用气缸、油缸或者其他机械结构，只要能驱动待测阀门开启和关闭即可，为现有结构，也不是本发明的发明构思，因此，在此不再赘述。

所述气体通入装置包括空压机、干燥器、过滤器、减压阀和气体流量计，空压机与干燥器相连，干燥器与过滤器相连，过滤器与减压阀相连，减压阀与气体流量计相连，气体流量计与腔体相连。

所述腔体包括底板、固定夹板法兰、活动夹板法兰、定位块和活动夹紧装置，固定夹板法兰和活动夹板法兰安装在底板上，固定夹板法兰和活动夹板法兰紧靠在待测阀门的正反两面，定位块和活动夹紧装置安装在底板上，定位块和活动夹紧装置紧靠在待测阀门的两侧面，固定夹板法兰和活动夹板法兰上均设置有内凹槽和通气孔，通气孔与内凹槽相连通，待测阀门的通槽与固定夹板法兰和活动夹板法兰上的内凹槽形成空腔。

所述固定夹板法兰与待测阀门的相接处，所述活动夹板法兰与待测阀门的相接处均采用密封圈密封。

所述底板铣出l形凸台，所述固定夹板法兰紧靠在l形凸台上，为待测阀门提供正反面的安装基准，所述定位块紧靠在l形凸台上，为待测阀门提供侧面安装基准。

所述底板上还安装有垫块，垫块位于待测阀门下方。通过垫块的作用，可以调节阀门的上下安装高度，同时与阀门底部配合，对阀门起到一个限位作用。

所述固定夹板法兰、活动夹板法兰上均安装有转接法兰，转接法兰与固定夹板法兰和活动夹板法兰的通气孔相连通。通过转接法兰的作用与气体通入装置、抽真空装置和粒子计数器相连。

所述固定夹板法兰与待测阀门，活动夹板法兰与待测阀门的侧面通过卡钳螺栓固紧。

所述固定夹板法兰和活动夹板法兰为l形板，固定夹板法兰通过螺栓固定在底板上，活动夹板法兰通过螺栓安装在底板上，底板上的螺栓孔为条形孔，通过调节螺栓在条形孔内的位置来调节活动夹板法兰的位置，从而紧靠在待测阀门上。为了提供固定夹板法兰和活动夹板法兰的强度，所述固定夹板法兰和活动夹板法兰通过设置加强筋板和点焊缝隙的方式来实现。

所述定位块为l形板，通过定位销和螺栓固定在底板上。

所述活动夹紧装置包括l形板、移动板和移动螺栓，l形板通过定位销和螺栓固定在底板上，移动板连接在移动螺栓上，移动螺栓穿过l形板，与l形板螺接。

腔体还可以是如下结构：

其包括基板、阀头定位板、阀尾定位板、活动压紧装置、进气法兰管、出气法兰管、进气转接法兰、出气转接法兰和待测阀门，进气法兰管和出气法兰管分别安装在待测阀门两端，待测阀门与进气法兰管以及与出气法兰管之间密封连接，阀头定位板和阀尾定位板安装在基板上，待测阀门卡在阀头定位板和阀尾定位板内，通过阀头定位板和阀尾定位板的作用，能够防止待测阀门左右和前后晃动，所述活动压紧装置安装在基板上，待测阀门卡在活动压紧装置内，通过活动压紧装置能够防止待测阀门上下晃动，所述进气法兰管和出气法兰管为变径法兰管，变径法兰管为圆锥形，可以有效避免吹气时脱落粒子滞留在真空腔体内表面，使得到的试验结果更准确，所述进气法兰管的大端连接在待测阀门上，小端与进气转接法兰相连，所述出气法兰管的大端连接在待测阀门上，小端与出气转接法兰相连，所述进气法兰管、出气法兰管、进气转接法兰、出气转接法兰和待测阀门中空，所述抽真空装置与出气转接法兰相连通，或者与进气转接法兰相连通。

