一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器的制作方法

本实用新型涉及真空测量仪器技术领域，具体涉及一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器。

背景技术：

反磁控规具有卓越的超高真空测量能力，即同时兼顾稳定的超高真空压力测量和快速的压力响应能力。由于没有热灯丝，因此将规内的气体逸出量降至最低。该反磁控规不发射电子或光子，因而不会干扰试验过程。反磁控规测量真空时，是利用真空中的高压放电现象实现真空度的测量，其主要构造为圆柱形阳极，圆筒状的阴极和永久磁铁。在阳极两极加高压，少量诱导粒子激发少量电子。

从阴极放出的电子受洛仑兹力而作螺旋运动，并被束缚在磁场中。螺旋运动使得电子的飞行距离大幅增加。电子最终会被阳极捕捉，但是在被捕捉之前多次和气体分子发生碰撞，在两阴极之间产生等离子体状态。等离子体中的电子和阴极放出的电子一样会作螺旋运动，但阳离子因为质量较大，螺旋运动半径较大，短时间内阳离子因为质量较大，螺旋运动半径较大，短时间内被阴极捕获，并产生二次发射电子。气体电离产生的电子和阴极发射的二次电子也在阴极间长期运动，从而使电离过程连锁地进行下去。阴极放电可在0.1pa的压强下发生。在阴极被捕获到的离子数量，与压强及气体分子的电离断面面积成正比例。如果知道离子电流和压强的比例系数，侧可知道压强值。

皮拉尼规的工作原理是根据真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力(散热能力)就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，也就是测量真空度。

现有的反磁控规和皮拉尼规是以分体式的方式来测量真空度，需要根据真空度的大小来选型不同类型的真空规管来使用，由于不用种类的真空规管测量的真空度的范围不同，因此需要用户根据具体需要来选择适合自己使用的真空规管。这样给用户的使用产生的了诸多不便，不同种类的真空规管不能通用，不利于真空度的简化测量。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是现有技术的不足，目的在于提供一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器，包括金属外壳、绝缘盖、可伐杆和永磁体，所述金属外壳为顶部开口和底部开口的管形腔体，所述绝缘盖与金属外壳的顶部开口密封连接，在绝缘盖上连接有阳极杆，所述阳极杆位于金属外壳内，阳极杆与金属外壳之间留有间隙，在绝缘盖上还设有可伐杆，所述可伐杆设有两个，两个可伐杆在绝缘盖上间隔设置，可伐杆贯穿于绝缘盖的上端面和下端面，在绝缘盖下端面的可伐杆位于金属外壳内，在绝缘盖下端面的两个可伐杆之间连接有灯丝，所述永磁体为圆环形结构，永磁体套设在金属外壳的外壁上。

优选方案，所述绝缘盖为陶瓷材料，在绝缘盖的中心位置设有不锈钢内螺纹接头，所述不锈钢内螺纹接头与绝缘盖密封连接，不锈钢内螺纹接头贯穿于绝缘盖的上端面和下端面，所述阳极杆的一端与不锈钢内螺纹接头连接。

优选方案，所述绝缘盖为陶瓷材料，在绝缘盖的外圆设有圆环形的可伐，所述可伐的内壁与绝缘盖的外圆密封连接，可伐的外壁与金属外壳的顶部开口的内壁密封连接。

优选方案，所述金属外壳为不锈钢材料，金属外壳包括上壳体、中壳体和下壳体，所述上壳体为顶部开口的杯形体，下壳体为底部开口的杯形体，上壳体与下壳体之间密封连接所述中壳体，所述中壳体为圆柱形管体，中壳体分别与上壳体和下壳体连通，所述中壳体的外径小于上壳体与下壳体的外径。

