在拼接干涉仪中检测透镜面形的检测装置的制作方法

文档序号:17753491发布日期:2019-05-24 21:08阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种适于检测透镜面形的检测装置和包括该检测装置的拼接干涉仪。所述检测装置包括:筒形的检测框架,包括在所述检测框架的内壁周向设置的支撑凸台,待测透镜放置在所述支撑凸台上;和多个支撑单元,在所述检测框架的周向方向上安装在所述检测框架的底部,每个支撑单元包括:支撑机构,配置成在所述检测框架的轴向方向上可移动,以与所述支撑凸台协作共同支撑所述待测透镜;以及平衡机构,配置成提供与所述支撑机构支撑所述待测透镜的力平衡的平衡力,使得在所述检测框架的轴向方向处于与所述待测透镜的重力方向平行和倾斜的情况下每个所述支撑单元和每个支撑凸台对所述待测透镜的轴向支撑力都相同。

技术研发人员:甘大春;徐富超;贾辛;邢廷文
受保护的技术使用者:中国科学院光电技术研究所
技术研发日:2019.02.26
技术公布日:2019.05.24
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