所述阀头定位板包括l形限位板，l形限位板设置有凸起，待测阀门设置有凹槽，待测阀门装配在阀头定位板中后，凸起伸入到凹槽内，l形限位板安装在基板上。

所述阀尾定位板包括一块平板和一块槽形板，槽形板垂直连接平板上，平板在安装在基板上，槽形板的两侧安装有紧固螺栓，待测阀门安装在槽形板中，通过紧固螺栓进行紧固定位，防止前后上下晃动。

所述活动压紧装置包括限位板、限位螺杆和限位螺母，限位螺杆一端安装在基板上，限位板套接在限位螺杆上，限位螺母套接在限位螺杆上，限位板位于限位螺母下方，待测阀门位于限位板下方。

抽真空装置包括真空分子泵和真空干泵，真空分子泵和真空干泵通过管路连接在出气转接法兰或者进气转接法兰上。

本发明还提供了利用上述系统进行检测阀门粒子脱落数量的方法，具体包括如下步骤：

步骤1，将待测阀门放入一个腔体内，然后开启待测阀门，对腔体抽真空；

步骤2，驱动待测阀门在腔体内进行开启和关闭动作，在待测阀门开启和关闭动作的次数达到指定次数后，即可停止，停止后，待测阀门处于开启状态；

步骤3，在腔体上连接一个气体通入装置和一个已经清零的粒子计数器，气体通入装置通过管路与粒子计数器相连；

步骤4，先通过气体通入装置将气体通入到已经清零的粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字a，然后将粒子计数器清零后，通过气体通入装置向腔体内通入同样流量的气体，气体进入腔体后再进入到粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字b，计算出粒子脱落数量c=b-a；或者先通过气体通入装置向腔体内通入气体，气体进入腔体后再进入到粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字a1，然后将粒子计数器清零后，通过气体通入装置将同样流量的气体通入到已经清零的粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字b1，计算出粒子脱落数量c1=a1-b1。

步骤1中，对腔体抽真空的真空度是根据待测阀门实际工作环境的真空度来确定的。

步骤1中，抽真空的过程中，采用两次抽真空的方式来达到真空度的要求，第一次用真空干泵抽真空，第二次用真空干泵和真空分子泵联合抽真空，第一次抽真空抽到真空分子泵的工作压强范围内后即可启动真空分子泵。

步骤2中，所述指定次数是根据待测阀门在实际工作环境中，需要开启和关闭的次数来确定的。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、本发明包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器，所述真空装置包括腔体和抽真空装置，腔体至少连接有三根管路，一根为气体通入管路，一根为出口管路，最后一根为抽真空管路，抽真空管路连接抽真空装置，气体通入管路连接气体通入装置，出口管路连接粒子计数器，气体通入装置通过支管路与粒子计数器相连，待测阀门驱动装置与待测阀门相连，待测阀门驱动装置驱动待测阀门开启和关闭，待测阀门放置在腔体内，所述气体通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安装有阀门。首先将腔体抽真空，模拟待测阀门的工作环境，然后让阀门开启和关闭，让阀门开启和关闭的次数达到待测阀门实际的工作次数后，阀门工作过程中脱落的粒子掉落在腔体内，然后通过粒子计数器对脱落的粒子进行计数。其计算原理为用气体将脱落的粒子吹入到粒子计数器中进行计数，然后将同样流量的气体吹入到粒子计数器中计数，两者比较就可以得出脱落粒子的数量。其检测原理简单，易于操作，能够准确的测出待测阀门在实际的工作过程中粒子的脱落量。通过本发明提供的系统能够测出阀门在实际工作过程中粒子的脱落量，能够让阀门的生产法和购买方知道阀门的在实际的工作过程中的粒子脱落量数据，既能够让生产方了解其阀门的质量，又能够让购买方了解阀门的质量，避免购买方购买到不符合要求的阀门，而造成制造出来的产品质量受到影响。同时也能够为生产方销售阀门提供营销数据，利于生产方销售相关阀门。

