一种用于测量差压信号的小型化压力敏感元件的制作方法

文档序号:17113153发布日期:2019-03-15 20:08阅读:来源:国知局
技术总结
一种用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,包括中心开设有硅油主通道的壳体,壳体在硅油主通道的一端开槽并安装有绝缘垫片,硅油主通道两侧的壳体上开设有硅油副通道,正对硅油主通道的绝缘垫片上安装硅压敏芯片,正对硅油副通道的绝缘垫片上开孔并装入引线,引线通过绝缘端子固定在硅油副通道内部,引线与硅压敏芯片通过导线连接;所述壳体的两端分别为正、负压腔,在正、负压腔的端面上设置有用以配合硅油的波纹膜片。壳体上开设有与硅油主通道以及硅油副通道相贯通的充油孔,在充油孔上安装销钉封堵。本实用新型能更好地满足对安装空间及重量有要求的特殊应用场合,被测介质压力测量较为精准。

技术研发人员:王刚;段九勋;梁波
受保护的技术使用者:麦克传感器股份有限公司西安分公司
技术研发日:2018.08.27
技术公布日:2019.03.15

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