优选方案，所述阳极杆为不锈钢材料，所述阳极杆包括圆柱形杆体，在圆柱形杆体上间隔设置有第一圆盘和第二圆盘，在圆柱形杆体的两端设有外螺纹。

优选方案，所述阳极杆的第一圆盘位于上壳体内，阳极杆的第二圆盘位于下壳体内。

优选方案，所述永磁体为两个对称设置的半圆弧形结构的永磁体组成。

优选方案，所述灯丝为直径30um的铂金丝。

优选方案，阳极杆与金属外壳之间的间隙距离为5—10mm。

优选方案，所述金属外壳的底部连接有安装法兰。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：本实用新型的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器，该传感器把反磁控规与皮拉尼规组合在一起实现对真空进行测量。该传感器综合了反磁控规与皮拉尼规的测量方式，能够根据具体的真空度进行单独测量，提高了该传感器的适用范围，降低使用成本，扩大了真空度测量的测量范围。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本使用新型的立体图；

图4为图2沿A-A方向的剖面图；

图5为本实用新型的阳极杆主视图；

图6为本实用新型的外壳立体图；

图7为本实用新型的外壳剖视图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-金属外壳，2-绝缘盖，3-阳极杆，4-可伐，5-可伐杆，6-永磁体，7-不锈钢内螺纹接头，11-上壳体，12-中壳体，13-下壳体，14-安装法兰，31-圆柱形杆体，32-第一圆盘，33-第二圆盘。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。

实施例

如图1至图7所示，本实用新型一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器，包括金属外壳1、绝缘盖2、可伐杆5和永磁体6。金属外壳1为不锈钢材料，金属外壳1作为反磁控规的阴极导电体，金属外壳1包括上壳体11、中壳体12和下壳体13，上壳体11为顶部开口的杯形体，下壳体13为底部开口的杯形体，上壳体11与下壳体13之间采用满焊密封连接，保证气密性；中壳体12为圆柱形管体，中壳体12分别与上壳体11和下壳体连通，中壳体12的外径小于上壳体11与下壳体13的外径，金属外壳1的下壳体13底部连接有安装法兰14，安装法兰14用于和真空管道或真空设备连接。

绝缘盖2为陶瓷材料，陶瓷具有优良的电绝缘性非常适合作为绝缘盖2的基材，绝缘盖2的外圆设有圆环形的可伐4，可伐4的内壁与绝缘盖2的外圆采用银焊密封连接，可伐4的外壁与金属外壳1的上壳体11顶部开口的内壁银焊密封连接，保证连接处的气密性。在绝缘盖2的中心位置设有不锈钢内螺纹接头7，不锈钢内螺纹接头7与绝缘盖2采用银焊密封连接，不锈钢内螺纹接头7贯穿于绝缘盖2的上端面和下端面。

如图4和5所示，在不锈钢内螺纹接头7上连接阳极杆3，阳极杆3为不锈钢材料，阳极杆3是作为反磁控规的阳极导电体，阳极杆3包括圆柱形杆体31，在圆柱形杆体31上间隔设置有第一圆盘32和第二圆盘33，第一圆盘32和第二圆盘33有利于阳极杆3均匀放电。在圆柱形杆体31的两端设有外螺纹，外螺纹与不锈钢内螺纹接头7连接。阳极杆3位于金属外壳1内部的空腔内，阳极杆3的第一圆盘32位于上壳体11内，阳极杆3的第二圆盘33位于下壳体13内，圆柱形杆11体位于上壳体11、中壳体12和下壳体13内。阳极杆3与金属外壳1之间留有间隙，间隙距离为6mm。

在绝缘盖2上还设有可伐杆5，可伐杆5与绝缘盖2采用铅焊连接，可伐杆5设有两个，两个可伐杆5在绝缘盖2上间隔设置，可伐杆5贯穿于绝缘盖2的上端面和下端面，在绝缘盖2下端面的可伐杆5位于金属外壳1内，位于绝缘盖2下端面的两个可伐杆5之间连接有灯丝，灯丝为直径30um的铂金丝。

在金属外壳1的中壳体12上安装有永磁体6，永磁体6为两个对称设置的半圆弧形结构的永磁体组成，永磁体6套设在金属外壳1的中壳体12的外壁上。

由于反磁控规及皮拉尼规的工作原理皆为现有技术，在此不再对其工作原理做重复赘述。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。