2、本发明对腔体抽真空的真空度是根据待测阀门实际工作环境的真空度来确定的。抽真空的过程中，采用两次抽真空的方式来达到真空度的要求，第一次用真空干泵抽真空，第二次用真空干泵和真空分子泵联合抽真空，指定次数是根据待测阀门在实际工作环境中，需要开启和关闭的次数来确定的。通过这样的控制能够保证本检测方法完全模拟的待测阀门的实际工况，产生的数据更加精确，不会与实际阀门工作时粒子脱落量数据有较大偏差。采用两次抽真空是为了保证真空度的要求。

3、本发明气体通入装置包括空压机、干燥器、过滤器、减压阀和气体流量计，空压机与干燥器相连，干燥器与过滤器相连，过滤器与减压阀相连，减压阀与气体流量计相连，气体流量计与腔体相连。气体压缩装置的具体结构是为了保证气体通入到腔体和粒子计数器中的流量一直，而且对气体进行了过滤处理，避免其他颗粒物影响计数的准确性，其目的也是为了保证检测数据的准确性。

4、本发明在气体通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安装有阀门，通过阀门的控制能够保证腔体与气体通入装置以及粒子计数器的接通和断开，保证腔体的真空度。通过这些结构的连接，能够使得同样的气体进入到腔体和粒子计数器中，保证粒子计数器计数的准确性。

5、本发明腔体包括底板、固定夹板法兰、活动夹板法兰、定位块和活动夹紧装置，固定夹板法兰和活动夹板法兰安装在底板上，固定夹板法兰和活动夹板法兰紧靠在待测阀门的正反两面，定位块和活动夹紧装置安装在底板上，定位块和活动夹紧装置紧靠在待测阀门的两侧面，固定夹板法兰和活动夹板法兰上均设置有内凹槽和通气孔，通气孔与内凹槽相连通，待测阀门的通槽与固定夹板法兰和活动夹板法兰上的内凹槽形成空腔。腔体通过这种结构的设计能够充分保证空腔密闭，能够形成真空，而且仅有空腔形成真空即可，抽真空要求较低，易于控制，而且能够准确模拟出阀门工作的真空环境，形成的腔体也便于收集粒子。

6、本发明定位夹板与待测阀门，活动夹板与待测阀门的侧面通过卡钳螺栓固紧。卡钳螺栓能够进一步保证定位夹板与待测阀门，活动夹板与待测阀门连接更加紧密，不会漏气，保证密闭环境。

7、本发明固定夹板法兰和活动夹板法兰为l板，固定夹板法兰通过定位销固定在底板上，活动夹板法兰通过螺栓固定在底板上，底板上的螺栓孔为条形孔。通过这样的结构设计能够使得固定夹板法兰和活动夹板法兰牢牢的紧固在待测阀门上，避免出现漏气的现象。

8、本发明活动夹紧装置包括l形板、移动板和移动螺栓，l形板通过定位销固定在底板上，移动板连接在移动螺栓上，移动螺栓穿过l形板，与l形板螺接。通过调节移动螺栓能够调节移动板使得能够紧紧的夹紧待测阀门。

9、本发明腔体包括基板、阀头定位板、阀尾定位板、活动压紧装置、进气法兰管、出气法兰管、进气转接法兰、出气转接法兰和待测阀门，进气法兰管和出气法兰管分别安装在待测阀门两端，待测阀门与进气法兰管以及出气法兰管之间密封连接，阀头定位板和阀尾定位板安装在基板上，待测阀门卡在阀头定位板内，待测阀门卡在阀尾定位板内，通过阀头定位板和阀尾定位板的作用，能够防止待测阀门左右和前后晃动，所述活动压紧装置安装在基板上，待测阀门卡在活动压紧装置内，通过活动压紧装置能够防止待测阀门上下晃动，所述进气法兰管和出气法兰管为变径法兰管，所述进气法兰管的大端连接在待测阀门上，小端与进气转接法兰相连，所述出气法兰管的大端连接在待测阀门上，小端与出气转接法兰相连，所述进气法兰管、出气法兰管、进气转接法兰、出气转接法兰和待测阀门中空，所述抽真空装置与出气转接法兰相连通，或者与进气转接法兰相连通。腔体通过这种结构的设计能够充分保证空腔密闭，能够形成真空，能够准确模拟出阀门工作的真空环境，形成的腔体也便于收集粒子。由于进气法兰管和出气法兰管为变径法兰管，有利于脱落粒子吹入到粒子计数器中，计数更加准确，通过阀头定位板和阀尾定位板对腔体进行定位，防止待测阀门在开启关闭动作过程中，晃动而造成漏气，失去真空环境，通过活动压紧装置对腔体进行上下限位，也是为了防止腔体上下晃动造成漏气。

