一种CCD阵列成像装置的制作方法

本实用新型属于光学元件损伤在线检测技术领域，具体涉及一种CCD阵列成像装置。

背景技术：

目前大型ICF高功率激光装置的光学元件损伤图像通过单台高性能科学级CCD采集，仅适用于检测单束光路中的光学元件，而无法检测超大型ICF激光装置中由多个单束光路组合成的大口径组合组件中的光学元件。大口径组合组件由8束单束光路构成，呈3×3阵列排布。由于对CCD成像位置、检测分辨率和检测时间有着严格要求，目前现有的单台CCD成像方法无法兼顾成像位置、检测分辨率和检测时间的要求。中国专利文献库公开的名称为《 一种基于阵列CCD的无创便携式血糖仪》的发明专利（申请号：201610638725.2）利用阵列CCD传感器分别记录测试光源和参考光源两种情况下被测试者手指的透射光图像数据，可计算得到被测试者的血糖浓度；中国专利文献库公开了名称为《太赫兹成像阵列芯片及其制作方法、成像系统》的发明专利（申请号：201710783618.3），该专利中的方法可有效去除环境温度变化对器件的影响，使得太赫兹成像阵列芯片具有自动的温度补偿功能。但是，目前尚没有针对超大型ICF激光装置中大口径组合组件的成像装置，亟需开展相关技术研究。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种CCD阵列成像装置。

本实用新型的CCD阵列成像装置，其特点是：所述的CCD阵列成像装置包括8台CCD和环形支架；按正向视图方向，沿顺时针方向，在环形支架外圆周表面90°、0°、270°、 180°四个位置依次安装接收像面朝向环形支架中心的CCDⅠ、CCDⅡ、CCDⅢ和CCDⅣ；在环形支架的后底面上，将后底面均分为四个象限，四个象限从左上角起，按顺时针方向，在每个象限中心依次排布CCDⅤ、CCDⅥ、CCDⅦ和CCDⅧ；环形支架的后底面法线与环形支架圆环外圆周表面法线相互垂直；在环形支架中心安装有全反镜Ⅰ、全反镜Ⅱ、全反镜Ⅲ和全反镜Ⅳ，依次将外接的光学系统所成的像反射进CCDⅠ、CCDⅡ、CCDⅢ和CCDⅣ；所述的CCDⅠ、CCDⅡ、CCDⅢ、CCDⅣ、CCDⅤ、CCDⅥ、CCDⅦ、CCDⅧ外接到同一台计算机，来自CCDⅠ、CCDⅡ、CCDⅢ、CCDⅣ、CCDⅤ、CCDⅥ、CCDⅦ、CCDⅧ的图像信号进入计算机进行数据处理；所述的全反镜Ⅰ、全反镜Ⅱ、全反镜Ⅲ、全反镜Ⅳ，分别与入射光成45°排列。

本实用新型的CCD阵列成像装置具有以下优点：

1.采用一体化结构设计，通过转折像面，使用CCD成像阵列一次性对组合组件内的同类元件完成损伤图像采集，提高了检测效率。

2.采用模块化结构设计，每一个CCD出现故障时可独立进行拆装，检修方便。

3.采用的像面反射的方式有效压缩了CCD的安装空间，保证了一次性成像的要求，提高了装置的紧凑性。

本实用新型的CCD阵列成像装置是一种对超大型ICF激光装置大口径组合组件成像的CCD阵列成像装置，该成像装置检测效率高，紧凑性好，检修方便。

附图说明

图1为本实用新型的CCD阵列成像装置结构示意图（主视图）；

图2为本实用新型的CCD阵列成像装置结构示意图（俯视剖视图）；

图3为本实用新型的CCD阵列成像装置结构示意图（侧视剖视图）；

图中，1.CCDⅠ 2.CCDⅡ 3.CCDⅢ 4.CCDⅣ 5.CCDⅤ 6.CCDⅥ 7.CCDⅦ 8.CCDⅧ 9.全反镜Ⅰ 10.全反镜Ⅱ 11.全反镜Ⅲ 12.全反镜Ⅳ。

具体实施方式

下面结合附图和实施例详细说明本实用新型。

以下实施例仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制。有关技术领域的人员在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化、替换和变型，因此同等的技术方案也属于本实用新型的范畴。

实施例 1

如图1~3所示，本实用新型的CCD阵列成像装置包括8台CCD和环形支架；按正向视图方向，沿顺时针方向，在环形支架外圆周表面90°、0°、270°、 180°四个位置依次安装接收像面朝向环形支架中心的CCDⅠ1、CCDⅡ2、CCDⅢ3和CCDⅣ4；在环形支架的后底面上，将后底面均分为四个象限，四个象限从左上角起，按顺时针方向，在每个象限中心依次排布CCDⅤ5、CCDⅥ6、CCDⅦ7和CCDⅧ8；环形支架的后底面法线与环形支架圆环外圆周表面法线相互垂直；在环形支架中心安装有全反镜Ⅰ9、全反镜Ⅱ10、全反镜Ⅲ11和全反镜Ⅳ12，依次将外接的光学系统所成的像反射进CCDⅠ1、CCDⅡ2、CCDⅢ3和CCDⅣ4；所述的CCDⅠ1、CCDⅡ2、CCDⅢ3、CCDⅣ4、CCDⅤ5、CCDⅥ6、CCDⅦ7、CCDⅧ8外接到同一台计算机，来自CCDⅠ1、CCDⅡ2、CCDⅢ3、CCDⅣ4、CCDⅤ5、CCDⅥ6、CCDⅦ7、CCDⅧ8的图像信号最后进入计算机进行数据处理；所述的全反镜Ⅰ9、全反镜Ⅱ10、全反镜Ⅲ11、全反镜Ⅳ12，分别与入射光成45°排列。