一种连续检测式晶元片检测头的制作方法

文档序号:15522935发布日期:2018-09-25 20:06阅读:154来源:国知局

本实用新型涉及自动化检测技术领域,尤其涉及一种连续检测式晶元片检测头。



背景技术:

晶元(Wafer),是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片,也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元,晶元呈阵列排布,晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测,由于一个晶元片上存在成百上千个晶元,人工通过探针对每个晶元进行检测,工作量非常大,而且容易漏检;因此为了提高检测效率,目前都是通过检测设备自动检测,探针是晶元片检测设备上的重要部件,探针检测大量的晶元片后容易磨损,需要定期更换,目前检测头上的探针更换麻烦,而且频繁更换探针会降低检测效率。



技术实现要素:

本实用新型为了解决现有技术中存在的上述问题,提供了一种连续检测式晶元片检测头,该种检测头能延长探针更换周期,从而提高晶元片检测效率。

为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种连续检测式晶元片检测头,包括基板、与基板固定的连接柱,所述的基板的下侧面设有左侧板、右侧板,所述左侧板与右侧板之间设有水平的转轴,所述转轴的左端设有转动支架,所述转动支架的上端、下端均设有定位座,所述的定位座上均设有探针组件,所述的探针组件包括探针定位板、固定在探针定位板上的若干探针,所述探针定位板上设有接线座,每根探针均与接线座电连接,所述的基板上设有排线插座,所述的接线座与排线插座之间通过排线连接;所述转轴的右端设有外齿圈,所述基板上设有升降电缸,所述升降电缸的轴端设有与外齿圈啮合的齿条。

连接柱与检测设备机械连接,排线插座通过另一根排线与检测设备上的检测系统连接,两个定位座上都装上探针组件;检测时,位于转动支架下侧的探针组件与晶元片接触检测,位于转动支架上侧的探针组件闲置,当下侧的探针组件检测额定次数后(达到额定检测次数后该探针应当报废),此时停止检测,升降电缸轴端下降,齿条向下移动通过外齿圈带动转轴转动180度,从而继续进行检测,该过程只需要几秒钟就能完成;探针组件达到额定次数后,升降电缸复位,然后同时更换两个探针组件;该种晶元片检测头将探针更换周期延长了一倍,从而将停机更换探针的时间省去了一半,而且整体更换探针组件,比单独更换探针更加省力、省时。

作为优选,所述转动支架的右端固定有转盘,所述转盘的边缘处设有两个关于中心对称的限位孔,所述基板的底部设有水平电缸,所述水平电缸的轴端设有与限位孔同轴的限位销。探针组件正常工作时,水平电缸的轴端伸出,限位销插入限位孔内;当探针组件上的探针达到额定检测次数后,水平电缸的轴端缩入、限位销从限位孔内拔出,然后升降电缸轴端下降,待转盘转动180度后,水平电缸动作,从而将限位销再次插入限位孔内定位,从而有效的防止探针组件检测过程中转动支架发生偏转,进而确保检测精度。

作为优选,所述左侧板的左侧面上设有弧形限位槽,所述转盘的右侧面设有限位柱,所述限位柱的头部伸入弧形限位槽内;当限位柱位于弧形限位槽的两端时,所述的限位销与限位孔同轴。

作为优选,所述的定位座呈U形,定位座的两个相向的内侧面上均设有导向槽,导向槽的侧面设有橡胶垫片,导向槽的底面设有贯穿定位座外侧面的间隙,所述定位座的外端均设有锁紧螺栓。松开锁紧螺栓,探针定位板的两边卡入导向槽内,然后再拧紧螺栓,间隙变小,导向槽的两个侧壁夹紧探针定位板,从而对探针定位板进行定位,定位非常方便。

因此,本实用新型中,一个探针组件检测达到额定次数后,自动使用另一个探针组件,从而延长了探针组件的更换周期,缩短了停机更换探针的时间,进而提高晶元片的检测效率。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为图1的左视图。

图3为定位座的俯视图。

图4为图1中左侧板的左视图。

图5为图2中A处局部放大示意图。

图中:基板1、连接柱2、左侧板3、弧形限位槽30、右侧板4、转轴5、外齿圈50、转动支架6、定位座7、导向槽70、橡胶垫片71、间隙72、锁紧螺栓73、探针组件8、探针定位板80、探针81、接线座82、排线插座9、排线10、升降电缸11、齿条12、转盘13、限位孔130、限位柱131、水平电缸14、限位销15。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述:

如图1和图2所示的一种连续检测式晶元片检测头,包括基板1、与基板固定的连接柱2,基板的下侧面设有左侧板3、右侧板4,左侧板与右侧板之间设有水平的转轴5,转轴的左端设有转动支架6,转动支架与转轴固定连接,转轴与左侧板3、右侧板4转动连接,转动支架的上端、下端均设有定位座7,定位座上均设有探针组件8,探针组件包括探针定位板80、固定在探针定位板上的若干探针81,探针定位板上设有接线座82,每根探针均与接线座电连接,基板上设有排线插座9,接线座与排线插座之间通过排线10连接;如图3和图5所示,定位座7呈U形,定位座的两个相向的内侧面上均设有导向槽70,导向槽的侧面设有橡胶垫片71,导向槽的底面设有贯穿定位座外侧面的间隙72,定位座的外端均设有锁紧螺栓73;转轴5的右端设有外齿圈50,基板上设有升降电缸11,升降电缸的轴端设有与外齿圈啮合的齿条12。

转动支架6的右端固定有转盘13,转盘的边缘处设有两个关于中心对称的限位孔130,基板的底部设有水平电缸14,水平电缸的轴端设有与限位孔同轴的限位销15,如图4所示,左侧板3的左侧面上设有弧形限位槽30,转盘13的右侧面设有限位柱131,限位柱的头部伸入弧形限位槽内;当限位柱位于弧形限位槽的两端时,限位销与限位孔同轴。

结合附图,本实用新型的使用方法如下:连接柱与检测设备机械连接,排线插座通过另一根排线与检测设备上的检测系统连接,两个定位座上都装上探针组件;检测时,位于转动支架下侧的探针组件与晶元片接触检测,位于转动支架上侧的探针组件闲置,当下侧的探针组件检测额定次数后(达到额定检测次数后该探针应当报废),此时停止检测,水平电缸的轴端缩入、限位销从限位孔内拔出,升降电缸轴端下降,限位柱从弧形限位槽的一端移动到另一端,转盘正好转动180度后,限位销与限位孔处于同轴状态,然后水平电缸轴端伸出,将限位销插入限位孔内定位,从而有效的防止探针组件检测过程中转动支架发生偏转,进而确保检测精度。该种晶元片检测头将探针更换周期延长了一倍,从而将停机更换探针的时间省去了一半,而且整体更换探针组件,比单独更换探针更加省力、省时。

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