10、本发明阀头定位板包括l形限位板，l形限位板设置有凸起，待测阀门设置有凹槽，待测阀门装配在阀头定位板中后，凸起伸入到凹槽内，l形限位板安装在基板上。通过凸起和凹槽的配合，不仅能够对腔体进行定位，还具有左右和前后限位的作用。

11、本发明阀尾定位板包括一块平板和一块槽形板，槽形板垂直连接平板上，平板在安装在基板上，槽形板的两侧安装有紧固螺栓，待测阀门安装在槽形板中，通过紧固螺栓进行紧固定位，防止前后上下晃动。通过控制紧固螺栓能够对待测阀门进行紧固，避免待测阀门在开启和关闭的过程中晃动，造成漏气，能够对待测阀门进行前后山下和左右方向的限位，全方位限位。

12、本发明活动压紧装置包括限位板、限位螺杆和限位螺母，限位螺杆一端安装在基板上，限位板套接在限位螺杆上，限位螺母套接在限位螺杆上，限位板位于限位螺母下方，待测阀门位于限位板下方。通过限位板对待测阀门进行上下位置限位，也是避免待测阀门晃动造成漏气。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为实施例3腔体与待测阀门配合的外形结构示意图；

图3为图2的爆炸结构示意图；

图4为图2的纵剖结构示意图；

图5为活动夹紧装置结构示意图；

图6为待测阀门结构示意图；

图7为活动夹板法兰结构示意图；

图8为实施例4腔体的结构示意图；

图9为图8的俯视图；

图10为图9的a处放大图。

附图标记

1、待测阀门，2、腔体，21、垫块，22、底板，23、固定夹板法兰，24、活动夹板法兰，25、定位块，26、活动夹紧装置，27、内凹槽，28、通气孔，29、通槽，210、空腔,211、转接法兰，212、卡钳螺栓，213、加强筋板，214、l形板，215、移动板，216、移动螺栓，201、进气夹板法兰，202、出气夹板法兰，203、进气转接法兰，204，出气转接法兰，205、基板，206、左定位块，207、右定位块，208、上下限位装置，3、抽真空装置，31、真空分子泵，32、真空干泵，4、气体通入装置，41、空压机，42、干燥器，43、过滤器，44、减压阀，45、气体流量计，5、粒子计数器，6、阀门ⅰ,61、阀门ⅱ，62、阀门ⅲ，63、阀门ⅳ，7、高压扩散器，8、待测阀门驱动装置。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明作进一步的描述，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的其他所用实施例，都属于本发明的保护范围。

实施例1

本实施例提供了一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，其包括真空装置、待测阀门1、待测阀门驱动装置8、气体通入装置4和粒子计数器5，所述真空装置包括腔体2和抽真空装置3，腔体2连接有三根管路，其中一根为气体通入管路，其中一根为出口管路，最后一根为抽真空管路，抽真空管路连接抽真空装置3，气体通入管路连接气体通入装置4，出口管路连接粒子计数器5，气体通入装置4通过支管路与粒子计数器5相连，待测阀门驱动装置8与待测阀门1相连，待测阀门驱动装置8驱动待测阀门1开启和关闭，待测阀门1放置在腔体2内，所述气体通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安装有阀门，分别为阀门ⅰ6、阀门ⅲ62、阀门ⅳ63和阀门ⅱ61。

