一种硅片插片检测装置的制作方法

本实用新型属于单晶制造技术领域，具体涉及一种硅片插片检测装置。

背景技术：

现有插片机在长期插片过程中，虽然花篮的结构、使用方法、使用寿命等不同，但在长期使用后均会有不同程度的局部变形情况的发生，导致花篮四个珠子不在同一平面，而花篮在运行过程中都是通过丝杆进行垂直等距运行，这种局部变形花篮在插片过程中非常容易导致变形部位发生卡片故障，影响生产效率及硅片品质。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种硅片插片检测装置，在插片过程中，可以检测花篮插片槽是否发生形变，从而避免卡片情况的发生。

本实用新型所采用的技术方案是：一种硅片插片检测装置，包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信号接收器，所述信号反射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。

进一步地，所述硅片插片检测装置还包括分别相对设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器，设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器的连线也穿过花篮的插片槽，而且设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器与设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信号接收器处于同一平面。

事例性地，所述信号发射器和信号接收器分别为激光发射器和激光接收器。

优选地，还包括分别与所述信号发射器和信号接收器信号连接的控制器，所述控制器用于控制所述信号发射器发出信号，所述信号接收器用于接收所述信号发射器发出的信号并将结果反馈至所述控制器。

进一步地，所述控制器还通过驱动器控制所述花篮的升降。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的硅片插片检测装置利用处于同一水平面的多个激光发射器和激光接收器传输信号，当花篮发生形变时信号传输中断，则可判断该插片槽发生形变。该检测装置可以根据花篮和硅片尺寸进行调节，适用性高，而且检测精度高，不需要员工进行卡片处理，解放了劳动力、降低劳动强度，同时还提高了生产插片效率。

附图说明

图1是本实用新型的硅片插片检测装置的结构示意图。

图中，1.入篮板，2.硅片，3.信号发射器，4.信号接收器，5.花篮。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的硅片插片检测装置的结构如图1所示，包括设置于花篮5前部两侧的信号发射器3和设置于花篮5背部的信号接收器4，以及分别相对设置于花篮5两侧的信号发射器3和信号接收器4，设置于花篮5前部两侧的信号反射器3和设置于花篮5背部的信号接收器4相对设置且两者的连线穿过花篮5的插片槽，同时设置于花篮5两侧的信号发射器3和信号接收器4的连线也穿过花篮5的插片槽，而且设置于花篮5两侧的信号发射器3和信号接收器4与设置于花篮5前部两侧的信号发射器3以及设置于花篮5背部的信号接收器4处于同一平面；还包括控制器(图未示)，控制器分别与信号发生器3、信号接收器4连接，控制器控制信号发射器3发出信号，信号接收器4接收信号发射器3发出的信号并将结果反馈至控制器，控制器还通过驱动器(图未示)控制所述花篮的升降。

事例性地，信号发射器3和信号接收器4分别为激光发射器和激光接收器。

本实施例中，定义花篮5的前后方向为X轴，定义花篮5的两侧方向为与X轴垂直的Y轴，X、Y轴处于同一平面。硅片插片检测装置的设置于花篮5前部两侧的激光发射器具体安装于插片机传动入篮板1两侧(根据实际位置可变)，与硅片2尺寸相近，并在误差范围内，且与硅片2传输路径一致，而花篮5背部的信号发生器与该激光发射器相对设置，即该激光发射器与激光接收器沿X轴设置；同时在花篮5两侧的位置分别对应设置匹配的激光发射器和激光接收器，即该激光发射器和激光接收器沿Y轴设置；上述处于X轴和Y轴的激光发射器和激光接收器处于同一平面中、且激光信号穿过花篮5的插片槽。本实施的控制器选择PLC。

2.花篮提升与激光接收器信号连接，接收器得到信号后，PLC控制花篮提升停止，进行插片动作，否则判定为变形花篮，花篮继续提升，不给予正常插片；

插片检测的过程具体为：花篮5正常插片过程中，PLC通过驱动器控制花篮5上升，当到达插片位置时，PLC控制分别处于X、Y轴的激光发射器发出激光信号，对应的激光接收器如果收到激光信号，则反馈至PLC，PLC判断该插片槽部位未变形，继续进行插片；如果至少一个激光接收器未收到激光信号，也反馈至PLC，则PLC判断该插片槽部位发生形变，不准予正常插片。然后PLC控制花篮5继续提升，对下一个插片槽是否变形进行判断。