光罩托架的制作方法

本实用新型实施例涉及光罩检验设备技术领域，尤其涉及一种光罩托架。

背景技术：

集成电路制程中会大量应用到光罩，光罩的产生及对此类光罩的后续光学检验已成为半导体集成电路生产中的标准步骤。目前，对光罩进行检验的措施主要是将光罩放置在用于检验的光桌上，位于光桌下方的光源发出的光线透过光桌照射于光罩上，以对光罩进行相应的检验处理。现有技术中，针对不同尺寸的光罩均配备有对应尺寸的光桌，这导致设备成本过高，经济效率低下；而若要采用同一光桌检验不同尺寸的光罩，则只能将光桌尺寸设计得足够大，但是，大尺寸的光桌在用于检验小尺寸的光罩时，会导致光桌漏光严重，影响光罩的检验效果。

技术实现要素：

本实用新型实施例要解决的技术问题在于，提供一种光罩托架，能方便地适用于检验不同尺寸的光罩。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种光罩托架，包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。

进一步地，所述托架单体的边框设置有朝内环面所围成的区域内延伸形成的凸出，所述托架单体的边框的外围轮廓的对应位置处设置有与所述凸出的形状相匹配的凹陷。

进一步地，任意两个相邻嵌套连接的托架单体之间为间隙配合。

进一步地，所述托架单体的边框的靠内环面处设有内侧壁与内环面平齐的限位凸出。

进一步地，所述遮光片通过粘性材料粘贴于托架单体的边框上。

进一步地，所述遮光片为遮光布。

进一步地，所述托架单体及限位凸出均采用塑胶材质制成。

采用上述技术方案，本实用新型实施例至少具有以下有益效果：本实用新型实施例只需采用同一光桌，通过将不同尺寸的托架单体依次嵌套连接，即可检验不同尺寸的光罩，降低设备成本，提高检验速度，并且托架单体的边框上固定有遮光片，有效遮盖住光桌及嵌套连接的托架单体之间的间隙，避免漏光，提升检验的准确度。

附图说明

图1是本实用新型光罩托架一个实施例的立体结构示意图。

图2是本实用新型光罩托架一个实施例的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定，而且，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种光罩托架，包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框1和连接于边框1上并自边框1的外边缘伸出的遮光片6，每一个托架单体的边框1的内环面所围成的区域2的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框1的内环面所围成的区域2的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。

本实用新型实施例只需采用同一光桌，通过将不同尺寸的托架单体依次嵌套连接，即可检验不同尺寸的光罩，降低设备成本，提高检验速度，并且托架单体的边框上固定有遮光片6，有效遮盖住光桌及嵌套连接的托架单体之间的间隙7，避免了漏光，提升检验的准确度。具体实施时，托架单体的厚度可以根据光桌的亮度进行调整，以保证检验效果。

在一个可选的实施例中，所述托架单体的边框1设置有朝内环面所围成的区域2内延伸形成的凸出3，所述托架单体的边框1的外围轮廓的对应位置处设置有与所述凸出3的形状相匹配的凹陷4。在本实施例中，托架单体的边框1朝内环面所围成的区域2内延伸形成的凸出3，用于在将光罩装入时承载支撑住光罩，不同尺寸的托架单体进行嵌套时，小尺寸托架单体边框的凹陷4对大尺寸托架单体边框1的凸出3进行避位，使不同尺寸的托架单体在嵌套时能实现有效定位、合理嵌套，以确保光罩检验的准确度。

在一个可选的实施例中，任意两个相邻嵌套连接的托架单体之间为间隙配合。即两个相邻嵌套连接的两个托架单体之间具有间隙7，在本实施例中，通过将任意两个相邻嵌套连接的托架单体之间预留一定的间隙7形成间隙配合，以确保托架单体能快速有效地完成嵌套连接。

在一个可选的实施例中，所述托架单体的边框1的靠内环面处设有内侧壁与内环面平齐的限位凸出5。在本实施例中，限位凸出5在光罩检验时可以防止光罩的滑动，保证检验效果。

在一个可选的实施例中，所述遮光片6通过粘性材料粘贴于托架单体的边框1上。在本实施例中，遮光片6通过粘性材料粘贴于托架单体的边框1上，在两个相邻嵌套连接的托架单体之间，小尺寸托架单体的遮光片可以防止小尺寸托架单体与大尺寸托架单体之间的间隙7产生漏光，最外一圈的托架单体上的遮光片6则可以遮盖住光罩托架之外的光桌避免漏光，以提升检验效率和准确度。

在一个可选的实施例中，所述遮光片6为遮光布。本实施例通过采用布制成遮光片6，材料成本低，易于制造，且材料柔性好，使用时能更好地进行遮盖。

在一个可选的实施例中，所述托架单体及限位凸出5均采用塑胶材质制成。在本实施例中，托架单体及限位凸出5均采用塑胶材质制成，可以减少放置光罩时的冲击力，也能防止光罩检验时产生的划伤现象。

如前所述，本实用新型光罩托架，在具体操作时，比如要检验可检验的最大尺寸的光罩，将最大尺寸的托架单体放置在光桌上用来检验即可；若要检验小尺寸的光罩，按托架单体尺寸由大到小逐个嵌套放置，直至与待检验的光罩的尺寸相适配的托架单体即可，这种嵌套思路可以设计两个或两个以上托架单体，托架单体尺寸可以根据不同生产光罩尺寸的需求自主设计，便于检验各种尺寸的光罩，通过托架单体嵌套的方式，光罩的放下和拿取也变得更加容易，提高检验速度，并且托架单体上固定有遮光布，避免了光桌的漏光，提升检验的准确度。解决大尺寸光桌对小尺寸光罩检验的低效率和低准确度问题，可采用大尺寸光桌，配合用托架单体嵌套和增加遮光布长度等方式实现对多种尺寸光罩的检验，为日后开发多种尺寸规格的光罩节约了光桌购买的成本。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同范围限定。