所述待测阀门驱动装置8驱动待测阀门在腔体内进行开启和关闭动作，驱动装置采用气缸、油缸或者其他机械结构，只要能驱动待测阀门开启和关闭即可。

所述气体通入装置包括空压机41、干燥器42、过滤器43、减压阀44和气体流量计45，空压机41与干燥器42相连，干燥器42与过滤器43相连，过滤器43与减压阀44相连，减压阀44与气体流量计45相连，气体流量计45与腔体2相连。

所述抽真空装置3包括真空分子泵31和真空干泵32，真空分子泵31和真空干泵32连接在抽真空管路上。

所述腔体2包括底板22、固定夹板法兰23、活动夹板法兰24、定位块25和活动夹紧装置26，固定夹板法兰23、活动夹板法兰24、定位块25和活动夹紧装置26固定在底板22上，固定夹板法兰23和活动夹板法兰24紧靠在待测阀门1（图2中示意的是待测阀门的壳体，为了简便并没有绘制内部结构图）的正反两面（图中的a、b面）实现对待测阀门1的正反面的固定，定位块25和活动夹紧装置26紧靠在待测阀门1的两侧，实现对待测阀门1的两侧固定，固定夹板法兰23和活动夹板法兰24上均设置有内凹槽27和通气孔28，通气孔28与内凹槽27相连通，待测阀门1的通槽29与固定夹板法兰23和活动夹板法兰24上的内凹槽27形成空腔210。

所述固定夹板法兰23、活动夹板法兰24上均安装有转接法兰211，转接法兰211与固定夹板法兰23和活动夹板法兰24的通气孔28相连通。转接法兰211分别连接气体通入装置4、抽真空装置3和粒子计数器5相连。

所述固定夹板法兰23与待测阀门1，活动夹板法兰24与待测阀门1的侧面通过卡钳螺栓212固紧。

所述固定夹板法兰23和活动夹板法兰24为l形板，固定夹板法兰23固定在底板22上，活动夹板法兰24通过螺栓固定在底板22上，此处的螺栓孔为条形孔。设置的条形孔主要是为了让螺栓可以在条形孔内活动，以便调节活动夹板法兰的位置，保证活动夹板法兰24和固定夹板法兰23将待测阀门1的壳体卡紧。

所述固定夹板法兰23和活动夹板法兰24上设置有加强筋板213。

所述定位块25为l形板，通过螺栓固定在底板22上。

所述活动夹紧装置26包括l形板214、移动板215和移动螺栓216，l形板214通过固定在底板22上，移动板215连接在移动螺栓216上，移动螺栓216穿过l形板214，与l形板214螺接。

所述固定夹板法兰23与待测阀门1的相接处，所述活动夹板法兰24与待测阀门1的相接处均采用密封圈密封。

所述底板22设置l形凸台，所述固定夹板法兰紧靠在l形凸台上，为待测阀门提供正反面的安装基准，所述定位块紧靠在l形凸台上，为待测阀门提供侧面安装基准。

所述底板22上还安装有垫块21，垫块21位于待测阀门1下方。

实施例2

本实施例提供的检测阀门工作过程中粒子脱落数量的方法具体为（为了便于阐述，结合图1进行说明）：

步骤1：在腔体2上连接气体通入装置4、抽真空装置3和粒子计数器5，待测阀门1插入到腔体2内，待测阀门1连接阀门驱动装置8，阀门驱动装置8驱动待测阀门1开启和关闭；在气体通入装置4与腔体的连接管路上安装阀门ⅰ6，在气体通入装置4与粒子计数器5相连的管路上安装阀门ⅱ61，在粒子计数器5与腔体2相连的管路上安装阀门ⅲ62，在抽真空装置3与腔体相连的管路上安装阀门ⅳ63；首先关闭阀门ⅰ6、阀门ⅱ61、阀门ⅲ62，打开阀门ⅳ63，控制阀门驱动装置8开启待测阀门1，启动真空干泵32对腔体2抽真空，待压强达到真空分子泵31的工作范围内后，关闭真空干泵32，启动真空分子泵抽31真空，直到达到要求的真空度为止（根据待测阀门的实际工作环境的真空度来定），然后关闭阀门ⅳ63。

