用于超声结晶设备的温度检测电路的制作方法

文档序号:15061961发布日期:2018-07-31 22:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于超声结晶设备的温度检测电路,其特征在于,包括温度控制单元、电源和温度探头,所述温度探头测量的温度信号传输至温度控制单元,所述电源为温度控制单元提供直流电源,所述温度探头与温度控制单元之间设置滤波电路,所述滤波电路,包括运放器A1和运放器A2,所述运放器A1的反相输入端串联电阻R1和电容C1,所述电阻R1与电容C1之间的节点与地之间串联电阻R3,且该电阻R1与电容C1之间的节点与运放器A1的输出端之间串联电容C2,所述运放器A1的反相输入端与输出端之间串联电阻R2,所述运放器A1的同相输入端接地,所述运放器A1的输出端与运放器A2之间的同相输入端之间串联电阻R4和电阻R5,所述运放器A2的同相输入端与地之间串联电容C4,电阻R4和电阻R5之间的节点与运放器A2的反相输入端之间串联电容C3,所述运放器A2的反相输入端与输出端串联。

2.根据权利要求1所述的用于超声结晶设备的温度检测电路,其特征在于,所述电阻R1的电阻值为12KΩ,所述电阻R2的电阻值为62KΩ,所述电阻R3的电阻值为56KΩ,所述电阻R4的电阻值为24KΩ,所述电阻R5的电阻值为2KΩ。

3.根据权利要求1所述的用于超声结晶设备的温度检测电路,其特征在于,所述电容C1的电容值为10nF,所述电容C2的电容值为10nF,所述电容C3的电容值为200nF,所述电容C4的电容值为100nF。

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