一种用于测量差压信号的小型化压力敏感元件的制作方法

文档序号:17113153发布日期:2019-03-15 20:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:包括中心开设有硅油主通道的壳体(1),壳体(1)在硅油主通道的一端开槽并安装有绝缘垫片(7),硅油主通道两侧的壳体(1)上开设有硅油副通道,正对硅油主通道的绝缘垫片(7)上安装硅压敏芯片(9),正对硅油副通道的绝缘垫片(7)上开孔并装入引线(5),引线(5)通过绝缘端子(6)固定在硅油副通道内部,引线(5)与硅压敏芯片(9)通过导线(8)连接;所述壳体(1)的两端分别为正、负压腔,在正、负压腔的端面上设置有用以配合硅油的波纹膜片(2)。

2.根据权利要求1所述用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:壳体(1)上开设有与硅油主通道以及硅油副通道相贯通的充油孔,在充油孔上安装销钉(10)封堵。

3.根据权利要求1所述用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:所述的壳体(1)对应正、负压腔在两端的外周上开槽并分别安装有O型密封圈(4)。

4.根据权利要求1所述用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:所述的波纹膜片(2)通过绕外周设置的压圈(3)与正、负压腔的端面相固定。

5.根据权利要求4所述用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:波纹膜片(2)、压圈(3)与正、负压腔的端面通过激光焊接固定为一体,波纹膜片(2)去除应力。

6.根据权利要求1所述用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:所述的绝缘垫片(7)采用陶瓷垫片,绝缘端子(6)采用玻璃绝缘端子,导线(8)采用金丝。

7.根据权利要求1所述用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:所述的硅油主通道为贯穿壳体(1)两端的通孔,硅油副通道为开设在壳体(1)上的盲孔。

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