步骤2：步骤1完成后腔体2便达到待测阀门1（如真空插板阀）所需的检测条件，待测阀门1开始在腔体2内进行开关运动。待测阀门1通过驱动装置可实现待测阀门1的开启和关闭动作。在真空插板阀运动到指定次数后即可停止，停止时，阀门处于开启状态。

步骤3：使用粒子计数器5自带的高效过滤器清零装备对进行清零处理操作。清零操作完成后，打开阀门ⅱ61，使气体流量计45和高压扩散器7连通。然后将气体依次通过空压机41、干燥器42、过滤器43、减压阀44、气体流量计45、阀门ⅱ61、高压扩散器7和粒子计数器5。粒子计数器5所测得数据为经过气体流量计45后的气体中的颗粒粒径及对应的数目，记录下粒子计数器5显示的数字a。

步骤4：步骤3完成后，再次对粒子计数器5采用同样方法进行清零处理，然后关闭阀门ⅱ61，打开阀门ⅰ6和阀门ⅲ62，使得腔体2与高压扩散器7连通，然后再次将气体一次通过空压机41、干燥器42、过滤器43、减压阀4、气体流量计5、阀门ⅰ6、腔体2、阀门ⅲ62、高压扩散器7和粒子计数器5。使得通入气体流量和步骤3中通入的气体流量一致，粒子计数器5所测得数据b和步骤3中粒子计数器测得的数据进行比较即可得到腔体中待测阀门1实际掉落颗粒粒径及对应的数量c=a-b。

实施例3

本实施例与实施例2基本相同，不同的是先通过气体通入装置4向腔体2内通入气体，气体进入腔体2后再进入到粒子计数器5中计数，记录下粒子计数器显示的数字a1，然后将粒子计数器清零后，通过气体通入装置将同样流量的气体通入到已经清零的粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字b1，计算出粒子脱落数量c1=a1-b1。

实施例4

本实施例与实施例1基本相同，不同的是，本实施例对腔体的结构进行了进一步限定，腔体2的具体结构为：其包括基板205、阀头定位板206、阀尾定位板207、活动压紧装置208、进气法兰管201、出气法兰管202、进气转接法兰203、出气转接法兰204和待测阀门1，进气法兰管201和出气法兰管202分别安装在待测阀门1两端，待测阀门1与进气法兰管201以及出气法兰管202之间密封连接，阀头定位板206和阀尾定位板207安装在基板205上，待测阀门1卡在阀头定位板206和阀尾定位板207内，通过阀头定位板206和阀尾定位板207的作用，能够防止待测阀门1和前后晃动，所述活动压紧装置208安装在基板205上，待测阀门1卡在活动压紧装置208内，通过活动压紧装置208能够防止待测阀门1上下晃动，所述进气法兰管201和出气法兰管202为变径法兰管，所述进气法兰管201的大端连接在待测阀门1上，小端与进气转接法兰203相连，所述出气法兰管202的大端连接在待测阀门1上，小端与出气转接法兰204相连，所述进气法兰管201、出气法兰管202、进气转接法兰203、出气转接法兰204和待测阀门1中空，抽真空装置3与出气转接法兰相连。

所述阀头定位板206包括l形限位板2061，l形限位板设置有凸起，待测阀门1设置有凹槽，待测阀门1装配在阀头定位板206中后，凸起伸入到凹槽内，l形限位板安装在基板上。

所述阀尾定位板207包括一块平板和一块槽形板，槽形板垂直连接平板上，平板在安装在基板上，槽形板的两侧安装有紧固螺栓，待测阀门安装在槽形板中，通过紧固螺栓进行紧固定位，防止前后上下晃动。

所述活动压紧装置208包括限位板、限位螺杆和限位螺母，限位螺杆一端安装在基板上，限位板套接在限位螺杆上，限位螺母套接在限位螺杆上，限位板位于限位螺母下方，待测阀门位于限位板下方。