技术特征：
技术总结
本发明公开了一种具有嵌入式磁源的MEMS陀螺仪，包括质量块、驱动单元和检测单元，所述驱动单元位于质量块的X方向，所述检测单元包括蓄热器、导线和磁传感器，所述质量块位于衬底上方，所述蓄热器安装在质量块上且位于质量块底部，所述导线安装在蓄热器内，所述磁传感器安装在衬底上且位于衬底上端。本发明的有益效果是：通过磁传感器检测质量块在Y方向的位移，测量准确，提高了角速度的精确性；蓄热器隔绝了通电导线产生的焦耳热，避免了质量块的形变、温漂及噪声。
技术研发人员：张彪;李晓宇
受保护的技术使用者：成都因赛泰科技有限责任公司
技术研发日：2019.03.01
技术公布日：2019.05.10