集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统的制作方法

本实用新型涉及一种氦质谱检漏仪用集成式阀座，尤其涉及的是一种集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统。

背景技术：

氦质谱检漏仪是真空检漏应用中常用的分析仪器，在电力行业、航天行业、核工业等行业广泛运用。氦质谱检漏仪的真空系统为其关键部分，是该仪器赖以工作的基础。

图1是基于普发SplitFlow 80分子泵的一种氦质谱检漏仪的真空气路系统，根据气体流向共分四条气流通路，第一条气流通路为预抽真空气路，为从检漏口9经公共管道到电磁阀 13再到前级真空泵5；第二条气流通路为低真空气路，为从检漏口9经公共管道到低真空电磁阀6，到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5；第三条气流通路为中真空气路，为从检漏口9经公共管道到中真空电磁阀7，到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5；第四条气流通路为高真空气路，为从质谱室1到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5，真空计8用于测量入口处真空度，真空计3用于测量出口处真空度，图中10是给检漏仪定标用的标准漏孔。

由图1可知，氦质谱检漏仪的真空气路系统由多个零部件组成，各零部件之间联通需要通过各样的管接头和管件来连接，接头接缝众多，安装复杂，漏点多，可靠性低，且占用较大的安装空间，布管和布线均要耗时耗力，生产效率不高。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题在于：整个检漏设备安装管路过于复杂，提供了一种集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型一种集成式阀座，所述集成式阀座上设有用于安装电磁阀阀体和阀芯的同轴式第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座和第五阀座，每个同轴式的单个阀座包括内气孔和外气孔，所述内气孔和外气孔同轴心设置，所述外气孔位于内气孔之外，内气孔和外气孔之间通过电磁阀阀芯分隔，集成式阀座上还设置有公共进气孔、排气孔和通气孔，所述公共进气孔分别连通第一阀座、第二阀座、第三阀座的外气孔、第五阀座的内气孔；所述排气孔分别连通第一阀座的内气孔、第四阀座的内气孔接口；所述通气孔与第五阀座的外气孔连通。

作为本实用新型的优选方式之一，单个阀座四周设有用于连接电磁阀阀体的螺纹孔。

作为本实用新型的优选方式之一，所述集成式阀座为铝合金制成。

作为本实用新型的优选方式之一，所述集成式阀座为框体结构，所述第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座位于框体的同一面上，第五阀座位于框体的另一面上。

一种具有所述的集成式阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统，所述真空气路系统包括分别对应安装在第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座和第五阀座内的第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀；还包括第六电磁阀、主真空泵、前级真空泵和氦质谱检漏仪，所述第六电磁阀的连接孔和公共进气孔连通，排气孔与前级真空泵的入口连通，第二阀座和第三阀座的接口分别连通主真空泵的中真空口和低真空口，第四阀座的接口与主真空泵的排气口连通。

本实用新型相比现有技术具有以下优点：本实用新型将真空管路模块化，极大的减少的系统占用的空间，省去了空间布管，省去了众多的管件和接头，提高了系统可靠性，大大降低了安装难度，优化了布线。降低检漏仪的安装和调试难度，节约工时提高生产效率，同时节约安装空间，便于缩小仪器尺寸。

附图说明

图1是现有氦质谱检漏仪真空气路系统的结构示意图；

图2是本实用新型单个阀座的剖视图；

图3是单个阀座的俯视图；

图4是集成式阀座的前视图；

图5是集成式阀座的后视图。

具体实施方式

下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

如图2～5所示，本实施例的集成式阀座上设有用于安装电磁阀阀体和阀芯的同轴式第一阀座14、第二阀座15、第三阀座16、第四阀座17和第五阀座21，每个同轴式的单个阀座包括内气孔29和外气孔30，所述内气孔29和外气孔30同轴心设置，所述外气孔30位于内气孔29之外，内气孔29和外气孔30之间通过电磁阀阀芯分隔，集成式阀座上还设置有公共进气孔18、排气孔24和通气孔22，所述公共进气孔18分别连通第一阀座14、第二阀座15、第三阀座16的外气孔30、第五阀座21的内气孔29；所述排气孔24分别连通第一阀座14的内气孔29及通过相互交错的工艺孔19与28与第四阀座17的外气孔30，并与前级真空泵5 的入口相连；第二阀座15和第三阀座16内气孔29分别与主真空泵2的中真空入口接口25 和低真空入口接口26连通；第四阀座17的内气孔29通过真空计3的安装孔23与主真空泵2的排气口接口27连通；所述通气孔22与第五阀座21的外气孔30连通。

单个阀座四周设有用于连接电磁阀阀体的螺纹孔31。所述集成式阀座为铝合金制成，也可以采用适合于高真空条件下应用的其他材料。

所述集成式阀座为框体结构，所述第一阀座14、第二阀座15、第三阀座16、第四阀座 17位于框体的同一面上，第五阀座21位于框体的另一面上。

将本实施例的集成式阀座应用到图1所示的真空气路系统中，真空气路系统包括分别对应安装在第一阀座14、第二阀座15、第三阀座16、第四阀座17和第五阀座21内的第一电磁阀4、第二电磁阀6、第三电磁阀7、第四电磁阀12、第五电磁阀13；还包括第六电磁阀 11、主真空泵2、前级真空泵5和质谱室1，公共进气孔18连通第一阀座14、第二阀座15 和第三阀座16的外气孔30、第五阀座21的内气孔29以及第六电磁阀11的连接孔20。排气孔24分别连通第一阀座14的内气孔29及通过相互交错的工艺孔19、28与第四阀座17的外气孔30连通，并与前级真空泵5的入口相连；第二阀座15和第三阀座16内气孔29分别与主真空泵2的中真空入口接口25和低真空入口接口26连通；第四阀座17的内气孔29通过真空计3的安装孔23与主真空泵2的排气口接口27连通。通气孔22与第五阀座21的外气孔30相通，用于对公共真空管路放气。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。